涂胶机操作规程.doc
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涂胶机操作规程 1 开机程序A 开启总电源；B 开启真空泵；C 登录“PE”账户；2、使用步骤A选择“自动运行”，并进行设备复位； B复位完成后点击“退出”，选择“配方编辑”;C设置配方步数，并设置每一步时间、速度、加速度；D保存配方，并下载，并点击 “退出”；E选择“自动运行”，并放置基片；F 基片表面覆盖光刻胶，并点击“启动”；G 取下基片，完成基片涂胶；3 关机程序A 退出程序；B 关闭总电源；C 关闭真空泵；4 注意事项A 涂胶前确保真空泵处于开启状态；B 基片需大于涂胶夹具外边缘；C 定期清洗涂胶机腔体；
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