光动LICS-100激光多普勒激光干涉仪线性补偿方法及其步骤8288.pdf

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1、光动 LICS-100 激光多普勒激光干涉仪线性补偿方法及其步骤 1 Faunc0 系统 测量前将原有反向间隙和螺距补偿都消去.反向间隙补偿 进入轴规格参数 将反向间隙B值填入相对应的轴的补偿地址：进入反向间隙补偿地址 backlash:输入对应轴的补偿值即可。（备注两端反向间隙，故补偿的有两个数值）螺距误差补偿 通用：螺距补偿需要设置的参数有螺距补偿方式，补偿轴，参考点，补偿区间（即最负点和最正点），补偿倍率，补偿节距。六大要素。Faunc0 系统只支持增量补偿，所以一开始无需要设置补偿方式 设置参考点 在参数地址的3620处（Faunc 系统的补偿点共计为 01124 个点，为 XYZ轴所

2、共用，所以我们可以为 XYZ 三个轴设定相应的有效区间，正常我们可设置 0-100号码，为 X 轴使用；100-200 为 Y 轴使用；200 以后为 Z 使用。所以对应轴的参考点地址根据需要设置为相应区间的任意点）如图 A-1 所示。图 A-1 设置相对应的补偿区间 地址 3621 和 3622 3621 为设置补偿区间内的最负点 3622 为设置补偿区间内的最正点 即例如：测量范围为-450-0 则 3621 设置的补偿地址即为-450 的补偿地址；3622 则为 0 的补偿地址。附加：3620-3622 的区间设置方法 例：测量 Z 轴由-450 测量到 0，节距为 25mm Z 轴补偿

3、区间我们假设为 200 以后，假设参考点为 309。则 3620 处填 309 3621 最负处的地址为参考点-（测量长度/节距）+1=309-18+1=292 即 3621 处填写 292 3621 最正处填写参考点地址+1 的地址数，即 310。这样参考点和补偿地址都设置好了。如图 A-2 图 A-2 3623 为倍率。Faunc 系统相对补偿参数限制为 07，所以倍率为 1 的情况下，如误差中有很多的+7 或者-7 的话说明实际补偿误差可能大于这个数值，（例如：误差可能大于7，比如误差有 8，10，-9 那它也只能显示到 7，7，-7，）那这个时候我们就要改倍率为 2。数值才会比较精确。

4、3624 为设置测量时候实际的节距 例测量-4500，每段测量 25mm，则 3624 处设置为 25000（大部分数控机床的设置单位基数为 0.001mm 如图 A-3 图 A-3 螺距补偿（举例说明）例：测量-4500 的 Z 轴，节距为 25mm，软件系统里面的 0 针对-450，450 针对 0。六大要素的设置上面已经解释得很清楚了。补偿完反向间隙后测量得出的数据，用 ASME B5.54 分析得出的数据如图 A-4 图图 A-4 因为正常补偿我们使用单向补偿即可，故分析系统数据里面的0450，相对补偿的数据 可得出-450 针对系统 0 处为-0.0003 即仍然为 0-425 针对

5、系统 25 处为 0.0035 即补偿值为 0.0035-(-0.0003)=0.00380.004mm-400 针对系统 50 处为 0.0073 即补偿值为 0.0073-0.0035=0.00380.004mm 以此计算下去直到 0 针对系统 450 处 0.0222 即补偿值为 0.0222-0.0197(系统 425 点处值)0.002mm Faunc 系统所得的数据补偿时均要改边符号 故补偿值为 0,-4,-4-2 将得出的误差填写进入当时设置的区间 292-310(针对机械的-450-0)填写方式如图 A-5.A-6 对应写入相应的地址 292-310 图 A-5 图 A-6 填

6、入好了,复位即可生效.整个螺距补偿完毕.小窍门:螺距地址设置生效的话所设置区间自动显示出补偿轴,如图A-5.2.Mitsubishi 系统（等效 DASEN 系统）反向间隙补偿 进入轴规格参数 将反向间隙B值填入相对应的轴的补偿地址：进入反向间隙补偿地址 backlash:输入对应轴的补偿值即可。（备注两端反向间隙，谷补偿的有两个数值）如图 B-1 图 B-1 地址在 2011 和 2012 对应轴在上面都有显示.螺距误差补偿 通用：螺距补偿需要设置的参数有螺距补偿方式，补偿轴，参考点，补偿区间（即最负点和最正点），补偿倍率，补偿节距。六大要素。Mitsubishi 系统支持绝对值和增量补偿两

7、种方法，所以一开始需要设置补偿方式 具体设置在参数设置的 4000 号地址 4000 号设置为 0 则为绝对值补偿,1 则为相对补偿 如图 B-2 设置基本轴和补偿轴这两个即是为测量的轴,即 4*1 和 4*2 都为测量轴如图 B-2 设置参考点:参考点一般为机械坐标 0 点的地址如图 B-2 例:从-350-0 节矩为 25.则参考点为 0 点的地址 设置补偿区间 Mitsubishi 系统通常从 4100 开始螺距补偿点大约给 2-5 轴提供 1280 个点左右进行补偿设置.正常一个轴 100 个点即满足需要.仿照 Faunc 进行大概的轴分布.比如4100-4200 为 X,4200-4

8、300 为 Y,4300 到后都可以为 Z 或者四轴五轴的补偿.如图 B-2 设置补偿区间里面的参考点和两个极点的方法(举例说明)例:从-350-0 节矩为 25.Z 轴测量则参考点为 0 点的地址我们设置从 4000 开始设置完了以后 因为此测量为 14 段 15 点,那么我们设置参考点为 4315,那么 4003 处我们就填写 4315 最负点为 4301 则4004 处地址填写为4301,最正处就是4315,那么4005我们就填写 4315,这样区间和参考点就设置好了.倍率设置.三菱系统参数一般设置为 2,因为本身的 2 倍数值关系,也就是说如果你设置 1的时候你所测量的误差必须乘以 2

9、 补偿,故一般都设置为 2.节距设置都一样 4*7 处填写(如节距为 25mm,那么就填写 25000)螺距补偿(举例说明)例：测量-5750 的 Z 轴，节距为 25mm，软件系统里面的 0 针对-575，575 针对 0。.六大要素的设置上面已经解释得很清楚了.补偿完反向间隙后测量得出的数据，用 ASME B5.54 分析得出的数据如图 B-3 所示.如图 B-3 图 B-3 因为正常补偿我们使用单向补偿即可，故分析系统数据里面的 0575，相对补偿的数据 可得出-575 针对系统 0 处为-0.0006 即仍然为 0-550 针对系统 25 处为 0.00375 即补偿值为 0.0037

10、-(-0.0006)=0.00310.003mm-525 针对系统 50 处为 0.00612 即补偿值为 0.00612-0.00375=0.002370.002mm 以此计算下去直到 0 针对系统 575 处 0.02012 即补偿值为 0.02012-0.02011(系统 575 点处值)0mm Mitsubishi 系统所得的数据补偿时均要改边符号 故补偿值为 0,-3,-20 将得出的误差填写进入当时设置的区间 4*-4*(针对机械的-575-0)下面的补偿参数填写法仅供参考 备注：Mitsubishi 系统存在 2 倍的倍率关系，所以倍率我们通常填写为 2。输入数据后重新测量，效果可以的话，螺距补偿就结束了，如有更高要求可继续逐点补偿。