LCD培训教材无尘室的原理(共29张).pptx
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1、题目题目:无尘室的原理无尘室的原理内容简介内容简介: : 无尘室的原理无尘室的原理; ; 无尘室方式无尘室方式; ; 无尘室管理无尘室管理. .关键词关键词: :无尘室无尘室( (Clean Room);); 洁净度洁净度( (Class););作成作成: :金昌明金昌明无无 尘尘 室室 什么是无尘室什么是无尘室( (Clean Room):): 用通俗易懂的语言来描述的话用通俗易懂的语言来描述的话, ,无无尘室就是在某个空间的空气中尘埃尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下微粒子控制在一定数值以下, ,把压力把压力、温度温度、湿度湿度、气流分布及其形状和气流分布及其形状和速
2、度控制在一定范围内为目的而建速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子造的屋子. .Clean Room简称为简称为CR洁洁 净净 度度 什么是洁净度什么是洁净度(Class)? ? 就是指单位体积就是指单位体积 ( 通常是立方英尺通常是立方英尺) 的空的空气中含有大于气中含有大于、等于等于0.5m直径的尘粒的数直径的尘粒的数量量,也称为无尘度也称为无尘度.1英尺英尺=30.48cm1英尺英尺1英尺英尺1英尺英尺 为为0.5m直径的尘粒直径的尘粒. 尘埃的个数尘埃的个数,就是洁净度就是洁净度.例如例如: 有有80个尘粒个尘粒,那么洁那么洁 净度就是净度就是80.0.001 0.01 0.1 1 1
3、0 100 1000粒径粒径: : m烟尘烟尘大气尘大气尘云云,雾雾大气中大气中存在物存在物常见的常见的粉粉、尘尘空气清空气清洁装置洁装置电子显微镜下电子显微镜下看得见的粒子看得见的粒子光学显微镜下光学显微镜下看得见的粒子看得见的粒子肉眼看得肉眼看得见的粒子见的粒子油烟油烟面粉面粉干奶粉干奶粉头发头发病毒病毒HEPA过滤器过滤器静电式空气清净机静电式空气清净机一般空气过滤网一般空气过滤网微粒子的大小微粒子的大小 什么是尘粒什么是尘粒? ? 尘粒是微小的灰尘尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西悬浮的东西. . 尘粒越小尘粒越小, ,其表面积的比例相对增加其表面积的比例相对增加, ,并不遵从并不遵从牛牛顿
4、定律顿定律运动运动, ,按重力垂落按重力垂落. .而是在空气中做不规则而是在空气中做不规则的运动的运动, ,这种运动叫这种运动叫布朗运动布朗运动. . 因是悬浮的东西因是悬浮的东西, ,而且做不规则的运动而且做不规则的运动, ,在洁净化在洁净化技术技术、产品制造中是令人头痛的代表物产品制造中是令人头痛的代表物. . 总之总之, ,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要尘粒会对产品成品率高低影响至关重要. . 如如: :电腐蚀现象电腐蚀现象. .尘尘 埃埃电腐蚀现象电腐蚀现象尘粒尘粒( (与空气中的微量水份结合在一起与空气中的微量水份结合在一起) )这样尘粒付着状态下通电的话这样尘粒付着状态下通电的
5、话,电电流通过尘粒流向邻近的流通过尘粒流向邻近的ITO中中,会会造成浅横线不良造成浅横线不良.这种状态下继续使用这种状态下继续使用渐缓短路现象渐缓短路现象(在通电状况下渐渐地腐蚀在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于以至于最后造成最后造成ITO断线断线电腐蚀现象电腐蚀现象)在通电状况下在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象被电解而造成断线的现象无尘室的原理无尘室的原理 通过空调系统和净化装置把空气进行调湿通过空调系统和净化装置把空气进行调湿、调温和过滤调温和过滤, ,然后把净化的空气通过无尘室然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内的高效过滤器送入到无尘室内, ,达到洁净等达到洁净
6、等级的标准级的标准. .q 通常通常: 温度温度: 223 ; ;湿度湿度: :55%5%.包括包括: : 1. 空气调节系统空气调节系统; 2. 空气净化系统空气净化系统.无尘室的类型无尘室的类型 按洁净度和气流的状态的组合可按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式以分为三种方式:1. 紊乱式无尘室紊乱式无尘室;2. 水平平行流式无尘室水平平行流式无尘室;3. 垂直平行流式无尘室垂直平行流式无尘室.1.紊乱式无尘室紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):HEPA过滤器过滤器空气调和器空气调和器进气口进气口排气口排气口HEPA:High Efficiency P
7、articulate Air filter.以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网 通过无尘室屋顶的高效通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风过滤器出口向屋内送风. .通过墙壁的排气口回风通过墙壁的排气口回风. .无尘室的类型无尘室的类型 1. 紊乱式无尘室紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):HEPA过滤器过滤器空气调和器空气调和器多孔板进气口多孔板进气口无尘室的类型无尘室的类型 无尘室的类型无尘室的类型 空气调和器空气调和器照明照明吹出口吹出口2. 水平平行式无尘室水平平行式无尘室( Cross flow type CR):H
8、EPA过滤网过滤网HEPA过过滤网滤网HEPA过滤网过滤网 通过无尘室墙壁的高效通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风过滤器出口向屋内送风. .通过墙壁的排气口回风通过墙壁的排气口回风. .无尘室的类型无尘室的类型 2. 水平平行式无尘室水平平行式无尘室( Cross flow type CR):HEPA过滤网过滤网点检空间点检空间墙壁吸附口墙壁吸附口空气室空气室无尘室的类型无尘室的类型 3. 垂直平行式无尘室垂直平行式无尘室( Down flow type CR):HEPA过滤网过滤网空气调和器空气调和器 通过无尘室屋顶通过无尘室屋顶的高效过滤器出口的高效过滤器出口向屋内送风向屋内送风.
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- LCD 培训教材 无尘室 原理 29
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