物理光学与应用光学——4.pptx
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1、 光学薄膜这门学科已成为现代光学不可缺光学薄膜这门学科已成为现代光学不可缺少的一个重要组成部分,没有光学薄膜,许多少的一个重要组成部分,没有光学薄膜,许多现代光学装置便无法发挥效能,失去作用,无现代光学装置便无法发挥效能,失去作用,无论在提高或降低反射率、吸收率与透射率方面,论在提高或降低反射率、吸收率与透射率方面,在使光束分开或合并方面,或者在分色方面,在使光束分开或合并方面,或者在分色方面,在使光束偏振或检偏方面,以及在使某光谱带在使光束偏振或检偏方面,以及在使某光谱带通过或阻滞方面,在调整位相方面等等,光学通过或阻滞方面,在调整位相方面等等,光学薄膜均起着至关重要的作用。薄膜均起着至关重
2、要的作用。总之,薄膜在总之,薄膜在许多场合都扮演关键脚色。薄膜器件的轻巧灵许多场合都扮演关键脚色。薄膜器件的轻巧灵便、稳定给它带来更广阔的应用便、稳定给它带来更广阔的应用 :窄带滤光:窄带滤光片片光栅单色仪光栅单色仪第1页/共74页 三三十十年年代代中中期期德德国国的的鲍鲍尔尔和和美美国国的的斯斯特特朗朗先先后后用用真真空空蒸蒸发发方方法法制制备备了了单单层层减减反反射射膜膜,这这种种简简单单的的减减反反射射膜膜至至今今在在一一般般的的光光学学装装置置上上还还被大量地应用。被大量地应用。折折射射率率为为152的的玻玻璃璃敷敷有有折折射射率率为为138的的氟氟化化镁镁薄薄膜膜后后,单单面面的的反
3、反射射损损失失可可从从4.2%减减少少到到15%左左右右,例例如如7块块平平板板系系统统镀镀膜膜后后,在在参考波长上总的透射率可近似地估计为:参考波长上总的透射率可近似地估计为:T(097)7807%未镀膜:未镀膜:T=(0.92)7=55.7%这这比比没没有有经经过过镀镀膜膜处处理理的的系系统统提提高高了了约约25的的透射能量透射能量第2页/共74页与镀膜技术密切相关的产业与镀膜技术密切相关的产业镀膜眼镜镀膜眼镜幕墙玻璃幕墙玻璃滤光片滤光片ITO膜膜车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片光通信领域:光通信领域:DWDM、光纤薄膜器件、光纤薄膜器件红外膜红外膜投影显示投影显示
4、第3页/共74页2.3 光学薄膜光学薄膜的反射特性干涉滤光片第4页/共74页 在玻璃基片的光滑表面上镀上一层折射率和厚度都均匀的透明介质薄膜。一、单层膜 光学薄膜的反射特性第5页/共74页r1 薄膜上表面的反射系数r2 薄膜下表面的反射系数 类似于平行平板的多光束干涉,单层膜的反射系数:相邻两个出射光束间的相位差 r 单层膜反射系数的相位因子光学薄膜的反射特性一、单层膜 第6页/共74页则单层膜的反射率 R 光学薄膜的反射特性一、单层膜 第7页/共74页反射率反射率 当光束正入射到薄膜上时,薄膜两表面的反射系数:光学薄膜的反射特性一、单层膜 第8页/共74页介质膜反射率 R 随光学厚度 n1h
5、 的变化 光学薄膜的反射特性一、单层膜 第9页/共74页 n1 n2时时,R R0,单单层层膜膜的的反反射射率率较较未未镀镀膜膜时时减减小小,透过率增大,具有增透的作用,称为透过率增大,具有增透的作用,称为增透膜增透膜。n1=n0 或或 n1=n2时,时,R=R0 4.3%当n1 n2且 n1h=0/4 时,R=Rm,有最好的增透效果。最小反射率为 特别 时,Rm=0 完全增透。光学薄膜的反射特性一、单层膜 第10页/共74页光学薄膜的反射特性一、单层膜 单层氟化镁膜的反射率随波长和入射角的变化?第11页/共74页 光束斜入射到薄膜上时,薄膜上表面的反射系数:则形式上与正入射时的表达式相同,则
6、形式上与正入射时的表达式相同,称为有效折射率。s 分量以 代替p分量以 代替光学薄膜的反射特性一、单层膜 第12页/共74页 n1 n2时时,R R0,反反射射率率比比未未镀镀膜膜时时增增大大,即即该该单单层层膜具有增反的作用,称为膜具有增反的作用,称为增反膜增反膜。当n1 n2 且 n1h=0/4 时,R=RM,有最好的增反效果,其最大反射率 尽管RM与Rm形式上相同,但因 n1 取值不同,对应的反射率 R,一个是最大,一个是最小。光学薄膜的反射特性一、单层膜 第13页/共74页这说明,对于波长0的光,膜层厚度增加(或减小)0/2,对反射率没有影响。对于n1h=0/2的半波长膜,不管膜层折射
7、率比基片折射率大还是小,单层膜对0 的反射率都和未镀膜时的基片反射率相同,R=4.3%,即 光学薄膜的反射特性一、单层膜 第14页/共74页1.结构0/4 膜系示意图 采用光学厚度均为 0/4的高折射率膜层和低折射率膜层称为0/4 膜系,通常采用符号表示为 p=1,2,3,二、多层膜光学薄膜的反射特性第15页/共74页 0/4 膜系 每层膜的光学厚度是0/4,其优点是计算和制备工艺简单,镀制时容易采用极值法进行监控;缺点是层数多,R不能连续改变。非0/4 膜系 每层膜的光学厚度不是0/4,具体厚度要由计算确定。其优点是只要较少膜层就能达到所需要的反射率,缺点是计算和制备工艺较复杂。只讨论 0/
8、4 膜系。光学薄膜的反射特性二、多层膜第16页/共74页 高反射膜反射率的一般计算十分复杂,对于0/4 膜系,由于膜层光学厚度已经选定,可以简单地采用等效折射率法,把一个多层膜的问题变成单层膜的问题。2.反射率R(膜系的反射率)光学薄膜的反射特性二、多层膜第17页/共74页 把单层膜系看成是具有折射率为 nI 的一个“新基片”,nI 为等效折射率。“新基片”与 n0 的新界面称为等效面。(1)单层的0/4 膜等效折射率(空气到玻璃)等效界面等效界面n0n1nG等效于等效于n0nI(等效折射率)(等效折射率)GA光学薄膜的反射特性二、多层膜第18页/共74页正入射时,对于给定的波长 0,其反射率
9、为则引入等效折射率光学薄膜的反射特性二、多层膜(1)单层的0/4 膜等效折射率(空气到玻璃)等效界面等效界面n0n1n2n0nI(等效折射率)(等效折射率)第19页/共74页(2)多层 0/4膜系的等效折射率和反射率第一层:n0nHnGn0nLnI第二层:光学薄膜的反射特性二、多层膜第20页/共74页 依此类推,当膜层为偶数(2p)层时,(HL)p膜系的等效折射率为 相应的反射率为 光学薄膜的反射特性二、多层膜(2)多层 0/4膜系的等效折射率和反射率第21页/共74页 当膜层为奇数(2p+1)层时,(HL)p膜系的等效折射率为 相应的反射率为 光学薄膜的反射特性二、多层膜(2)多层 0/4膜
10、系的等效折射率和反射率第22页/共74页 表2-1 多层膜的反射率和透射率与真实折射率不同,等效折射率可以小于1,其取值范围可以很大。光学薄膜的反射特性二、多层膜第23页/共74页 要获得高反射率,膜系的两侧最外层均应为高折射率层(H层),因此,高反射率膜一定是奇数层。结论:0/4膜系为奇数层时,层数愈多,反射率 R 愈大。上述膜系的全部结果只对一种波长 0 成立,这个波长称为该膜系的中心波长。当入射光偏离中心波长时,其反射率相应地下降。光学薄膜的反射特性二、多层膜第24页/共74页 几种不同层数的0/4膜系的反射率曲线光学薄膜的反射特性二、多层膜第25页/共74页 R 下降到1/2处时的宽度
11、为反射带宽。式中g=0/。由此可见,反射带宽g只与nH/nL有关,nH/nL愈大,带宽就愈大。光学薄膜的反射特性二、多层膜第26页/共74页干涉滤波器(干涉滤光片)滤光片的作用滤光片的作用只让某一波段范围的光通过。只让某一波段范围的光通过。性能指标 中心波长0 透光率最大(TM)时的波长;透射带的波长半宽度透过率为最大值一半处的波 长范围 1/2 ;峰值透过率TM 吸收滤光片利用物质对光波的选择性吸收进行滤光。干涉滤光片利用多光束干涉原理实现滤光。滤光片的分类第27页/共74页1、法布里-珀罗型干涉滤光片全介质干涉滤光片全介质干涉滤光片金属反射膜干涉滤光片金属反射膜干涉滤光片 干涉滤波器(干涉
12、滤光片)第28页/共74页正入射时,透射光产生极大的条件为 滤光片的中心波长 2nh=m m=1,2,3,滤光片的中心波长 相邻干涉级(m=1)的中心波长差 =2m m=1,2,3,干涉滤波器(干涉滤光片)1、法布里-珀罗型干涉滤光片第29页/共74页m、R 愈大,1/2愈小,干涉滤光片的输出单色性愈好。透射带的波长半宽度 或干涉滤波器(干涉滤光片)1、法布里-珀罗型干涉滤光片第30页/共74页 对应于透射率最大的中心 波长的透射光强与入射光强之比考虑膜层的吸收损耗,透射光干涉图样强度 峰值透射率 TM(2.4-3)得干涉滤波器(干涉滤光片)1、法布里-珀罗型干涉滤光片第31页/共74页一种典
13、型的多层介质膜干涉滤光片透射率曲线 1、法布里-珀罗型干涉滤光片干涉滤波器(干涉滤光片)第32页/共74页几种干涉滤光片的特性 1、法布里-珀罗型干涉滤光片干涉滤波器(干涉滤光片)第33页/共74页膜厚变化对截止带的影响膜厚变化对截止带的影响 干涉滤波器(干涉滤光片)2、红外滤光片 依据多层高反射膜的反射率光谱特性,膜厚的变化将改变截止带的位置。如果 nh=0.22m,则反射红外线而透过可见光。如果 nh=0.13m,膜系反射可见光而透过红外光。第34页/共74页 在玻璃上镀高折射率薄膜,可以增大反射率,当光束斜入射时,其反射率的大小因 p 分量和 s 分量而异,并且在某个入射角上,反射光中的
14、p分量可以变为零。所以,与只有玻璃板的情况相似,这种高反膜也可以起到偏振元件的作用,干涉滤波器(干涉滤光片)3、偏振滤光片第35页/共74页 利用物质对光波的选择性吸收进行滤光。例如:红、绿玻璃以及各种有色液体等。如果光的 吸收较大,且吸收系数随波长有显著变化,称为选择性吸收。如对红光和橙光吸收少,而对绿光、蓝光和紫光几乎全部吸收。干涉滤波器(干涉滤光片)4、吸收滤光片第36页/共74页2.4 典型干涉仪迈克尔逊干涉仪马赫-泽德干涉仪法布里-珀罗干涉仪第37页/共74页迈克尔逊干涉仪迈克尔逊干涉仪SLDG1CEM 2M1M2G2PIII第38页/共74页 相对于半反射面相对于半反射面A,作出平
15、面反射镜,作出平面反射镜M2的虚像的虚像M2。于是可以认为观察系统。于是可以认为观察系统 L 所观察到的干涉图样,所观察到的干涉图样,是由实反射面是由实反射面M1和虚反射面和虚反射面M2 构成的虚平板产生的,构成的虚平板产生的,虚平板的厚度和楔角可通过调节虚平板的厚度和楔角可通过调节M1和和M2反射镜控制。反射镜控制。因此,迈克尔逊干涉仪可以产生厚的或者薄的平行平板(M1和M2 平行)和楔形平板(M1和M2 有一小的夹角)的干涉现象。扩展光源可以是单色性很好的激光,也可以是单色性很差的(白光)光源。迈克尔逊干涉仪第39页/共74页 调调节节M2,使使M2与与M1平平行行,观观察察到到的的干干涉
16、涉图图样样是是一一组组在在无无穷穷远远处处(或或在在L的的焦焦平平面面上上)的的等等倾倾干干涉涉圆环。圆环。当当M1向向M2移移动动时时(虚虚平平板板厚厚度度减减小小),圆圆环环条条纹纹向中心收缩向中心收缩,并在中心一一消失。,并在中心一一消失。M1每每移移动动 的的距距离离,在在中中心心就就消消失失一一个个条条纹。纹。迈克尔逊干涉仪 根据条纹消失的数目,可确定M1移动的距离。根据(2-26)式,此时条纹变粗(因为h变小,eN变大),同一视场中的条纹数变少。M1与M2完全重合时,各个方向入射光的光程差均相等,所以视场均匀。M1逐渐离开M2时,条纹不断从中心冒出,且随虚平板厚度的增大,条纹越来越
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