透射电子显微分析详解.pptx

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1、第3章 透射电子显微分析3.1 透射电子显微镜透射电子显微镜工作原理及构造工作原理及构造3.2 样品制备样品制备3.3 透射电镜基本成透射电镜基本成像操作及像衬度像操作及像衬度第1页/共63页电子显微分析方法的种类透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪，EDS)电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)第2页/共63页透射电子显微镜透射电子显微镜（简称（简称透射电镜透射电镜，TEMTEM），），可以以几种可以以几种不同的形式出现，如：不同的形式出现

2、，如：高分辨电镜高分辨电镜（HRTEMHRTEM）透射扫描电镜透射扫描电镜（STEMSTEM）分析型电镜分析型电镜（AEMAEM）等等。等等。入射电子束（照明束）也有两种主要形式：入射电子束（照明束）也有两种主要形式：平行束：平行束：透射电镜成像及衍射透射电镜成像及衍射 会聚束会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。TEMTEM的形式第3页/共63页3.1 3.1 透射电子显微镜工作原理及构造 3.1.1 3.1.1 工作原理工作原理成像原理与光学显微镜类似。成像原理与光学显微镜类似。它们的根本不同点在于光学显微镜以它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光可

3、见光作照明束，透射电子显微镜则以作照明束，透射电子显微镜则以电子电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜玻璃透镜，在电子显微镜中相，在电子显微镜中相应的为应的为磁透镜磁透镜。由于电子波长极短，同时与物质作用遵从由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（布拉格（BraggBragg）方程方程，产生衍射现象，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领像分辨本领的同时兼有的同时兼有结构分析结构分析的功能。的功能。第4页/共63页图图13-1 13-1 透射电子显微镜光路原理图透射电子显微镜光路原理图 第5

4、页/共63页3.1.2 3.1.2 构造TEMTEM由由电子光学系统电子光学系统照明系统照明系统成像系统成像系统观察记录系统观察记录系统真空系统真空系统电器系统电器系统电源电源控制系统控制系统组成。组成。第6页/共63页1.1.电磁透镜 电磁透镜是一种焦距电磁透镜是一种焦距(或放大倍数或放大倍数)可调的会可调的会聚透镜。减小激磁电流，可使电磁透镜磁场聚透镜。减小激磁电流，可使电磁透镜磁场强度降低、焦距变长强度降低、焦距变长(由由f1f1变为变为f2f2 ）。第7页/共63页2.2.照明系统 作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的 照明电子束。组成：电子枪和聚光镜 钨丝 热电子源电子源 LaB6

5、 场发射源 要求：为满足明场和暗场成像需要，照明束可 在2 3范围内倾斜第8页/共63页灯丝和阳极间加高压灯丝和阳极间加高压栅极偏压起会聚电子束的作用栅极偏压起会聚电子束的作用使其形成直径为使其形成直径为d d0 0、会聚会聚/发散角为发散角为 0 0的交叉的交叉 偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用电子枪热电子枪示意图第9页/共63页发叉式钨灯丝电子发叉式钨灯丝电子枪枪电子源d0=50m-钨灯丝电子枪结构原理示意图第10页/共63页六硼化镧热发射电子六硼化镧热发射电子枪枪六硼化镧电子枪结构示意图原理和发叉式钨灯丝相同。电子源 Crossover Cross

6、over 直径为1010m-20-20m。第11页/共63页场发射电子枪 肖特基热发射电子枪结构原理图由于能量热分散，直径为50-100nm 冷场发射电子枪阴极，采用310单晶钨，功函数4.2ev，腐蚀成冷场发射阴极针尖，曲率半径小于100nm 热场发射电子源直径 20nm 冷场发射电子源直径为5nm第12页/共63页电子枪对比第13页/共63页不同电子枪的比较Beam SourceHair-pin WLaB6Schottky FEGCold FEGBrightness(Q/cm2sr)105106108109Energy Spread(eV)2.31.50.6-0.80.3-0.5Work

7、Function(eV)4.52.72.64.3Heating Temp.(K)2,8001,8001,600300Vacuum(Pa)10-310-510-710-8Life time(hr)200100020002000Diameter of Crossover(nm)20,0005,000205Emission Current(mA)805010010Current Density(A/cm2)3205x1045x103Coherencebadmoderategoodexcellent第14页/共63页双聚透镜图13-6 双聚光镜照明系统光路图 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的

8、损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统。C1强激磁透镜控制束斑大小C1弱激磁透镜改变孔径角和获得最佳亮度第15页/共63页从聚光镜到物镜第16页/共63页3.3.成像系统 由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成。成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。通过调整中间镜的透镜电流，使中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，可在荧光屏上得到衍射花样。若使中间镜的物平面与物镜的像平面重合则得到显微像。透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜物镜。第17页/共63页成像系统的两种基本操作图13-7 透射电镜成像系统的两种基本操作(a)将衍射谱投影到荧光屏 (

9、b)将显微像投影到荧光屏 第18页/共63页物镜第19页/共63页物镜物镜物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁，短焦距的物镜。物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下级之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。为了减少物镜的球差，往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅

10、具有减少球差，像散和色差的作用，而且或以提高图像的衬度。此外，我们在以后的讨论中还可以看到，物镜光阑位于后焦面的位置上时，可以方便的进行暗场及衬度成像的操作。在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离总是固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。第20页/共63页中间镜 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作；如果把中间到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作；如果把中间镜的物平面和物镜的

11、背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是透射电子显微镜中的电子衍射操作。衍射花样，这就是透射电子显微镜中的电子衍射操作。第21页/共63页投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大(或缩小)的像(或电子衍射花样)进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的，因为成像电子束进入投影镜时孔径角很小(约10-5rad)因此它的景深和焦长都非常大。目前，高性能的透射电子显微镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影锐有两级分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。第22页/共63页透射电镜T

12、EM中三种主要光阑（名称、位置和作用）中三种主要光阑（名称、位置和作用）第23页/共63页（一）第二聚光镜光阑四四个个一一组组的的光光阑阑孔孔被被安安装装在在一一个个光光阑阑杆杆的的支支架架上上，使使用用时时，通通过过光光阑阑杆杆的的分分档档机机构构按按需需要要依依次次插插入入，使使光光阑阑孔孔中中心心位位于于电电子子束束的的轴轴线线上上（光光阑阑中中心心和和主主焦点重合）。焦点重合）。聚聚光光镜镜光光阑阑的的作作用用是是限限制制照照明明孔孔径径角角。在在双双聚聚光光镜镜系系统统中中，安安装装在在第第二二聚聚光光镜镜下下方方的的焦焦点点位位置置。光光阑阑孔孔的的直直径径为为20400m作作一一

13、般般分分析析观观察察时时，聚聚光光镜镜的的光光阑阑孔孔径径可可用用200300m，若若作作微微束束分分析析时时，则应采用小孔径光阑。则应采用小孔径光阑。第24页/共63页（二）物镜光阑物镜光阑又称为衬度光阑，物镜光阑又称为衬度光阑，通常它被放在物镜的后通常它被放在物镜的后焦面上。焦面上。常用物镜光阑孔的直径是常用物镜光阑孔的直径是2020120m120m范围。范围。电子束通过薄膜样品后产生散射和衍射。散射角电子束通过薄膜样品后产生散射和衍射。散射角(或衍射角或衍射角)较大的电子被光阑挡住，不能继续进入较大的电子被光阑挡住，不能继续进入镜筒成像，从而就会在像平面上形成具有一定衬度镜筒成像，从而就

14、会在像平面上形成具有一定衬度的图像。光阑孔越小，被挡去的电子越多，图像的的图像。光阑孔越小，被挡去的电子越多，图像的衬度就越大，衬度就越大，这就是物镜光阑又叫做衬度光阑的原这就是物镜光阑又叫做衬度光阑的原因。因。加入物镜光阑使物镜孔径角减小，能减小像差，加入物镜光阑使物镜孔径角减小，能减小像差，得到质量较高的显微图像。得到质量较高的显微图像。物镜光阑的另一个主要作用是在后焦面上套取衍射物镜光阑的另一个主要作用是在后焦面上套取衍射束的斑点（即副焦点）成像，这就是所谓暗场像。束的斑点（即副焦点）成像，这就是所谓暗场像。利用明暗场显微照片的对照分析，可以方便地进行利用明暗场显微照片的对照分析，可以方

15、便地进行物相鉴定和缺陷分析。物相鉴定和缺陷分析。第25页/共63页（三）选区光阑选区光阑又称场限光阑或视场光阑。选区光阑又称场限光阑或视场光阑。为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能通过光阑限定的微区。光阑，使电子束只能通过光阑限定的微区。对这个微区进行衍射分析叫做选区衍射。由于样品上待对这个微区进行衍射分析叫做选区衍射。由于样品上待分析的微区很小，一般是微米数量级。制作这样大小的分析的微区很小，一般是微米数量级。制作这样大小的光阑孔在技术上还有一定的困难，加之小光阑孔极易污光阑孔在技术上还有一定的困难，加之小光阑孔极

16、易污染，因此，染，因此，选区光阑都放在物镜的像平面位置。选区光阑都放在物镜的像平面位置。这样布这样布置达到的效果与光阑放在样品平面处是完全一样的。但置达到的效果与光阑放在样品平面处是完全一样的。但光阑孔的直径就可以做的比较大。如果物镜的放大倍数光阑孔的直径就可以做的比较大。如果物镜的放大倍数是是5050倍，则一个直径等于倍，则一个直径等于50m50m的光阑就可以选择样品的光阑就可以选择样品上直径为上直径为1m1m的区域。的区域。选区光阑同样是用无磁性金属材料制成的，一般选区光选区光阑同样是用无磁性金属材料制成的，一般选区光阑孔的直径位于阑孔的直径位于2020400m400m范围之间，它可制成大

17、小范围之间，它可制成大小不同的四孔一组或六孔一组的光阑片，由光阑支架分档不同的四孔一组或六孔一组的光阑片，由光阑支架分档推入镜筒。推入镜筒。第26页/共63页4.4.观察记录系统第27页/共63页5.5.真空系统第28页/共63页3.1.3 3.1.3 选区电子衍射 图图4-8 4-8 在物镜像平面上插入选区光栏实现选区衍射的示意在物镜像平面上插入选区光栏实现选区衍射的示意图图 第29页/共63页选区衍射操作步骤（1）使选区光栏以下的透镜系统聚焦（2）使物镜精确聚焦（3）获得衍射谱 第30页/共63页透射电镜的功能及发展 从1934年第一台透射电子显微镜诞生以来，70年的时间里它得到了长足的发

18、展。这些发展主要集中在三个方面。一是透射电子显微镜的功能的扩展；另一个是分辨率的不断提高；第三是将计算机和微电子技术应用于控制系统、观察与记录系统等。第31页/共63页功能的扩展早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。具发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器（如光镜和分析仪器（如光镜和X X射线衍射仪）所不具备的。射线衍射仪）所不具备的。透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的

19、样品透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察（内部组织形貌观察（TEMTEM）、原位的电子衍射分析）、原位的电子衍射分析（DiffDiff），发展到还可以进行原位的成分分析（能谱仪），发展到还可以进行原位的成分分析（能谱仪EDSEDS、特征能量损失谱、特征能量损失谱EELSEELS）、表面形貌观察（二次电）、表面形貌观察（二次电子像子像SEDSED、背散射电子像、背散射电子像BEDBED）和透射扫描像（）和透射扫描像（STEMSTEM）。）。第32页/共63页功能的扩展结合样品台设计成高温台、低温台和拉伸台，透射电子显微镜还可以在加结合样品台设计成高温台、低温台和拉伸台

20、，透射电子显微镜还可以在加热状态、低温冷却状态和拉伸状态下观察样品动态的组织结构、成分的变热状态、低温冷却状态和拉伸状态下观察样品动态的组织结构、成分的变化，使得透射电子显微镜的功能进一步的拓宽。化，使得透射电子显微镜的功能进一步的拓宽。透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪器在不更换样品的情况下可以进透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪器在不更换样品的情况下可以进行多种分析，尤其是可以针对同一微区位置进行形貌、晶体结构、成分行多种分析，尤其是可以针对同一微区位置进行形貌、晶体结构、成分（价态）的全面分析。（价态）的全面分析。第33页/共63页分析型透射电子显微镜利用电子束与固体样品利用电子束与

21、固体样品相互作用产生的物理信相互作用产生的物理信号开发的多种分析附件，号开发的多种分析附件，大大拓展了透射电子显大大拓展了透射电子显微镜的功能。由此产生微镜的功能。由此产生了透射电子显微镜的一了透射电子显微镜的一个分支个分支分析型透射分析型透射电子显微镜。电子显微镜。第34页/共63页分析型透射电子显微镜分析型透射电子显微镜第35页/共63页分析型透射电子显微镜分析型透射电子显微镜第36页/共63页超高压电镜超高压电镜第37页/共63页3.2 3.2 样品制备TEM样品可分为间接样品和直接样品。要求：（1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100200nm

22、为宜。（2）所制得的样品还必须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。因此，样品制备时不可影响这些特征，如已产生影响则必须知道影响的方式和程度。第38页/共63页3.2.1 3.2.1 间接样品(复型)的制备对复型材料的主要要求：复型材料本身必须是“无结构”或非晶态的；有足够的强度和刚度，良好的导电、导热和耐电子束轰击性能。复型材料的分子尺寸应尽量小，以利于提高复型的分辨率，更深入地揭示表面形貌的细节特征。常用的复型材料是非晶碳膜和各种塑料薄膜。第39页/共63页制备复型的材料应具备的条件第40页/共63页复型的种类按复型的制备方法，复型主要分为：一级复型 二级复型 萃取复型（半直接样品）第

23、41页/共63页一级复型-塑料在已制备好的金相样品或断口样品上摘上几 滴体积浓度为1的火棉胶醋酸戊酯溶液或 醋酸纤维素丙酮溶液，溶液在样品表面展平，多余的溶液用滤纸吸掉，待溶剂蒸发后样 品表面即留下一层100nm左右的塑料薄膜。把这层塑料薄膜小心地从样品表面上揭下来，剪成对角线小于3mm的小方块后，就可以 放在直径为3mm的专用铜网上，进行透射电子显微分析。从右上图可以看出，这种复型是负复型，也就是说样品上凸出部分在复型上是凹下击的。塑料一级复型大都只能做金相样品的分析不宜做表面起伏较大的断口分析，因为当断口上的高度差比较大时无法做出较薄的可被电子束透过的复型膜。此外，塑料一级复型存在分辨率不

24、高和在电子束照射下容易分解等缺点。第42页/共63页一级复型-碳制备这种复型的过程是直接把表面清洁的金相样品放入制备这种复型的过程是直接把表面清洁的金相样品放入真空镀膜装置中，在垂直方向上向样品表面蒸镀一层厚真空镀膜装置中，在垂直方向上向样品表面蒸镀一层厚度为数十纳米的碳膜。度为数十纳米的碳膜。把喷有碳膜的样品用小刀划成对角线小于把喷有碳膜的样品用小刀划成对角线小于3mm3mm的小方块，的小方块，然后把此样品放入配好的分离液内进行电解或化学分离。然后把此样品放入配好的分离液内进行电解或化学分离。塑料一级复型与碳一级复型的区别塑料一级复型与碳一级复型的区别厚度、损坏样品和分厚度、损坏样品和分辨率

25、。辨率。第43页/共63页二级复型二级复型（塑料（塑料碳二级复碳二级复型）型）图13-14 塑料-碳二级复型制备过程示意图 第44页/共63页二级复型（塑料碳二级复型）特点制备复型时不破坏样品的原始面。最终复型是带有重金属投影的碳膜，这种复合膜的稳定性和导电导热性都很好，因此，在电子束照射下不易发牛分解和破裂。虽然最终复型主要是碳膜但因中间复型是塑料，所以，塑料碳二级复型的分辨率和塑料一级复型相当。最终的碳复型是通过溶解中间复型得到的，不必从样品上直接剥离，而碳复型是一层厚度约为10nm的薄层，可以被电子束透过。由于二级复型制作简便，因此它是目前使用得最多的一种复型技术。下图为合金钢回火组织及

26、低碳钢冷脆断口的二级复型照片，可以清楚地看到回火组织中析出的颗粒状碳化物和解理断口上的河流花样。第45页/共63页二级复型图像二级复型图像(a)30CrMnSi钢回火组织 (b)低碳钢冷脆断口第46页/共63页在需要对第二相粒子形状、大小和分在需要对第二相粒子形状、大小和分布进行分析的同时对第二相粒子进行布进行分析的同时对第二相粒子进行物相及晶体结构物相及晶体结构分析时，常采用萃取分析时，常采用萃取复型的方法。复型的方法。这种复型的方法和碳一级复型类似这种复型的方法和碳一级复型类似只是金相样品在腐蚀时应进行深腐蚀，只是金相样品在腐蚀时应进行深腐蚀，使第二相粒子容易从基体上剥离。使第二相粒子容易

27、从基体上剥离。萃取复型第47页/共63页3.2.2 3.2.2 直接样品的制备1.粉末样品制备粉末样品制备的关键是如何将超细粉的颗粒分散开来，各自独立而不团聚。胶粉混合法：在干净玻璃片上滴火棉胶溶液，然后在玻璃片胶液上放少许粉末并搅匀，再将另一玻璃片压上，两玻璃片对研并突然抽开，稍候，膜干。用刀片划成小方格，将玻璃片斜插入水杯中，在水面上下空插，膜片逐渐脱落，用铜网将方形膜捞出，待观察。支持膜分散粉末法：需TEM分析的粉末颗粒一般都远小于铜网小孔，因此要先制备对电子束透明的支持膜。常用的支持膜有火棉胶膜和碳膜，将支持膜放在铜网上，再把粉末放在膜上送入电镜分析。第48页/共63页超细陶瓷粉未的透

28、射电镜照片第49页/共63页2.2.晶体薄膜样品的制备一般程序：(1)初减薄制备厚度约100200m的薄片；(2)从薄片上切取3mm的圆片；(3)预减薄从圆片的一侧或两则将圆片中心区域减薄至数m机械研磨和化学薄化机械研磨和化学薄化(4)终减薄双喷电解抛光法双喷电解抛光法第50页/共63页图13-15 双喷电解抛光装置原理图 第51页/共63页图13-16 离子减薄装置原理示意图 不导电的陶瓷样品不导电的陶瓷样品第52页/共63页3.3 3.3 透射电镜基本成像操作及像衬度13.3.1 13.3.1 成像操作成像操作13.3.2 13.3.2 像衬度像衬度质厚衬度质厚衬度衍射衬度衍射衬度第53页

29、/共63页3.3.1 3.3.1 成像操作图13-17 成像操作光路图（a）明场像 (b)暗场像 (c)中心暗场像 第54页/共63页3.3.2 3.3.2 像衬度 像衬度是荧光屏或图像上不同区域间明暗程度的差别。透射电镜的像衬度来源于样品对入射电子束的散射。可分为：振幅衬度质厚衬度：非晶样品衬度的主要来源衍射衬度：晶体样品衬度的主要来源相位衬度 第55页/共63页质厚衬度原理质厚衬度质厚衬度是建立在非晶体样品中原子原子对入射电子的散射散射和透射电子显微镜小孔径角成像小孔径角成像基础上的成像原理，是解释非晶态样品(如复型)电子显微图像衬度的理论依据。单个原子对入射电子的散射：单个原子对入射电子

30、的散射：弹性散射、非弹性散射、散射角、瞄准距离原子核弹性散射截面：核外电子非弹性散射截面：原子对入射电子的散射截面：第56页/共63页透射电子显微镜小孔径角成像为了确保透射电子显微镜的高分辨本领，采用小孔径角成像。通过在物镜背焦平面上沿径向插入一个小孔径的物镜光阑来实现的。结果，把散射角大于的电子挡掉，只允许散射角小于的电子通过物镜光阑参与成像。第57页/共63页质厚衬度成像原理衬度衬度是指在荧光屏或照相底片上，眼睛能观察到的光强度或感光度的差别。是指在荧光屏或照相底片上，眼睛能观察到的光强度或感光度的差别。电子显微镜图像的衬度取决于投射到荧光屏或照相底片上不同区域的电子显微镜图像的衬度取决于

31、投射到荧光屏或照相底片上不同区域的电子强度差电子强度差别别。第58页/共63页质厚衬度原理第59页/共63页图图13-19 13-19 衍射衬度成像光路图衍射衬度成像光路图 这种由于样品中不同位向的晶体的衍这种由于样品中不同位向的晶体的衍射条件射条件位向位向)不同而造成的衬度差别不同而造成的衬度差别叫叫衍射衬度。衍射衬度。我们把这种让透射束通过我们把这种让透射束通过物镜光阑物镜光阑而而把衍射束挡掉得到图像衬度的方法，把衍射束挡掉得到图像衬度的方法，叫做叫做明场明场(BF)(BF)成像成像。所得到的像叫。所得到的像叫明明场像场像。如果我们把物镜光阑的位置移动一如果我们把物镜光阑的位置移动一下，使

32、其光阑孔套下，使其光阑孔套hklhkl斑点，而把透射斑点，而把透射束挡掉，可以得到束挡掉，可以得到暗场暗场(DF)(DF)像像。即把入射电子束方向倾斜即把入射电子束方向倾斜22角度，角度，使使A A晶粒的晶粒的(hkl)(hkl)晶面组处于晶面组处于强烈衍射强烈衍射的位向的位向，而物镜光阑仍在，而物镜光阑仍在光轴位置光轴位置。此时只有此时只有A A晶粒晶粒(hkl)(hkl)的衍射束正好通的衍射束正好通过光阑孔，而透射束被挡掉，这叫做过光阑孔，而透射束被挡掉，这叫做中心暗场中心暗场(CDF)(CDF)成像方法成像方法。第60页/共63页衍衬成像原理(a)(a)明场像；明场像；（b b）中心暗场衍射成像）中心暗场衍射成像第61页/共63页正方ZrOZrO2 2多晶的明场像第62页/共63页感谢您的观看！第63页/共63页