微系统行业分析报告 2022年微系统行业发展前景及规模分析.docx
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1、微系统行业分析报告 2022年微系统行业发展前景及规模分析全球微系统行业特点微系统技术是以两种截然不同的传统技术为基础的,一种是机械方法,另一种是微电子光刻工艺。光刻工艺能够制作出1微米量级的部件。硅片的各向异性湿法腐蚀是硅片微机械加工的重要技术之一。与“表面微机械加工”不同,表面微机械加工所对应的结构由薄膜构成,可在不影响材料的情况下,由同种材料薄膜释放形成。各向异性湿法腐蚀被认为是“微机械加工”,因其可腐蚀硅片的体结构。微系统的构成:一个完整的微系统由传感器模块、执行元件模块、信号处理模块、外部环境接口模块以及定位机构、支撑机构、工具等机械结构等部分构成。微系统是以微纳尺度理论为支撑,以微
2、纳制造及工艺等为基础,不断融入微机械、微电子、微光学、微能源、微流动等各种技术,具有微感知、微处理、微控制、微传输、微对抗等功能,并通过功能模块的集成,实现单一或多类用途的综合性前沿技术。微系统是一项多学科交叉的新兴高新技术,在信息、生物、航天、军事等领域具有广泛的应用前景,对于国家保持技术领先优势具有重要意义。2020年中国微系统行业发展态势分析统计数据显示,2016年中国微系统行业市场规模356.12亿元,2020年中国微系统行业市场规模600.68亿元。2016-2021年中国微系统行业市场规模如下:图表:2016-2021年中国微系统行业市场规模数据来源:智研瞻研究产业院整理微系统行业
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