物理气相沉积.ppt

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1、第八章第八章气相沉积技术气相沉积技术气相沉积技术气相沉积技术:发展迅速，应用广泛发展迅速，应用广泛表面成膜技术表面成膜技术application制备各种特殊力学性能制备各种特殊力学性能的薄膜涂层，的薄膜涂层，如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等。如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等。制备各种功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。制备各种功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。超硬薄膜涂层等。超硬薄膜涂层等。since1970s薄膜技术和薄膜材料薄膜技术和薄膜材料发展突飞猛进发展突飞猛进成果累累成果累累当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域微电子工业乃至信息工业的基础工艺微电子工业乃

2、至信息工业的基础工艺:气相沉积技术气相沉积技术+微细加工技术微细加工技术（光刻腐蚀、离子刻蚀、反应离子刻蚀、离子注入和（光刻腐蚀、离子刻蚀、反应离子刻蚀、离子注入和离子束混合改性等在内的微细加工技术领域）离子束混合改性等在内的微细加工技术领域）可沉积的物质：可沉积的物质：金属膜、合金膜，化合物、非金属、半导体、金属膜、合金膜，化合物、非金属、半导体、陶瓷、塑料膜等。陶瓷、塑料膜等。沉积薄膜物质无限制沉积薄膜物质无限制基体无限制基体无限制application1.大量用于电子器件和大规模集成电路制作大量用于电子器件和大规模集成电路制作2.制取磁性膜及磁记录介质、绝缘膜、电介质膜、制取磁性膜及磁记

3、录介质、绝缘膜、电介质膜、压电膜、光学膜、光导膜、超导膜、传感器膜和压电膜、光学膜、光导膜、超导膜、传感器膜和耐磨、耐蚀、自润滑膜、装饰膜以及各种特殊需耐磨、耐蚀、自润滑膜、装饰膜以及各种特殊需要的功能膜等要的功能膜等在促进电子电路小型化、功能高度集成化方面发在促进电子电路小型化、功能高度集成化方面发挥着关键的作用。挥着关键的作用。薄膜技术：薄膜技术：1.薄膜材料与制备技术薄膜材料与制备技术2.薄膜沉积过程监测控制技术薄膜沉积过程监测控制技术3.薄膜检测技术与薄膜应用技术薄膜检测技术与薄膜应用技术薄膜产业薄膜产业门类齐全。门类齐全。8.1物理气相沉积（物理气相沉积（PVD）物理气相沉积物理气相

4、沉积（PhysicalVaporDeposition，简称，简称PVD法），法），是利用热蒸发、辉光放电或弧光放电等物理过程，是利用热蒸发、辉光放电或弧光放电等物理过程，在基材表面沉积所需涂层的技术。在基材表面沉积所需涂层的技术。包括包括:真空蒸发真空蒸发镀膜镀膜溅射溅射镀膜镀膜离子离子镀膜镀膜物理气相沉积物理气相沉积PVD设备设备 与其他镀膜或表面处理方法相比，物理气相沉积与其他镀膜或表面处理方法相比，物理气相沉积具有以下特点：具有以下特点：（1）镀层材料广泛，可镀各种金属、合金、氧化）镀层材料广泛，可镀各种金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物镀层，也能镀制金属、物、氮化物、碳化物等化

5、合物镀层，也能镀制金属、化合物的多层或复合层；化合物的多层或复合层；（2）镀层附着力强；工艺温度低，工件一般无受热）镀层附着力强；工艺温度低，工件一般无受热变形或材料变质等问题，如用离子镀得到变形或材料变质等问题，如用离子镀得到TiN等硬质等硬质镀层，其工件温度可保持在镀层，其工件温度可保持在550以下，这比化学以下，这比化学气相沉积法制备同样的镀层所需的气相沉积法制备同样的镀层所需的1000要低得要低得多；多；镀层纯度高、组织致密；工艺过程主要由电参数镀层纯度高、组织致密；工艺过程主要由电参数控制，易于控制、调节；对环境无污染。控制，易于控制、调节；对环境无污染。虽然存在设备较复杂、一次投资

6、较大等缺陷，虽然存在设备较复杂、一次投资较大等缺陷，但由于以上特点，但由于以上特点，物理气相沉积技术具有广阔的发展前景。物理气相沉积技术具有广阔的发展前景。8.1.1物理气相沉积的基本过程物理气相沉积的基本过程（1）气相物质的产生）气相物质的产生一类方法是使镀料加热蒸发，称为蒸发镀膜；另一类方法是使镀料加热蒸发，称为蒸发镀膜；另一类是用具有一定能量的离子轰击靶材（镀料），一类是用具有一定能量的离子轰击靶材（镀料），从靶材上击出镀料原子，称为溅射镀膜。从靶材上击出镀料原子，称为溅射镀膜。（2）气相物质的输送）气相物质的输送气相物质的输送要求在真空中进行，这主要是为气相物质的输送要求在真空中进行，

7、这主要是为了避免气体碰撞妨碍气相镀料到达基片。了避免气体碰撞妨碍气相镀料到达基片。（3）气相物质的沉积）气相物质的沉积气相物质在基片上沉积是一个凝聚过程。气相物质在基片上沉积是一个凝聚过程。根据凝聚条件的不同，可以形成非晶态膜、根据凝聚条件的不同，可以形成非晶态膜、多晶膜或单晶膜。多晶膜或单晶膜。蒸镀和溅射蒸镀和溅射是物理气相沉积的两类基本镀膜技术。是物理气相沉积的两类基本镀膜技术。以此为基础，又衍生出以此为基础，又衍生出反应镀和离子镀反应镀和离子镀。其中反。其中反应镀在工艺和设备上变化不大，可以认为是蒸镀应镀在工艺和设备上变化不大，可以认为是蒸镀和溅射的一种应用；而离子镀在技术上变化较大，和

8、溅射的一种应用；而离子镀在技术上变化较大，所以通常将其与蒸镀和溅射并列为另一类镀膜技术。所以通常将其与蒸镀和溅射并列为另一类镀膜技术。反应镀反应镀镀料原子在沉积时，可与其它活性气体镀料原子在沉积时，可与其它活性气体分子发生化学反应而形成化合物膜，称为分子发生化学反应而形成化合物膜，称为反应镀反应镀。离子镀离子镀在镀料原子凝聚成膜的过程中，还可以同时用在镀料原子凝聚成膜的过程中，还可以同时用具有一定能量的离子轰击膜层，目的是改变膜具有一定能量的离子轰击膜层，目的是改变膜层的结构和性能，这种镀膜技术称为层的结构和性能，这种镀膜技术称为离子镀离子镀。8.1.2蒸发镀膜蒸发镀膜蒸发镀是蒸发镀是PVD方

9、法中最早用于工业生产的一种，方法中最早用于工业生产的一种，该方法工艺成熟，设备较完善，低熔点金属蒸发该方法工艺成熟，设备较完善，低熔点金属蒸发效果高，可用于制备介质膜、电阻、电容等，也效果高，可用于制备介质膜、电阻、电容等，也可以在塑料薄膜和纸张上连续蒸镀铝膜。可以在塑料薄膜和纸张上连续蒸镀铝膜。定义：定义：在真空条件下，用加热蒸发的方法使镀在真空条件下，用加热蒸发的方法使镀料转化为气相，然后凝聚在基体表面的方法称为料转化为气相，然后凝聚在基体表面的方法称为蒸发镀膜，简称蒸镀。蒸发镀膜，简称蒸镀。一、蒸发原理一、蒸发原理在高真空中用加热蒸发的方法使镀料转化为在高真空中用加热蒸发的方法使镀料转化

10、为气相，然后凝聚在基体表面的方法称蒸发镀膜气相，然后凝聚在基体表面的方法称蒸发镀膜（简称蒸镀）。（简称蒸镀）。蒸发镀膜过程是由蒸发镀膜过程是由镀材物质蒸发、蒸发材料粒子的镀材物质蒸发、蒸发材料粒子的迁移和蒸发材料粒子在基板表面沉积迁移和蒸发材料粒子在基板表面沉积三个过程组成。三个过程组成。蒸发镀膜是物理气相沉积的一种，与溅射镀膜和离蒸发镀膜是物理气相沉积的一种，与溅射镀膜和离子镀膜相比有如下优缺点：子镀膜相比有如下优缺点：设备简单可靠、工艺容易掌握、可进行大规模生产，设备简单可靠、工艺容易掌握、可进行大规模生产，镀膜的形成机理比较简单，多数物质均可采用真空镀膜的形成机理比较简单，多数物质均可采

11、用真空蒸发镀膜；蒸发镀膜；但镀层与基片的结合力差，高熔点物质和低蒸气但镀层与基片的结合力差，高熔点物质和低蒸气压物质的镀膜很难制作，如铂、铝等金属，蒸发压物质的镀膜很难制作，如铂、铝等金属，蒸发物质所用坩埚材料也会蒸发，混入镀膜之中成为物质所用坩埚材料也会蒸发，混入镀膜之中成为杂质。杂质。二、蒸发方法二、蒸发方法蒸发源：加热待蒸发材料并使之挥发的器具称为蒸发源：加热待蒸发材料并使之挥发的器具称为蒸发源，也称加热器。蒸发源，也称加热器。蒸镀方法主要有下列几种：蒸镀方法主要有下列几种：1.电阻加热法：让大电流通过蒸发源，加热待镀材电阻加热法：让大电流通过蒸发源，加热待镀材料，使其蒸发的简单易行的方

12、法。料，使其蒸发的简单易行的方法。对蒸发源材料的基本要求是：高熔点，低蒸气对蒸发源材料的基本要求是：高熔点，低蒸气压，在蒸发温度下不会与膜料发生化学反应或压，在蒸发温度下不会与膜料发生化学反应或互溶，具有一定的机械强度，且高温冷却后脆互溶，具有一定的机械强度，且高温冷却后脆性小等性质。常用钨、钼、钽等高熔点金属材料。性小等性质。常用钨、钼、钽等高熔点金属材料。按照蒸发材料的不同，可制成丝状、带状和板状等。按照蒸发材料的不同，可制成丝状、带状和板状等。电阻加热蒸发源电阻加热蒸发源 2.电子束加热：即用高能电子束直接轰击蒸发电子束加热：即用高能电子束直接轰击蒸发物质的表面，使其蒸发。物质的表面，使

13、其蒸发。由于是直接在蒸发物质中加热，避免了蒸发由于是直接在蒸发物质中加热，避免了蒸发物质与容器的反应和蒸发源材料的蒸发，故可物质与容器的反应和蒸发源材料的蒸发，故可制备高纯度的膜层。一般用于电子原件和半导制备高纯度的膜层。一般用于电子原件和半导体用的铝和铝合金，此外，用电子束加热也可体用的铝和铝合金，此外，用电子束加热也可以使高熔点金属（如以使高熔点金属（如W，Mo，Ta等）熔化、蒸等）熔化、蒸发。发。高频感应加热高频感应加热蒸发源蒸发源 3.高频感应加热：在高频感应线圈中放入氧化铝和石墨坩埚，蒸镀的材料高频感应加热：在高频感应线圈中放入氧化铝和石墨坩埚，蒸镀的材料置于坩锅中，通过高频交流电使

14、材料感应加热而蒸发。置于坩锅中，通过高频交流电使材料感应加热而蒸发。此法主要用于铝的大量蒸发，得到的膜层纯净而且不受带电粒子的损害。此法主要用于铝的大量蒸发，得到的膜层纯净而且不受带电粒子的损害。8.1.3溅射镀膜溅射镀膜在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够的能量而溅出进入气相，然后在其原子获得足够的能量而溅出进入气相，然后在工件表面沉积的过程。工件表面沉积的过程。在溅射镀膜中，被轰击的材料称为靶。在溅射镀膜中，被轰击的材料称为靶。由于离子易于在电磁场中加速或偏转，所以荷能粒由于离子易于在电磁场中加速或偏转，所以荷能粒子一般为离子，这种

15、溅射称为子一般为离子，这种溅射称为离子溅射离子溅射。用离子束。用离子束轰击靶而发生的溅射，则称为轰击靶而发生的溅射，则称为离子束溅射离子束溅射。一、溅射镀膜方法一、溅射镀膜方法（1）直流二极溅射）直流二极溅射二极溅射是最早采用的一种溅射方法。二极溅射是最早采用的一种溅射方法。以镀膜材料为阴极，而被镀膜材料为阳极。阴极以镀膜材料为阴极，而被镀膜材料为阳极。阴极上接上接13kV的直流负高压，阳极通常接地。工作时的直流负高压，阳极通常接地。工作时先抽真空，再通氩气，使真空室内达到溅射气压。先抽真空，再通氩气，使真空室内达到溅射气压。接通电源，阴极靶上的负高压在两极间产生辉光接通电源，阴极靶上的负高压

16、在两极间产生辉光放电并建立起一个等离子区，其中带正电的氩离子放电并建立起一个等离子区，其中带正电的氩离子在阴极附近的阴极电位降作用下，加速轰击阴极在阴极附近的阴极电位降作用下，加速轰击阴极靶、使靶物质表面溅射，并以分子或原子状态沉积靶、使靶物质表面溅射，并以分子或原子状态沉积在基片表面，形成靶材料的薄膜。在基片表面，形成靶材料的薄膜。靶材靶材基材基材阳极阳极阴极阴极辉光放电产生离子辉光放电产生离子溅射气体溅射气体Ar直流二极溅射直流二极溅射这种装置的最大优点是结构简单，控制方便。这种装置的最大优点是结构简单，控制方便。缺点有：缺点有：因工作压力较高因工作压力较高,膜层有沾污；沉积速率低，膜层有

17、沾污；沉积速率低，不能镀不能镀10m以上的膜厚；由于大量二次电子以上的膜厚；由于大量二次电子直接轰击基片使基片温升过高。直接轰击基片使基片温升过高。（2）三极溅射）三极溅射三极溅射是在二极溅射三极溅射是在二极溅射的装置上附加一个电的装置上附加一个电极极热阴极，发射热热阴极，发射热电子，热电子在电场电子，热电子在电场吸引下穿过靶与基极吸引下穿过靶与基极间的等离子体区，使间的等离子体区，使热电子强化放电，它热电子强化放电，它既能使溅射速率有所既能使溅射速率有所提高，又能使溅射工提高，又能使溅射工况的控制更为方便。况的控制更为方便。这样，溅射速率提高，这样，溅射速率提高，由于沉积真空度提高，由于沉积

18、真空度提高，镀层质量得到改善。镀层质量得到改善。（3）磁控溅射）磁控溅射磁控溅射是磁控溅射是70年代迅速发展起来的新型溅射技术。年代迅速发展起来的新型溅射技术。其特点是在阴极靶面上建立一个环状磁靶，其特点是在阴极靶面上建立一个环状磁靶，以控制二次电子的运动，离子轰击靶面所产生以控制二次电子的运动，离子轰击靶面所产生的二次电子在电磁场作用下，被压缩在近靶面的二次电子在电磁场作用下，被压缩在近靶面作回旋运动，延长了到达阳极的路程，大大提作回旋运动，延长了到达阳极的路程，大大提高了与气体原子的碰撞概率，因而提高溅射率。高了与气体原子的碰撞概率，因而提高溅射率。磁控溅射目前已在工业生产中实际应用。这是

19、由于磁控溅射磁控溅射目前已在工业生产中实际应用。这是由于磁控溅射的镀膜速率与二极溅射相比提高了一个数量级。具有沉积速的镀膜速率与二极溅射相比提高了一个数量级。具有沉积速率、基片的温升低、对膜层的损伤小等优点。率、基片的温升低、对膜层的损伤小等优点。1974年年Chapin发明了适用于工业应用的平面磁控溅射发明了适用于工业应用的平面磁控溅射靶，对进入生产领域起了推动作用。靶，对进入生产领域起了推动作用。（4）反应溅射）反应溅射在阴极溅射中，真空槽中需要充入气体作为媒在阴极溅射中，真空槽中需要充入气体作为媒介，使辉光放电得以启动和维持。介，使辉光放电得以启动和维持。最常用的气体是氩气。如果在通入的

20、气体中掺入最常用的气体是氩气。如果在通入的气体中掺入易与靶材发生反应的气体（如易与靶材发生反应的气体（如O2，N2等），因而等），因而能沉积制得靶材的化合物膜（如靶材氧化物，氮化能沉积制得靶材的化合物膜（如靶材氧化物，氮化物等化合物薄膜）。物等化合物薄膜）。其实际装置，除为了混合气体需设置两个气体引其实际装置，除为了混合气体需设置两个气体引入口以及将基片加热到入口以及将基片加热到500以外，与两极溅射和以外，与两极溅射和射频溅射无多大差别。射频溅射无多大差别。溅射是物理气相沉积技术中最容易控制合金成分溅射是物理气相沉积技术中最容易控制合金成分的方法。的方法。二、溅射镀膜的特点二、溅射镀膜的特点

21、与真空蒸镀法相比，有如下特点：与真空蒸镀法相比，有如下特点：结合力高；结合力高；容易得到高熔点物质的膜；容易得到高熔点物质的膜；可以在较大面积上得到均一的薄膜；可以在较大面积上得到均一的薄膜；容易控制膜的组成；容易控制膜的组成；可以长时间地连续运转；可以长时间地连续运转；有良好的再现性；有良好的再现性；几乎可制造一切物质的薄膜。几乎可制造一切物质的薄膜。三、溅射的用途三、溅射的用途溅射薄膜按其不同的功能和应用可大致分为机械溅射薄膜按其不同的功能和应用可大致分为机械功能膜和物理功能膜两大类。功能膜和物理功能膜两大类。前者包括耐摩、减摩、耐热、抗蚀等表面强化薄膜前者包括耐摩、减摩、耐热、抗蚀等表面

22、强化薄膜材料、固体润滑薄膜材料；材料、固体润滑薄膜材料；后者包括电、磁、声、光等功能薄膜材料等。后者包括电、磁、声、光等功能薄膜材料等。采用采用Cr，Cr-CrN等合金等合金靶或镶嵌靶，在靶或镶嵌靶，在N2,CH4等气氛中进行反应溅射镀等气氛中进行反应溅射镀膜，可以在各种工件膜，可以在各种工件上镀上镀Cr,CrC,CrN等镀层。等镀层。纯纯Cr的显微硬度为的显微硬度为425840HV，CrN为为1000350OHV，不仅硬，不仅硬度高且摩擦系数小，可度高且摩擦系数小，可代替水溶液电镀铬。代替水溶液电镀铬。电镀会使钢发生氢脆、速率电镀会使钢发生氢脆、速率慢，而且会产生环境污慢，而且会产生环境污染

23、问题。染问题。用用TiN，TiC等超硬镀层涂覆刀具、模具等表面，摩等超硬镀层涂覆刀具、模具等表面，摩擦系数小，化学稳定性好，具有优良的耐热、耐擦系数小，化学稳定性好，具有优良的耐热、耐磨、抗氧化、耐冲击等性能，既可以提高刀具、模磨、抗氧化、耐冲击等性能，既可以提高刀具、模具等的工作特性，又可以提高使用寿命，一般可使具等的工作特性，又可以提高使用寿命，一般可使刀具寿命提高刀具寿命提高310倍。倍。TiN，TiC，Al2O3等膜层化学性能稳定，在许多等膜层化学性能稳定，在许多介质中具有良好的耐蚀性，可作基体材料保护膜。介质中具有良好的耐蚀性，可作基体材料保护膜。8.1.4离子镀膜离子镀膜一、离子镀

24、的原理一、离子镀的原理离子镀是在真空条件下，借助于一种惰性气体的离子镀是在真空条件下，借助于一种惰性气体的辉光放电使气体或被蒸发物质部分离化，气体或被辉光放电使气体或被蒸发物质部分离化，气体或被蒸发物质离子经电场加速后对带负电荷的基体轰击蒸发物质离子经电场加速后对带负电荷的基体轰击的同时把蒸发物或其反应物沉积在基体上。的同时把蒸发物或其反应物沉积在基体上。离子镀的技术基础是真空蒸镀，其过程包括镀离子镀的技术基础是真空蒸镀，其过程包括镀膜材料的受热，蒸发，离子化和电场加速沉积的膜材料的受热，蒸发，离子化和电场加速沉积的过程。过程。二、离子二、离子镀镀的特点的特点（1）离子离子镀镀可在可在较较低温

25、度下低温度下进进行行。化学气相沉化学气相沉积积一般均需在一般均需在900以上以上进进行，所以行，所以处处理后要考理后要考虑虑晶粒晶粒细细化和化和变变形形问题问题，而离子，而离子镀镀可在可在900下下进进行，可作行，可作为为成品件的最成品件的最终处终处理工序。理工序。（2）膜膜层层的附着力的附着力强强。如在不如在不锈钢锈钢上上镀镀制制2050厚的厚的银银膜，可达到膜，可达到300N/mm2粘附强度。粘附强度。主要原因：主要原因：离子离子轰击时轰击时基片基片产产生生溅溅射，使表面射，使表面杂质层杂质层清清除、吸附除、吸附层层解吸，使基片表面清解吸，使基片表面清洁洁，提高了膜，提高了膜层层附附着力；

26、着力；溅溅射使膜离子向基片注入和射使膜离子向基片注入和扩扩散，膜晶格中散，膜晶格中结结合不牢的原子将被再合不牢的原子将被再溅溅射，只有射，只有结结合牢固的粒子形合牢固的粒子形成膜；成膜；轰击离子的动能转变为热能，对蒸镀表面产生轰击离子的动能转变为热能，对蒸镀表面产生了自动加热效应，提高表层组织的结晶性能，促进了自动加热效应，提高表层组织的结晶性能，促进了化学反应，而离子轰击产生的晶体缺陷与自加热了化学反应，而离子轰击产生的晶体缺陷与自加热效应的共同作用，增强了扩散作用；效应的共同作用，增强了扩散作用；飞散在空间的基片原子有一部分再返回基片表飞散在空间的基片原子有一部分再返回基片表面与蒸发材料原

27、子混合和离子注入基片表面，促进面与蒸发材料原子混合和离子注入基片表面，促进了混合界面层的形成。了混合界面层的形成。（3）绕镀能力强绕镀能力强。首先，蒸发物质由于在等离子区被电离为正离子，首先，蒸发物质由于在等离子区被电离为正离子，这些正离子随电场的电力线运动而终止在带负电的这些正离子随电场的电力线运动而终止在带负电的基片的所有表面，因而在基片的正面、反面甚至基基片的所有表面，因而在基片的正面、反面甚至基片的内孔、凹槽、狭缝等都能沉积上薄膜。片的内孔、凹槽、狭缝等都能沉积上薄膜。其次是由于气体的散射效应，特别是在工件压强较其次是由于气体的散射效应，特别是在工件压强较高时，沉积材料的蒸气离子和蒸气

28、分子在它到达基高时，沉积材料的蒸气离子和蒸气分子在它到达基片的路径上将与残余气体发生多次碰撞，使沉积材片的路径上将与残余气体发生多次碰撞，使沉积材料散射到基片周围，因而基片所有表面均能被镀料散射到基片周围，因而基片所有表面均能被镀覆。覆。（4）沉积速度快，镀层质量好。沉积速度快，镀层质量好。离子镀获得的膜层，组织致密，气孔、气泡少。而离子镀获得的膜层，组织致密，气孔、气泡少。而且镀前对工件清洗，处理较简单，成膜速度快，可且镀前对工件清洗，处理较简单，成膜速度快，可达达150m/min，而而溅溅射只有射只有0.011m/min。离子离子镀镀可可镀镀制厚达制厚达30m的膜的膜层层，是制，是制备备厚

29、膜的厚膜的重要手段。重要手段。（5）工件材料和镀膜材料选择性广工件材料和镀膜材料选择性广。工件材料除金属以外，陶瓷、玻璃、塑料均可以，工件材料除金属以外，陶瓷、玻璃、塑料均可以，镀膜材料可以是金属和合金，也可以是碳化物、氧镀膜材料可以是金属和合金，也可以是碳化物、氧化物和玻璃等，并可进行多元素多层镀覆。化物和玻璃等，并可进行多元素多层镀覆。三、离子三、离子镀镀的的类类型型 离子镀设备要在真空、气体放电的条件下完成镀离子镀设备要在真空、气体放电的条件下完成镀 膜和离子轰击过程。因此，离子镀设备要由真空室、膜和离子轰击过程。因此，离子镀设备要由真空室、蒸发源、高压电源、离化装置、放置工件的阴极蒸发

30、源、高压电源、离化装置、放置工件的阴极等部分组成。等部分组成。1空心阴极离子镀（空心阴极离子镀（HCD）HCD法是利用空心法是利用空心热热阴极放阴极放电产电产生等离子体。空心生等离子体。空心钽钽管作管作为为阴极，阴极，氩氩气气通通过钽过钽管流入真空室，管流入真空室，辅辅助阳极距阴极助阳极距阴极较较近，二者作近，二者作为为引燃弧光放引燃弧光放电电的两的两极。阳极是极。阳极是镀镀料。弧光放料。弧光放电时电时，电电子子轰击轰击阳极阳极镀镀料，使其熔化而料，使其熔化而实现实现蒸蒸镀镀。蒸。蒸镀时镀时基片加上基片加上负负偏偏压压即可从等离子体中吸引即可从等离子体中吸引氩氩离子向基片离子向基片轰击轰击，实

31、实现现离子离子镀镀。阴极阴极阳极阳极 空心阴极离子空心阴极离子镀镀有有显显著著优优点，可点，可镀镀材料广材料广泛，既可以泛，既可以镀单质镀单质膜，也可以膜，也可以镀镀化合物膜。目化合物膜。目前广泛用于前广泛用于镀镀制高速制高速钢钢刀具刀具TiN超硬膜。超硬膜。2活性反活性反应应离子离子镀镀 在离子在离子镀镀的的过过程中，若在真空室中程中，若在真空室中导导入与金属蒸入与金属蒸气起反气起反应应的气体，比如的气体，比如O2、N2、C2H2、CH4等代替等代替Ar或或掺掺在在Ar之中，并用各种不同的放之中，并用各种不同的放电电方式，使金方式，使金属蒸气和反属蒸气和反应应气体的分子、原子激活、离化，促气

32、体的分子、原子激活、离化，促进进其其间间的化学反的化学反应应，在工件表面就可以，在工件表面就可以获获得化合物得化合物镀镀层层。这这种方法称种方法称为为活性反离子活性反离子镀镀法法。2活性反活性反应应离子离子镀镀 ARE活性蒸活性蒸镀镀有如下特点：有如下特点：（1）工）工艺艺温度低温度低 因因电电离而增加了反离而增加了反应应物的物的活性，在活性，在较较低温度下就能低温度下就能获获得硬度高、附着性得硬度高、附着性良好的良好的镀层镀层。CVD的工的工艺艺温度高达温度高达1000，而，而ARE法的法的工工艺艺温度可在温度可在500以下。以下。（2）可得到多种化合物）可得到多种化合物 通通过导过导入各种

33、反入各种反应应气体，就可以得到各种化合物。几乎所有气体，就可以得到各种化合物。几乎所有过过渡渡族元素均能形成氮化物、碳化物。族元素均能形成氮化物、碳化物。（3）可在任何基体上涂覆）可在任何基体上涂覆 由于使用了大功由于使用了大功率、高功率密度的率、高功率密度的电电子束蒸子束蒸发发源，因此几乎可源，因此几乎可以蒸以蒸镀镀所有的金属和化合物，也可在非金属材所有的金属和化合物，也可在非金属材料如陶瓷、玻璃上料如陶瓷、玻璃上镀镀膜。膜。（4）镀层镀层生生长长速度快速度快 成膜速度可达成膜速度可达4.5mm/h。通。通过过改改变变蒸蒸发发源功率及改源功率及改变变蒸蒸发发源源与工件之与工件之间间的距离，都

34、可以的距离，都可以对镀层对镀层生成速度生成速度进进行控制。行控制。3多弧离子多弧离子镀镀 多弧放多弧放电电蒸蒸发发源源是在是在70年代由前年代由前苏苏联发联发展起来的。美展起来的。美国在国在1980年从年从苏联苏联引引进这进这种技种技术术，至，至今欧美一些公司都今欧美一些公司都在大力在大力发发展多弧离展多弧离子子镀镀技技术术。近十几。近十几年来国内引年来国内引进进多台多台镀镀制制TiN超硬膜超硬膜的的设备设备，其中大多，其中大多数是多弧离子数是多弧离子镀镀装装置。置。多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，这种装多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发

35、金属，这种装置不需要熔池。电弧的引燃是依靠引弧阳极与阴极的触发，弧光放电仅仅在靶材置不需要熔池。电弧的引燃是依靠引弧阳极与阴极的触发，弧光放电仅仅在靶材表面的一个或几个密集的弧斑处进行。表面的一个或几个密集的弧斑处进行。弧斑的直径在弧斑的直径在100以下。弧斑的电流密度为以下。弧斑的电流密度为 105107A/cm2，温度高达，温度高达800040000K。阴极阴极基片基片反应气反应气多弧离子多弧离子镀镀的特点是从阴极直接的特点是从阴极直接产产生等离子体，不生等离子体，不用熔池，阴极靶可根据工件形状在任意方向布置，用熔池，阴极靶可根据工件形状在任意方向布置，使使夹夹具大具大为简为简化。入射粒子

36、能量高，膜的致密度化。入射粒子能量高，膜的致密度高，高，强强度好，膜基界面度好，膜基界面产产生原子生原子扩扩散，散，结结合合强强度度高，离化率高，一般可达高，离化率高，一般可达60%80%。从。从应应用角度用角度讲讲，多弧离子，多弧离子镀镀的突出的突出优优点是蒸点是蒸镀镀速率快，速率快，TiN膜可膜可达达101000nm/s。多弧离子镀的应用面广，实用性强，特别在高速钢多弧离子镀的应用面广，实用性强，特别在高速钢刀具和不锈钢板表面上镀覆刀具和不锈钢板表面上镀覆TiNTiN膜层等方面得到了迅膜层等方面得到了迅速发展。速发展。项目项目真空蒸镀真空蒸镀阴极溅射阴极溅射离子镀离子镀粒子能量粒子能量0.

37、1-1ev0.1-1ev1-10ev1-10ev数百数百-数千数千evev沉积速度沉积速度m/minm/min0.1-750.1-750.01-0.50.01-0.50.1-500.1-50附着性附着性一般一般相当好相当好非常好非常好绕射性绕射性不好不好好好好好物理气相沉积三种方法的比较物理气相沉积三种方法的比较物理气相沉积三种方法的比较物理气相沉积三种方法的比较制备热障涂层制备热障涂层热障涂层是为满足航空发动机发展而发展起来的。它热障涂层是为满足航空发动机发展而发展起来的。它通过将陶瓷沉积在部件表面，提高其高温腐蚀能力。通过将陶瓷沉积在部件表面，提高其高温腐蚀能力。等离子喷涂形成等轴晶，等离子喷涂形成等轴晶，EB-PVD产生柱状晶结构。产生柱状晶结构。制备热障涂层制备热障涂层等离子喷涂形成等轴晶，等离子喷涂形成等轴晶，EB-PVD产生柱状晶结构。产生柱状晶结构。