新《消防规范图集大全》GB51076-2023 电子工业防微振工程技术规范5.pdf

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1、UDC p 中华人民共和国国家标准(;B GB 51076-2015 电子工业防微振工程技术规范Technical code for anti-microvibration engineering of electronics industry 2014-12-31发布2015 09 01实施中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布中华人民共和国国家标准电子工业防微振工程技术规范Technical code for anti-microvibration engineering of electronics industry GB 51076-2015 主编

2、部门z中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：20 1 5 年9 月1 日中国计划出版社2015北京中华人民共和国住房和城乡建设部公告第703号住房城乡建设部关于发布国家标准电子工业防微振工程技术规范的公告现批准电子工业防微振工程技术规范为国家标准，编号为GB 51076-20日，自2015年9月1日起实施。其中，第3.0.6、5.1.1、7.1.7条为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2014年12月31日前言本规范是根据原建设部关于印发（2006年工程建设标准规范制订、修订计划

3、（第二批）的通知（建标2006136号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站和中国电子工程设计院会同有关单位编制完成的。本规范在编制过程中，编制组结合工程调查，经过多次反复讨论研究，并在广泛征求意见的基础上，最后经审查定稿。本规范共分8章和2个附录，主要技术内容包括：总则、术语、基本规定、精密设备及仪器容许振动标准、规划设计、建筑结构防微振设计、隔振设计、防微振工程施工质量验收等。本规范中以黑体字标志的为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。在执行本规范过

4、程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改和补充之处，请将意见和建议寄至中国电子工程设计院科技质量部（地址：北京307信箱，邮政编码：100840），以供今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人：主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站中国电子工程设计院参编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司兵器工业北方设计研究院上海电子工程设计研究院有限公司 1 中船第九设计研究院工程有限公司世源科技工程有限公司中国中元国际工程公司中国航空规划建设发展有限公司南京工业大学东南大学主要起草人：陈驷委宇俞渭雄黄以庄茅玉泉韩方俊杨毅萌玉

5、立刘传春杜宝强赵广鹏邹宏张同亿夏艳窦硕胡明桔黄健玉曙光黄镇主要审查人：任庆英高广运陈龙珠杨宜谦吴成元苏经宇薛长立邵庆良万叶青 2 目次1总则（1)2术语（2)3 基本规定(4)4 精密设备及仪器容许振动标准(6)4.1 一般规定(6)4.2 精密设备及仪器容许振动值(6)5 规划设计门5.1 一般规定(10)5.2 防振距离(10)5.3 厂区布置(12)6 建筑结构防微振设计（13)6.1 一般规定(13)6.2 防微振措施(14)6.3 微振动验算(16)7 隔振设计(20)7.1 一般规定 7.2 主动隔振(21)7.3 被动隔振(22)8 防微振工程施工质量验收(2日8.1 一般规定(

6、25)8.2 防微振工程地基处理施工质量验收（26)8.3 块体式混凝土防微振基础施工质量验收（26)8.4 防微振工程结构施工质量验收门7)8.5 精密设备及仪器隔振工程施工质量验收（27)1 8.6 动力设备及管道隔振工程施工质量验收（30)8.7 防微振工程施工质量验收附录A微振动测试分析附录B多振源振动响应叠加计算本规范用词说明引用标准名录附：条文说明 2 Contents 1 General provisions(1)2 Terms(2)3 Basic requirements.(4)4 Allowable value of vibration of precision instru

7、ment and equipment(6)4.1 General requirements(6)4.2 Allowance value of vibration(6)5 Planning and design(10)5.1 General requirements(10)5.2 Anti microvibarion distance(10)5.3 Plant layout(12)6 Anti-microvibration of building sturctures(13)6.1 General reqmrements(13)6.2 Anti microivration meatures(14

8、)6.3 M1crov1bration checkmg calculat10n(16)7 Isolation design(20)7.1 General requirements(20)7.2 Active isolation(21)7.3 Passive isolation(22)8 Acceptance of constructional quality of anti m1crovibrat10n engineering(25)8.1 General reqmrements(25)8.2 Acceptance of constructional quality of foundation

9、 treatment(26)3 8.3 Acceptance of constructional quality of cubage concrete anti microvibration foundation(26)8.4 Acceptance of constructional quality of structure of anti-microvibrat1on engineering(27)8.5 Acceptance of constructional quality of isolation engineering of precision instrument and equi

10、pment(27)8.6 Acceptance of constructional quality of isolation engineering of power equipment and pipe(30)8.7 Acceptance of constructional quality of anti-microvibration engineering(32)Appendix A Microvibration testing analysis(34)Appendix B Superposition calculation of different and multiple source

11、s vibration(40)Explanation of wording in this code(42)List of quoted standards(43)Addition:Explanation of provisions(45)4 1总则1.o.1 为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量验收，确保满足精密设备及仪器所容许的微振动环境要求，并做到技术先进、经济适用、运行可靠及节约能源，制定本规范。1.o.2 本规范适用于新建、改建的电子工业厂房、测试站（台）等工程的防微振设计、施工及质量验收。1.0.3 防微振工程设计、施工及质量验收，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标

12、准的规定。1 2术语2.0.1 微振动micro-vibration 影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。2.0.2 容许振动值allowable value of vibration 保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。2.0.3 建筑结构防微振体系structural microvibration con-trol system 为保证精密设备及仪器正常运行，对建筑结构采取减弱环境振动影响的综合措施。2.0.4 主动隔振active vibration isolation 为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施。2.0.5 被动隔振

13、passive vibration isolation 为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振措施。2.0.6 主动控制隔振装置active vibration isolating device 具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号，使隔振装置实时施加反向作用而降低环境振动影响，保证设备正常工作的装置。2.0.7 隔振器vibration isolator 具有衰减振动功能的支承元件。2.0.8 隔振装置vibration isolation mounting 由隔振器、阻尼器、调节阅、控制器及信号处理器等组成的隔振组合体。2 2.0.9 隔振系统vibration isola

14、tion system 由被隔振对象、台板、隔振器或隔振装置组成的系统。2.0.10 振动响应vibration response 建筑结构或隔振系统受振动作用时，其输出的振动位移、振动速度、振动加速度等。2.0.11 环境振动environment vibration 建筑场地或建筑物在内外各种振源影响下的振动。2.0.12 常时微动usual environmental micro vibration 无明确振源的场地或建筑物的微弱振动。2.0.13 防微振墙microvibration isolation wall 在建筑结构中设置的减弱振动影响的墙体。2.0.14 华夫板waffle

15、slab 垂直单向流洁净室生产层现浇钢筋混凝土多孔楼板。2.0.15 防微振设计anti-microvibration design 为将环境振动影响控制在精密设备及仪器容许振动值范围内，在工程设计规划、建筑结构设计与隔振设计等方面采取的综合措施。2.0.16 防微振基台anti-microvibration table 由台板和支承结构组成的有隔振作用的结构体系，支承结构可为建筑结构或独立设置的梁、板、柱及基础，在台板和支承结构之间可安装隔振器或隔振装置。3 3基本规定3.0.1 本规范所定义的微振动应为幅值不大于表3.0.1规定的限值的振动。表3.0.1 微振动限值微振动物理量频域振动幅值

16、时域振动幅值振动位移（m)振动速度（m/s)I振动加速度（m/s2)三二o.so I soI 210I 对应频段（Hz)1.510 5 4001000 9 5规划设计S.1一般规定S.1.1 电子工业区域规划布局和厂区布置，不得选择在强振源、强噪声、强凤沙、强电磁辐射、有害气体等不利区域。S.1.2 厂区选择宜符合下列规定z1 宜选择在地基土较坚硬或基岩埋藏较浅的地区，不宜选择在软土及填土等不良地质区域z2 宜避开江河湖泊、海岸沙滩、常年冰冻等地区z3 宜选择抗震设防烈度不大于8度的地区，避开地震活动断裂带等不利地段，宜避开液化砂土层等区域，并应符合现行国家标准建筑抗震设计规范GB50011的

17、有关规定z4 元法避开时应采取相应处理措施。S.1.3 厂区位置选择时，应根据场地环境微振动测试和自然条件，经论证比较、综合评估后确定；当不具备环境振动测试条件时，振源防振距离可按本规范第5.2节确定。S.2肪振距离S.2.1 对各类振源在不同土体内的防振距离，可按下式计算zL=K1K2L。(5.2.1)式中：L一一无任何防振措施时的防振距离（m);Ki不同土体的调整系数，按表5.2.1-2取值sKz一一不同类汽车的调整系数，按表5.2.1-3取值，其他振源Kz=l;L。一一土体为蒙古土类的防振距离（m）按表5.2.1-1取值。10 表s.2.1-1 防振距离L0(m)卢笃笃0.003 0.0

18、05 0.01 0.02 0.03 0.05 空气中型250 150 100 65 52 38 压缩机大型100 82 64 50 42 35 冷冻机中型80 65 50 37 32 26 稳态小型50 40 30 22 19 55 55 46 33 28 25 20 中型风机65 56 44 34 30 25 砂轮机35 29 22 17 15 12 水泵30 25 18 14 12 10 lt 900 700 500 360 300 230 锻锤0.4t0.75t 700 520 360 250 200 150 0.25t500 380 270 180 150 115 315t 700 5

19、50 400 280 210 160 瞬态160t 500 380 270 190 160 120 63t 300 220 160 110 88 65 冲床50t 240 180 130 88 70 52 30t 220 160 110 74 60 44 15t200 150 100 65 52 38 铁路2000 1600 1150 850 700 560 列车城市轨道800 560 360 260 175 102 交通地下线随机公路500 380 250 165 130 100 厂区道路180 130 80 52 40 26 汽车（柔性地面）厂区道路250 170 110 68 50 38

20、（刚性地面注：1表中容许振动值为时域值p2 容许振动速度中间值可按表中数值线性插值确定$3 其他动力设备的防振距离宜测试确定。0.10 0.20 0.3 0.5 26 17 14 10 28 21 18 15 19 15 12 10 11 8 7 6 16 12 9 7 20 15 11 9 10 7.5 6.5 5 6.5 5.5 5 4 160 120 95 65 100 74 60 46 80 55 46 35 130 100 82 65 88 62 50 40 46 32 26 20 36 25 20 15 30 20 16 12 26 18 14 10 420 300 250 200

21、 80 50 38 28 65 43 34 30 18 11 8.5 6 24 15 11 8 11 褒s.2.1-2 不同地基及基础调整系敛K1土体|淤泥质土K1 I 23 事由土陆生5桩基0.8 注g坚硬土为基岩时取小值。,表s.2.1-3 不同类汽车调整系鲸Kz旅游车、车型8t车I4t车中型卡车面包车小型卡车小轿车轿车、大轿车K2 I 1.3 0.8 0.7 0.5 0.4 o.3 S.2.2 当本规范表5.2.1-1中振源采取隔振时，隔振后防振距离应由测试确定。S.2.3 结合规划区、厂区内外的不同振源，对有防微振动要求的建筑物，宜按综合振动叠加后的最大振动影响确定相应的防振距离。多振

22、源振动响应的综合叠加计算可按本规范附录B计算。S.3厂区布置S.3.1 厂区内有振动影响的站房布置应符合下列要求：1 锻压车间应布置在厂区边缘，并应远离有防微振要求的建筑；2 空压机、冷冻机、水泵等动力站房和其他振掠宜单独布置；3 精密设备及仪器应布置在振动影响最小的区域。5.3.2 厂区内外的道路设置应符合下列要求z1 有防微振要求的建筑应远离厂区主干道，并应远离铁路、公路和城市轨道交通线；2 有防微振要求的建筑物周边道路应加固路基，并宜选用柔性路面；3 有防微振要求的建筑物周围道路宜限制车辆载重、行驶车速及行驶时间。S.3.3 厂区内有防微振要求的建筑物周围绿化宜种植常青灌木和草皮，不宜种

23、植乔木。12 6 建筑结构防微振设计6.1一般规定6.1.1 建筑结构防微振设计应采取下列综合措施z1 建筑物地基基础的防微振措施；2 地面结构的防微振措施；3 主体结构的防微振措施z4 精密设备及仪器的独立基础的防微振措施。6.1.2 建筑结构防微振设计应具备下列资料z1 精密设备及仪器容许振动值F2 工程地质及水文地质勘察报告：3 地基动力特性测试报告，当不具条件时可按现行国家标准动力机器基础设计规范GB50040的有关规定取值；4 场地环境振动测试及分析报告。6.1.3 建筑结构防微振设计宜具备下列资料z1 精密设备及仪器在建筑物内的工艺布置、外形尺寸、重量及工作方式；2 动力设备在建筑

24、物内的位置、外形尺寸、重量、转速及运行方式：3 管道在建筑物内的空间位置、单位长度重量及输送介质。6.1.4 建筑物内设备布置应符合下列规定：1 精密设备及仪器与动力设备的布置较靠近时，宜采用隔振缝隔开；2 当楼层布置精密设备或仪器时，动力设备应布置于底层或楼层边跨，并应在楼层设隔振缝与精密设备或仪器所在区域隔离p3 精密设备及仪器不宜布置于受电梯振动影响的范围内p 13 4 当楼层布置精密设备及仪器时，其位置宜位于梁、墙、柱等结构刚度较大的部位或附近。6.1.s 多层厂房内不宜设置起重设备。设置起重设备时，宜采用悬臂式起重设备或其他振动影响较小的运输工具。6.1.6 建筑物内的动力设备及产生

25、振动的管道进入防微振区域时，应采取隔振措施。6.1.7 建筑物内应采用低速送风，空气密度变化率宜控制在10%以内。当布置有自循环高效过滤器（FFU）装置时，应采取隔振措施。6.1.8 防微振区域内的门应采用柔性缓冲装置。6.2 防微振措施6.2.1 建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求：1 抗震设防烈度为7度、8度的地区，建筑物基础持力层范围内存在承载力特征值分别小于80kPa、lOOkPa的软弱秸土层时，应采用桩基或人工处理复合地基。采用复舍地基时，应按国家现行标准建筑地基基础设计规范GB50007和建筑地基处理技术规范JGJ79的有关规定进行载荷试验和地基变形验算；2 防微振厂房同一结

26、构单元的基础不宜埋置在不同类别的地基土上。6.2.2 地面结构或底板结构的防微振设计应符合下列要求：1 集成电路制造厂房前工序、液晶显示器制造厂房、纳米科技建筑及实验室应按防微振要求设置厚板式钢筋混凝土地面。当采用天然地基时，地面结构厚度不宜小于500mm，地基土应穷压密实，压实系数不得小于0.95。当采用桩基支承的结构地面时，地面结构厚度不宜小于400mm，对于软弱土地区，不宜小于500mm;对于欠固结土，宜采取防止桩间土与地面结构底部脱开的措施；2 当地面为超长混凝土结构时，不宜设置伸缩缝，可采用超长混凝土结构元缝设计措施。14 6.2.3 主体结构的防微振设计应符合下列要求：I 集成电路

27、制造厂房前工序、液晶显示器件制造厂房、光伏太阳能制造厂房、纳米科技建筑及各类实验室等建筑宜采用小跨度柱网，工艺设备层平台宜采用钢筋泪凝土结构。平台与周围结构之间宜设隔振缝。2 防微振工艺设备层平台的设计应符合下列要求：1)平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m;2）平台宜采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，亦可采用钢框架组合楼板结构；3）混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的规定；表6.2.3-1 梁、板、桂截面的最小尺寸柱截面梁板式楼盖井式楼盖主梁商跨比(mmmm)板高跨比次梁高跨比板厚（mm)I次梁高跨比600600 1/8 1/20 1/12

28、150 1/15 4）防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m 时，截面最小尺寸宜符合表6.2.3-2的规定；表6.2.3-2 华夫板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁商跨比板厚（mm)板开洞直径d(mm)1/10 1/8 180 300 5）采用钢框架一组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次。梁间距不宜大于3.2m，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的规定；表6.2.3-3 钢梁、组合楼板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁商跨比板厚（mm)1/18 1/12 250 6）防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计要求，不宜大于30%。3 当采用混凝土结构的建筑物超长时，不宜

29、设置伸缩缝，而应采用超长棍凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应力的措施。4 根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不宜开设孔洞。5 当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于lOOmm，且应符合现行国家标准建筑抗震设计规范GB50011中防震缝的有关规定。6.2.4 精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：1 地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层或基岩上。其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基；2 精密设备及仪器受中低频振动影响

30、敏感时，基础周围可不设隔振沟；3 精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋提凝土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝；4 工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台，台板宜采用型钢混凝土结构，厚度不宜小于200mm。6.3 微振动验算6.3.1 微振动验算应符合下列规定：1 有防微振要求的厂房及实验室的下列部位宜进行防微振验算：1)地面结构；2）工艺层楼盖；3）独立基础。2 微振动验算应针对下列振动影响分阶段进行：16 1）环境振动；2）动力及工艺设备振动。3 微振动验算应符合下列规定：1)需进行微振动验算的结构应整体实体建模。2）天然地基、桩基及人工复合地基的地

31、基动力特性参数应现场试验确定；当无条件时，可按现行国家标准动力机器基础设计规范GB50040的有关规定采用；当无条件测试时，阻尼比可按本款第4项取值。3）地面结构周边回填士对地基刚度的影响可按现行国家标准动力机器基础设计规范GB50040的有关规定采用。4）地基土的阻尼比宜取0.150.35，钢筋棍凝土结构的阻尼比宜取0.05，钢结构的阻尼比宜取0.02，钢与混凝土组合结构的阻尼比宜取0.035。5）基础影响深度范围内的土层应作为计算深度。6）计算活荷载的影响。7）对结构进行模态计算和响应计算，其中模态分析有效振型数量宜按结构总体振型质量参与系数不小于95%进行取值。8）环境振动影响的验算以实

32、测最不利的振动记录作为计算的输入荷载，样本时间长度不宜少于60so4 分析模型的建立应符合下列要求：1)明确防微振设计方案，对地面结构和工艺层结构进行计算模型简化。当工艺设备层与建筑物主体结构有连接时，结构计算模型应包含主体结构；2）根据设计方案设置几何参数；3）合理选择物理参数；4）根据工程地质勘察报告确定带弹性边界约束条件。5 振动影响验算的响应值应符合下式要求：R三三R(6.3.1)17 式中：R结构中心点或特征点的振动响应值；R一一精密设备及仪器的容许振动值。6.3.2 受环境振动影响的微振动应符合下列公式要求：Rhv，；：二KvRvRhH三三KHRH式中：Rhv一结构中心点的竖直向振

33、动响应；RhH一一结构中心点的水平向振动响应；(6.3.2 1)(6.3.2-2)Kv一竖直向的动态影响系数。Kv=O.4o.6。该系数与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或距特征点位置较近时，Kv取小值，反之取大值；KH水平向的动态影响系数。KH=O.30.5。该系数与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或距特征点位置较近时，KH取小值，反之取大值；Rv一一精密设备及仪器竖直向的容许振动值；RH一一精密设备及仪器水平向的容许振动值。6.3.3 动力设备及工艺设备产生影响的微振动验算应符合下列规定：1 应在所建立的实体模型上选取特征点，并应在单位荷载为lkN作用下计算其动力响应谱Rd;2

34、 特征点的振动响应按下列公式验算：Rv 币vRdvRH平HRdHRvs v=于主A、VdRHs H=于王一一.、Hd式中：Rv一一一结构特征点的竖直向振动响应；RH一结构特征点的水平向振动响应；(6.3.3-1)(6.3.3-2)(6.3.3 3)(6.3.3 4)v一竖直向已建同类工程的特征点动力响应系数；18 Rvs一一已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特征点的竖直向振动响应曲线；Rvd一一建立已建同类工程有限元实体模型，在特征点上竖直向施加单位荷载P=lkN，计算动力响应谱曲线；H一一水平向已建同类工程的特征点动力响应系数；Rtts一已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特征

35、点的水平向振动响应曲线；RHd 建立已建同类工程有限元实体模型，在特征点上水平向施加单位荷载P=lkN，计算动力响应谱曲线；矿一一己建同类工程和新建工程相似比系数，可按o.9 1.2取值；Rdv一一结构特征点竖直向在单位荷载为lkN作用下的振动响应ERdH一一结构特征点水平向在单位荷载为lkN作用下的振动响应。6.3.4防微振工程各阶段振动验算的实测及评估应符合下列规定：1 场地环境振动实测时，应通过测试获取拟建场地受周围环境振动影响的数据，作为输入荷载对微振动初步设计方案进行验算；2 建筑物主体结构竣工实测及评估时，应通过对建筑物主体结构进行振动测试，对主体结构防微振体系进行评估，并应和计算

36、结果进行对比分析，确认其有效性，为动力设备及工艺设备整体隔振方案提供设计依据；3 动力设备及工艺设备运行实测及评估时，应通过对动力设备及工艺设备运行时的结构进行振动测试，对最终建成的结构防微振体系进行评估，并应和计算结果进行对比分析，确认其有效性，为动力设备及工艺设备局部隔振方案提供设计依据。19 7隔振设计7.1一般规定7.1.1 动力设备应选用振动影响小的产品，旋转型设备应选用中、高转速的产品。7.1.2 动力设备对精密设备及仪器有振动影响时，应采取隔振措施。7.1.3 当建筑结构采取防微振措施及动力设备采取隔振措施后仍不能满足要求时，应对精密设备及仪器采取隔振措施。7.1.4 隔振设计除

37、应遵守本规范外，尚应符合现行国家标准隔振设计规范GB50463的有关规定。7.1.5 选用隔振器应具备下列资料：1 外形尺寸、重量及安装要求52 承载范围；3 刚度值及变化范围；4 阻尼值及变化范围；5 荷载压缩量频率关系图表；6 使用环境条件。7.1.6 选用空气弹簧隔振装置时，除应符合本规范第7.1.5条的要求外，尚应具备下列资料：1 工作压力及容许最大压力；2 工作高度；3 充气时间54 自动调平时间及调平精度。7.1.7 隔振系统不得与外围结构刚性连接。20 7.2主动隔振7.2.1 动力设备隔振宜采用支承式（图7.2.1)。(a）普通支承式(b）下挂支承式图7.2.1 隔振方案1 动

38、力设备；2台板；3隔振器7.2.2 动力设备隔振应符合下列要求：1 安装于地面及地下室的动力设备，可采用钢筋混凝土台板或型钢台板；2 安装于楼层及屋面的动力设备宜采用型钢台板，对于较集中安装于楼层的动力设备宜采用浮筑板隔振方式；3 与声学实验室相关的动力设备，宜采用钢筋混凝土台板，且台板质量与设备质量之比宜大于3。7.2.3 管道隔振宜符合下列要求：1 水平向管道宜采用悬挂式，坚直向管道宜采用支承式（图7.2.31);2 管道穿墙宜采用支承式（图7.2.32);3 管道与动力设备之间应采用柔性连接；4 隔振器应按隔振要求、管道荷载及相关专业的规定布置。7.2.4 隔振器选用宜符合下列要求：1

39、室内动力设备及管道宜采用橡胶隔振垫、橡胶隔振器、金属阻尼弹簧隔振器及空气弹簧隔振器；2 室外动力设备及管道宜采用金属弹簧隔振器。21 内持川uw喃(a）悬挂式(a）支承式图7.2.3 1 隔振方案1一管道；2一隔振器2 2 图7.2.3-2 支承式隔振方案1一管道；2一隔振托架7.2.5 带隔振器的动力设备应提供隔振性能检测报告。7.2.6 当动力设备采用一级隔振方案不能满足要求时，可采用二级或多级隔振方案。7.2.7 动力设备隔振传递率不宜大于0.1。7.3被动隔振7.3.1 精密设备及仪器隔振设计应根据其容许振动值、i；作特性、支承条件及安装要求确定隔振方案，并做隔振计算，选用隔振器或隔振

40、装置。7.3.2 精密设备及仪器的隔振型式宜符合下列规定：1 支承式隔振，隔振器设置在隔振台板下，与隔振台板组合成隔振系统（图7.3.2-1);一一I一-i-1干1句I#rl 4二百巴3图7.3.2-1 支承式隔振方案I 精密设备及仪器；2一台板；3一隔振器2 悬挂式隔振，隔振器与刚性吊杆串联井和隔振台板组合成隔振系统（图7.3.2-2）。3 厂一干114|2/图7.3.2-2 悬挂式隔振方案1一精密设备及仪器；2一台板儿一隔振器；4刚性吊抨7.3.3 对于运行中重量及重心位置发生变化的精密设备及仪器，应选用带有倾斜校正机构的隔振装置。7.3.4 隔振计算应包括下列内容：1 隔振系统固有振动频

41、率计算；2 隔振系统外部振源作用下振动响应计算；3 隔振系统内部振源作用下振动响应计算。7.3.5 大型或超大型隔振系统的计算宜包括台板的弹性变形影响。23 7.3.6 振动计算不应包括精密设备及仪器自带隔振器的隔振作用。7.3.7 当采用被动隔振措施仍不能满足使用要求时，应采用主动控制隔振装置。7.3.8 隔振系统各向阻尼比不宜小于0.08.24 8 防微振工程施工质量验收8.1一般规定8.1.1 防微振工程的质量验收应由建设单位负责组织施工、设计、监理等单位共同进行，合格后应办理竣工验收手续。8.1.2 防微振工程施工应按被批准的设计文件实施。当修改设计时，应由原设计单位确认，并应经建设单

42、位同意。8.1.3 防微振工程施工过程中涉及的专业工种及防微振设备专业调试人员等，应按相关要求持证上岗。8.1.4 防微振工程施工过程中使用的各类工器具，应检定合格，并应在有效期内。8.1.5 主要设备、材料、成品和半成品进场应检验，除应符合国家现行标准规定外，尚应符合下列规定：1 主要设备、材料、成品和半成品应有质量合格证明文件；2 主要设备、材料、成品和半成品应有进场检验合格记录；3 当有质量异议时，应由具备相关资质的机构进行检测，在出具合格检测报告后，可在工程中使用；4进口防微振设备、器具和材料的进场验收，除应符合本条第1款第3款规定外，尚应提供商检证明和中文版质量合格证明文件，还应提供

43、技术规格书及安装使用于册等相关技术文件。8.1.6 防微振工程的施工质量验收除应符合本规范外，尚应符合现行国家标准建筑工程施工质量验收统一标准GB50300的有关规定。8.1.7 防微振基台隔振工程和动力设备及管道隔振工程所用隔振器和隔振装置的材料、型号、规格、数量应符合下列规定：1 提供合格证、性能检测报告、安装及使用说明书等技术文件；2 包装完好，外观完整，元缺损，元裂纹，涂层完整。8.2 防微振工程地基处理施工质量验收8.2.1 防微振工程地基处理的施工质量检验标准应符合表8.2.1 的规定。表8.2.1 防微振工程地基处理的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法地基承

44、载力和变形按设计要求按现行国家标准建筑地1 主控基基础工程施工质量验收项目2 地基动力特性参数按设计要求规范GB50202规定的方法8.2.2 防微振工程地基处理所采用的方法除应符合本规范外，尚应符合现行国家标准建筑地基基础工程施工质量验收规范GB50202的有关规定。8.3 块体式混凝土防微振基础施工质量验收8.3.1 基础施工质量验收应包括动力设备混凝土基础和精密设备及仪器混凝土基础的施工质量验收。8.3.2 块体式混凝土防微振基础的施工质量检验标准应符合表8.3.2的规定。表8.3.2 块体式混凝土防微振基础的施工质量检验标准名称序号检验类别检验项目容许偏差或容许值检验方法按现行国家标准

45、建基础承载力按设计要求筑地基基础工程施工质1 主控量验收规范GB50202 项目动力设备规定的方法-基础外周边振动值按设计要求按本规范附录A规2 定的方法 26 续表8.3.2名称序号检验类别检验项目容许偏差或容许值检验方法按现行国家标准建基础承载力按设计要求筑地基基础工程施工质3 量验收规范GB50202 主控精密设备规定的方法项目及仪器基础顶面振动值按设计要求按本规范附录A规4 定的方法一5 基础顶面平整度按设计要求用水平尺检测8.4 防微振工程结构施工质量验收8.4.1 防微振工程中的结构工程施工质量验收应包括有微振动要求的精密设备厂房的基础（底板）、梁、板、柱等结构体系的施工质量验收。

46、8.4.2 防微振工程结构的施工质量检验标准应符合表8.4.2的规定。表8.4.2防微振工程结构的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法主控l1 安放精密设备位置结构振动值按设计要求|按本规范附录项目l2 结构动力特性参数按设计要求1A规定的方法8.5 精密设备及仪器隔振工程施工质量验收8.5.1 隔振工程施工质量验收应包括防微振基台、空气弹簧隔振装置及主动控制隔振装置的工程施工质量验收。8.s.2 洁净厂房精密设备防微振基台的施工质量应符合下列规定：1 应结合厂房结构的土建误差安装防微振基台；27 2 应在防微振基台周围设置隔振缝，缝宽宜为lOmm15mm;3 防微振基台台

47、板下设置隔振器时，应计算工艺设备安装后隔振器的压缩量，安装完成后的台板顶面标高应满足工艺设备的使用要求；4 防微振基台台板下无隔振器时，台板应与支撑系统刚性连接。8.5.3 防微振基台工程的施工质量检验标准应符合表8.5.3的规定。表8.5.3防微振基台工程的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法1 基台承载力按设计要求现场载荷试验主控2 基台顶面振动值按设计要求按本规范附录A规定的方法项目3 顶面平整度1/1000 用水平尺检测4 顶面标高土2mm用水准仪、高精度塔尺检测8.5.4 空气弹簧隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.4的规定。表8.5.4空气弹簧隔振装置的质量检

48、验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法空气弹簧隔振装置承载力按设计要求按实时显示气1 压值换算2 空气弹簧隔振装置固有振动频率按设计要求按本规范附录A主控3 台板顶面振动值拨设计要求规定的方法项目4 台板顶面平整度1/1000 用水平尺检测5 台板顶面标高土2mm用水准仪、高精6 高度调平精度0.05mm/m 度塔尺检测一7 控制阀调平时间小于15s用秒表检测 28 续表8.5.4名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法8 外观外观平整光滑底座、顶盖与底座、顶盖与观察9 支承面支承面之间无缝隙1-空气弹簧隔振器泄漏量24h压力降不大于用压力表检测10 0.02MPa 一相邻隔振器高差士

49、lmm用水准仪、高精主控11 度塔尺检测项目12 接头密封性元泄漏皂液检测1-气路管道13 管道敷设及固定可靠固定观察压力大于使用压力用压力表检测14 0.2MPa-气源洁净度不低于环境要求用粒子计数器15 检测8.5.5 主动控制隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.5的规定。褒8.s.s 主动控制隔振装置的质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法主动控制隔振装置承按设计要求按实时显示气1 载力压值换算主控主动控制隔振装置台按设计要求2 项目板顶面振动值按本规范附录主动控制隔振系统振A规定的方法3 按设计要求动衰减曲线 29 续表8.5.5名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法

50、4 台板顶面平整度1/1000 用水平尺检测台板顶面标高土2mm用水准仪、高精5 度塔尺检测6 台板平面定位5mm 用钢尺检测调平精度0.05mm/m 用水准仪、高精7 控制单元度塔尺检测1-8 调平时间小于5s用秒表检测9 外观外观平整光滑一底座、顶盖底座、顶盖与支承面观察主控10 主动隔振与支承面之间无缝隙项目一11 装置安装方向设计要求如一12 相邻隔振士lmm用水准仪、高精装置高差度培尺检测13 接头密封性元泄漏皂液检测一气路管道管道敷设14 可靠固定观察及固定15 压力大于使用压力o.2MPa 用压力表检测一一一气源用粒子计数器16 洁净度不低于环境要求检测注：主动隔振装置安装精度应