快速凝固硅铝合金材料的组织与性能.pdf
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1、第3 9 卷2 0 1 0 年第9 期9 月稀有金属材料与工程R A R EM E T A LM A T E R l A L SA N DE N O n 叮E E R I N G、,o l _ 3 9 N O 9S 印吒e m b e r2 0 1 0快速凝固硅铝合金材料的组织与性能李志辉1,张永安1,熊柏青1,朱宝宏1,刘红伟1,王锋1,魏衍广1,张济山2(1 北京有色金属研究总院,北京l 0 0 0 8 8)(2 北京科技大学,北京l 0 0 0 8 3)摘要:针对电子信息工业对新型结构功能一体化电子封装材料的应用需求,采用喷射成形与热压致密化相结合的方法制备高s i 含量(质量分数为5
2、0 一7 0 S i)的系列S i A l 合金,并利用金相显微镜、扫描电镜、硬度测试仪、热膨胀仪等手段研究该材料的显微组织、力学性能和热物理性能。结果表明,喷射成形高硅铝合金的沉积态显微组织细小弥散,初生硅呈不规则形状,均匀弥散地分布在铝基体中;对沉积坯件进行适当的热压致密化处理可以有效地消减喷射成形制坯工艺过程中所形成的疏松和孔洞,提高材料的致密度。经热压致密化处理的喷射成形高硅铝合金材料具有优越的热物理性能以及良好的力学性能,是一种综合性能优越的结构功能一体化电子封装材料。关键词:快速凝固;硅铝合金:电子封装;组织;性能中图法分类号:1 G 1 3 2 1+1:T G 4 5 4文献标识
3、码:A文章编号:1 0 0 2 1 8 5 x(2 0 l O)0 9 1 6 5 9 0 5电子封装技术是伴随着微电子技术的发展而发展起来的,电子封装的主要作用是为精细电子线路提供机械支撑以及作为导电连接介质,在微电子技术的发展中占有不可或缺的重要地位【1 埘。近年来,微电子技术的迅速发展对电子封装材料的性能提出了更高的要求【3 4】。热膨胀、散热和轻量化是发展现代电子封装材料所必须考虑的3 大基本要素,理想的先进电子封装材料应该与砷化镓和硅等典型半导体材料相匹配,或具有略高的热膨胀系数(l o oW m K)和低密度(1 0 0G P a),可以为对机械作用敏感的部件和基板提供足够的机械支
4、撑。它还应具备易于进行精密加工成形、可电镀涂装以及可焊接等其他封装工艺性能【6】。传统封装材料,如I n v 盯,K o v a r,B e O 等因其本身性能的局限性将难以满足现代电子信息工业对封装材料的高档化和高可靠性的发展需求。硅铝合金已被证明是一个综合性能满足先进电子封装要求的材料体系【7】。一般来说,硅铝合金是S i 元素含量在5 0 以上、与A 1 元素共同构成的假合金材料。含硅量较低的S i A l 合金是可以进行熔化铸造成形的,但是。在所感兴趣的成分范围内(5 0 9 0 S i),S i A l合金铸态显微组织主要由粗大的、孤立的、多面化的和高纵横比的一次S i 晶体组成,这
5、将有害于力学性能和可加工性,难以满足电子封装的应用要求。快速凝固技术因可以形成细小、各向同性的显微组织而成为解决上述问题主要途径。近年来,有关高硅铝合金快速凝固制备技术的研究引起广泛关注【扣1 4】。本研究采用快速凝固喷射成形技术制备高s i 含量(5 0 7 0 S i)的系列S i A l 合金坯料,研究硅铝合金在整个制备加工过程中微观组织的演变规律,并系统测试评价新型喷射成形高硅铝合金的热物理性能与机械特性,旨在为电子封装用新型结构功能一体化硅铝材料的开发应用奠定实验基础和理论依据。1实验所用原料选用工业纯铝和工业纯硅(纯度大于9 9 7),熔炼的合金为s i 4 0 A l 和S i
6、3 0 A l,喷射成形试验在真空高温喷射成形设备中进行,采用双层非限制式气流雾化喷嘴,雾化气体为高纯氮气,雾化喷嘴与沉积坯件接收系统配合方式为直喷斜拉,倾斜角度为3 0 3 5 0,偏心距为2 0 4 0 m m,接收距离为5 0 0 7 0 0m m,金属熔体温度为1 6 5 1 7 0 0K,雾化气体压力控制为0 4 5 0 6M P a,导流管直径为3 8 一5m m。对喷射成形硅铝合金沉积坯件进行合适的热压致密化处理,热压试验在真空热压炉中进行,热压致密化温度为(5 7 0 士3),压强为2 5 0M P a,热压时间为4h。收稿日期:2 0 0 9 0 9 0 7基金项目:国家“8
7、 6 3”高技术研究发展计划项目(2 0 0 7 A A 0 3 2 5 1 5)资助作者简介:李志辉,男,1 9 8 0 年生,博士,高级工程师,北京有色金属研究总院有色金属材料制备加工国家重点实验室,北京l o 0 0 8 8,电话:0 1 0-8 2 2 4 1 1 6 l,B m i l:L z h g 血衄姗万方数据1 6 6 0 稀有金属材料与工程第3 9 卷在热压致密化后的坯料上切取试样块并机加工成各种规格的检测样品。材料的热膨胀系数在F o m a s t o r-D i g i t a l 试验机上测量。抗弯强度测试在M T S 8 1 0 型拉伸试验机上进行。硬度测试在H
8、B S 6 2 5 型数显布氏硬度仪上进行。密度测量采用排水法。材料的显微组织观察在N E O P H O T-2 型光学显微镜和C A M B R J D G E 2型扫描电镜上进行。2 结果与讨论2 1 材料微观组织图1 为采用金属模铸造得到的S i 一4 0 A l 和S i 3 0 A l 合金的金相组织。可以看出,铸造S i A l 合金中板条状初晶硅相的尺寸较大,合金各向异性非常明显,这对于材料的力学性能和加工性能非常不利;一般用于电子封装的板材厚度一般为1 5I I l m,采用铸造成形法所制备合金中的单个S i 颗粒有可能会穿透整个板厚,而且S i 颗粒易于沿择优晶体学平面生长
9、,材料易发生单方向开裂,这将使材料极难加工到表面涂装所需要的质量;此外,由于S i 颗粒尺寸较大,材料的局部C T E 和热传导率的大小取决于与芯片相接触的部位是A l 或是S i,发生大幅度不均匀变化,损害其封装性能,因此用常规铸造方法制备的S i A l 合金不可用于电子封装。图2 为喷射成形S i 4 0 A l、S i 3 0 A l 合金沉积坯件典型金相组织。由图可知,采用喷射成形制备S i 3 0 A l 合金组织细小,初生硅相为不规则形状,尺寸在1 0 4 0 岬之间,均匀弥散地分布在铝基体中,材料中有小尺寸的疏松和孔洞存在;而喷射成形S i 4 0 A l 合金初生硅相的尺寸比
10、S i 3 0 A l 合金相对细小一些,其尺寸在8 3 0 岫之间,均匀弥散地分布于合金中,材料中也有小尺寸的疏松和孔洞存在。对比分析图1 和图2 可知,喷射成形S i A l 合金组织最显著的特点是初生硅相得到显著细化,尺寸较图l金属模铸造S i A l 合金的微观组织F i g 1M i c r o s t m c t I I 佗so fS i A la l l o y sf 曲r i c a t e db ym e t a lm o u l dc a s t i n g:(a)S i-4 0 A la n d(b)S i-3 0 A l图2 喷射成形S i A l 合金沉积坯的金相组织
11、F i g 2O p t i c a lm i c r o s t m c t l l 托so ft h ea s-d e p o s i t e dS i-A la l l o y s(a)S i-4 0 A la n d(b)S i-3 0 A l小,形状不规则,其形态有近球形、近三角形、近方形及长条形等,这些不规则形状的初生硅相随机分布在铝基体中,且在局部小区域内有初生硅相彼此连接的现象。喷射成形过程中,初生硅相在较高的冷却速率下结晶,其择优生长方式受到了抑制,在沉积阶段,高速微滴撞击沉积坯件表面,把己结晶的初生硅相打碎,使之重新排列,造成初生硅相的随机取向,材料的性能是各向同性的。相比
12、而言,常规金属模铸造由于冷却速率相对较低,造成硅晶体沿着某一特定晶面择优生长,最后得到规则形状的初生硅相。图3 为喷射成形S i A l 合金深腐蚀后的S E M 照片。由图可知,初生硅相尺寸较小,形状不规则,随机取向。S i 3 0 A l 合金内初生硅相和S i 4 0 A l 合金内初生硅相相比,尺寸略大,但形态几乎是一致的,这说明二者的凝固过程和机制是相同的。合金内的初生硅相大致可以分成两类:一类是尺寸较大但形状不规则的长块状初生硅相;另一类是尺寸较小且形状更不规则(包括近球形、近三角形、近方形及多边形等)的初生硅相。尺寸较大的初生硅相在小区域内互相连结在一起,形成小范围内的连续性“骨
13、架”。图3喷射成形S i-A l 合金深腐蚀后沉积坯的S E M 照片F i g 3S E Mi m a g e so ft h ea s d e p o s i t e dS i A la l l o y sa R e rc o 肿s i o n:(a)S i-4 0 A l 锄d(b)S i-3 0 A l万方数据第9 期李志辉等:快速凝固硅铝合金材料的组织与性能1 6 6 l 一般地,喷射成形工艺因其本身特性会造成所制备的沉积坯料中有部分尺寸不一的疏松和孔洞存在(如图2 中箭头标注所示)。测试结果表明,本研究所获得的喷射成形S i A l 合金沉积坯件的相对密度为9 4 9 8。因此,该
14、材料在最终使用之前需要进行致密化处理,以进一步提高其相对致密度。图4 为喷射成形S i A l 合金沉积坯热压致密化后的组织。可以看出,热压致密后S i A l 合金的显微组织和沉积态时的显微组织相比变化较大,热压致密化后材料内无明显的孔洞缺陷;此外,热压致密化后初生硅相和铝基体相进行重新排列,初生硅相在压力作用下聚集在一起,而铝基体相在压力作用下连接贯通。初生硅相在热压过程中一般有2 种运动方式:一种是初生硅相在压力作用下断裂并彼此分离;另一种则是初生硅相在压力作用下有互相接近并连接成一体的趋势。而铝基体相在压力下的运动方式也应有2 种:一种是铝基体相流动以填充孔洞,从而使材料达到致密;另一
15、种是铝基体相在压力作用下互相聚集与连接,而且这种聚集与连接的程度主要受到压力、温度等工艺参数所控制。此外,对比S i 4 0 A l 和S i 3 0 A l 合金热压态组织可知,两者比较相似,但是,由于S i 一4 0 A l合金铝含量较多,初生硅相尺寸变小,塑性相较多,初生硅相的转动和滑动受到周围初生硅相的约束少,材料的塑性变形变得容易,铝基体相更容易流动。因此,初生硅相颗粒本身在压力作用下不容易断裂,初生硅相颗粒之间在压力作用下分离开来。在热压致密化过程中,初生硅相颗粒重新排列,断开的初生硅相在小范围内聚合在一起,在聚合体周围是铝基体,铝基体相之间互相连通并包围了聚合在一起的初生硅相。测
16、试结果表明,经相同热压致密化工艺处理的S i 一4 0 A l 和S i 3 0 A l 合金的相对密度均可达到9 9 以上,这表明材料致密化效果较好,前面组织观察结果也证实了这一点。图4 喷射成形S i A l 合金沉积坯热压致密化的组织F i g 4M i c s t m c t u f e so ft l l ea s d e p o s i t e dS i-A la l l o y sa 舭rh o tc o m p r e s s i o:(a)S i 一4 0 A la n d(b)s i 一3 0 A l2 2 热物理与力学性能纯铝的热膨胀系数高达2 3 6 l O 撕K 1,
17、而纯硅的热膨胀系数仅为(2 8 7 2)l O。6K 1,因此高硅铝合金材料的低膨胀特性主要取决于硅的贡献,且随着硅含量的变化合金的热膨胀系数连续可调。快速凝固合金主要由初生硅和铝基体两相组成的,其热膨胀系数与合金中硅相的体积分数之间符合混合规则,可由式(1)计算L l:口:鱼亟刍丝丝墨三何巨+仍最式中:锄、砚分别为铝相和硅相的热膨胀系数;铆、仇分别为各相所占的体积分数,且卿+讫=1 0 0;E l、易分别为各相的弹性模量。图5 为热压致密化后喷射成形S i 3 0 A l 和S i 4 0 A l 合金的热膨胀系数随温度的变化规律。可以看出,随着温度的升高,材料的热膨胀系数增大,但是,S i
18、 一3 0 A l 合金在4 0 0 时热膨胀系数比在3 0 0 时的低,在4 0 0 5 0 0 之间其热膨胀系数(C T E)下降,s i 4 0 A l 合金在5 0 0 时热膨胀系数比在4 0 0 时的低。这是由于随着温度的升高,合金内的铝相热膨胀系数是升高的,而纯硅的热膨胀系数在3 0 0 5 0 0 之间随着温度的升高是下降的,S i 3 0 A l 合金内硅含量较高,硅的热膨胀系数对合金的热膨胀系数的影响较大,因此在4 0 0 时S i 3 0 A l 合金的热膨胀系数比在3 0 0 时的低。S i 一4 0 A l 合金内硅的含量相对较低,硅的热膨胀系数对合金的热膨胀系数的影响
19、也有所下降,在5 0 0 时其热膨胀系数比在4 0 0 时的低。图6 为热压致密化S i 3 0 A l 合金和S i 一4 0 A l 合金的热导率随温度变化规律。由图可知,在5 0 时S i 3 0 A l 合金和S i 4 0 A l 合金的热导率分别为1 1 8和1 2 7W(m K)一,随着温度的升高,不同硅含量的合金热导率单调下降。T e m p e r a t u r e 图5喷射成形s i A l 合金的熟膨胀系数与温度的变化关系F i g 5c o e m c i e n to f t l l c 咖a le x p 姐s i o f s p r a y-f b 珊e dS
20、i A la l l o y s 缸d i f f b r e n tt e m p e r a t u 旭lOO998877)Io o 一岫卜U万方数据1 6 6 2 稀有金属材料与工程第3 9 卷二、草邑乏昌T e m p e r a t 叫e 图6 喷射成形S i _ A l 合金的热导率与温度的变化关系F i g 6n e 啪a lc o n d u c t i v i t yo fs p r a y-f b 彻e dS i A la l l o y sa td i a c 他n tt c m p e r a t I l s表1 列出快速凝固硅铝合金材料热物理性能和力学性能测试结果,以
21、及其与常见电子封装材料性能的对比情况。从表中可以看出,与传统电子封装材料相比,喷射成形硅铝合金材料在具有高的热导率和低的热膨胀系数的同时,具有轻质、低密度的特性,喷射成形S i 一3 0 A l 和S i 4 0 A l 合金的密度仅分别为2 4 2 1 1 0 3 和2 4 6 5 1 0 3k g m 3。此外,从表中还可以看出,喷射成形硅铝合金还拥有良好的力学性能,S i 一3 0 A l 和S i 一4 0 A l 合金的抗弯强度分别可达1 8 0 和2 2 0M P a,S i 3 0 A l 合金的抗弯强度明显低于S i 一4 0 A l 合金是由于合金中硅含量高时脆性相(初生硅相
22、)较多而引起的:S i 3 0 A l 合金和S i 4 0 A l 合金的布氏硬度平均值分别为2 6 1 0、1 6 2 0M P a,S i 3 0 A l合金硬度较高主要是坚硬相(初生硅相)增多对硬度提高的贡献。综上可知,喷射成形高硅铝合金在满足现代电子封装材料的低热膨胀、散热快和轻量化3 大要素的前提下,具备了对机械作用敏感的部件和基板提供足够的机械支撑的机械特性,是一种综合性能优越的电子封装材料。表1各种常规封装材料与本研究材料的热物理及机械性能对比T h b l elC 0 m p a r i s O nO ft h e r m a I p h y s i c a I 丑n dm
23、e c h a n i c a Ip r o p e r t i e sa m O n gt h ea U O y si nt h ep r e o e n t 毫t u d y 量n dO t n e rC O n v e n t l O n a Ip a c k a 2 I n gm a t e r l a I ssc 三嚣ym 絮篙“。端,H 蔫?絮叫3 结论1)喷射成形高硅铝合金沉积坯件显微组织细小弥散,初生硅相为不规则形状,均匀弥散地分布在铝基体中。2)喷射成形硅铝合金沉积坯件中有小尺寸的疏松和孔洞,沉积坯件的相对密度为9 4 9 8,对其进行合适的热压致密化处理可有效地消减疏松和孔
24、洞,热压后材料的相对密度可达到9 9 以上。3)喷射成形S i 3 0 A l 和S i 一4 0 A l 合金在具有低热膨胀系数、高热导率和低密度特性的同时,拥有良好的力学性能,是一种综合性能优越的结构功能一体化电子封装材料。参考文献R e f e 代n c e I【l】Y 抽gF a n w 朗(阳范文),z h Y a o m i n g(赵耀明)&忉f c D 刀出c f D r 历加,巩口f f D n(半导体情报)【J】,2 0 0 l,3 8(4):1 5【2】(h oS h 如g t 彻g(高尚通),B iK e y l l n(毕克允)研 一如c 细r坳m 口咖拧(半导体情报
25、)啊,1 9 9 8,3 5(2):9【3】H u a n gQ i 加g(黄强),G uM i n g 舢l(顾明元),J i nY a n p i n g(金燕萍)如,P,f 口红足卯f 州材料导报)J】,2 0 0 0,1 4(9):2 8【4】Z h 锄gC h 钮(张臣),S h e nN 钮g j u e(沈能珏)d 阳拧c 耐万方数据第9 期李志辉等:快速凝固硅铝合金材料的组织与性能朋-口把,脚砌加乃新材料产业)【J】,2 0 0 3,1 1 2(3):5【5】z h 她gJ i s h 加(张济山)胁跎r 触胄P,j P,(材料导报)【J】,2 0 0 2,6(1):l【6】S
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