纳米薄膜材料的研究进展.pdf

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1、第1 9 卷第4 期V 0 1 19 N o 4材料科学与工程M a t e r i a l sS c i e n c e&E n g i n e e r i n g总第7 6 期D e c2 0 0 1文章路号：1 0 0 4-7 9 3 X 2 0 0 1)0 4-0 1 3 2 0 6纳米薄膜材料的研究进展邱成军“2，曹茂盛2”，朱静3，杨慧静21 黑龙江大学电子工程学院；2 哈尔滨工程大学材料系哈尔滨1 5 0 0 0 13 清华大学材料院。北京l 啮4 1【摘要】纳米薄膜材料是一种新型材料由于其特殊的结构特点，使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述了近几年来国内外对

2、纳米薄膜材料研究的最新进展，包括对该类材料的制备方法、徽结构、电、磁、光特性以及力学性能的最新研究成果。【美鲁词】纳米薄膜；薄膜制备；微结构；性能中圈分类号：T B 3 4文献标识码：AN e wR e s e a r c hP r o g r e s so nN a n o s c a l eT h i nF i l m sQ I UC h e n g-j u n l 一，C A OM a o-s h e n 9 2 一，Z H UJ i a n 9 3，Y A N GH u i-j i n 9 2(1 _ I n s t i t u t eo fe l e c t r o nE 蛳r i

3、_ 堆H e g o n g i l a n gU n i v e r 菇t y，c h i 岫；2 D e p a r t m e n to f M a t e H a l o，H a r b i nE n g i n e e r i n gU n i v e r s i t y H a r b i n1 5 0 0 0 1，C h i n a；3 I n s t i t u t eo fM a t e r i n i o，T 姐h u aQ i n g h n aU n i v e r i s t y B e i i i 雌1 0 0 0 8 4，C h i n a)【A l m r a

4、c t】N a n o-t h i nf i l mi sa t o wt y p eo f m a t e r i a l，a n di th a saw i d er a n g eo f p o t e n t i a la p p l i c a t i o n sb o t ha sf u n c t i o n a lm a t e r i a l sa n da ss t r u c t u r a lm a t e r i a l si nt h ef u t u r eT h ea d v a n c e m e n to f l l a n ot h i nf i l mi

5、 nt h ew o d di sr e v i e w e d w h i c hi n c l u d e st h et e c h n o l o g yo f”p a r i l l gt h et h i nf i l m，i t sm i c r o s u c t u r e _ t h ep r o p e r t i e so fe l e c t r i c i t y，m a g n e t i ca n do p i t i e s a n dm e c h a n i c a lp r o p e r t i e s【K e yw o r d s JH a n o

6、t h i nf i l m；p r e p a r a t i o no ft h i nf i l m；m l e r v s t I u c t u r e：p r o p e r t i e s1 概述1 1 纳米材料的发展历史2 l 世纪。由于信息、生物技术、能源、环境、国防等工业的快速发展，对材料性能提出更新更高的要求，元器件的小型化、智能化、高集成、高密度存储和超快传输等要求材料的R 寸越来越小。航空航天、新型军事装备及先进制造技术使材料的性能趋于极端化。因此新材料的研究和创新必然是未来的科学研究的重要课题和发展基础，其中由于纳米材料的特殊的物理和化学性能，以及由此产生的特殊的应

7、用价值，必将使其成为科学研究的热点“J。事实上，纳米材料并非新奇之物，早在1 0 0 0 多年以前，我国古代利用蜡烛燃烧的烟雾制成碳黑作为墨的原料，可能就是最早的纳米颗粒材料；我国占收藕日期：2 f i o o-1 1-1 7基童璃目：中国博士后基音裔助项目、黑葸江省博士后科研启动基金和黑龙江省自拣科学基金资助项目作者麓秆：邱成军(1 9 6 51 男，广东省。工学硬士剐教授。主要研究片向：蚺米薄膜材料1 3 2 万方数据代铜镜表面的防锈层，经验证为一层纳米氧化锡颗粒构成的薄膜，这大概是最早的纳米薄膜材料。人类有意识的开展纳米材料的研究开始于大约5 0 年代，西德的K a n z i g 观察

8、到了B a T i n 中的极性微区，尺寸在1 0 1 0 0 纳米之间”l。苏联的GAS t o o l e m k v假设复合钙钛矿铁电体中的介电弥散是由于存在I C u m z i g 徽区导致成分布不均匀引起的”l。6 0 年代日本的R y o g oK u b o 在金属超微粒子理论中发现由于金属粒子的电子能级不连续，在低温下即当费米能级附近的平均能级间隔8 k T 时，金属粒子显示出与块状物质不同的热性质“J。西德的HG l e i 怔r 对纳米固体的制备、结构和性能进行了细致地研究”】。随着技术水平的不断提高和分析测试技术手段的不断进步，人类逐渐研制出了纳米碳管。纳米颗粒，纳米晶

9、体，纳米薄膜等新材料，这些纳米材料有一般的晶体和非晶体材料不具备的优良特性，它的出现使凝聚态物理理论面临新的挑战。8 0 年代末，有人利用粒度为1 1 5 n m 的超微颗粒制造了纳米级固体材料。纳米材料由于其体积和单位质量的表面积与固体材料的差别达到一定的极限，使颗粒呈现出特殊的表面效应和体积效应，这些因素都决定着颗粒的最终的物理化学性能，如随着比表面积的显著增大，会使纳米粒子的表面极其活泼，呈现出不稳定状态。当其暴露于空气中时，瞬间就被氯化。此外，纳米粒子还会出现特殊的电、光、磁学性能和超常的力学性能。1 2 纳米薄的分类纳米薄膜具有纳米结构的特殊性质目前可以分为两类：(1)含有纳米颗粒与

10、原子团簇基质薄膜；(2)纳米尺寸厚度的薄膜，其厚度接近电子自由程和D e n y e 长度，可以利用其显著的量子特性和统计特性组装成新型功能器件。例如，镶嵌有原子团的功能薄膜会在基质中呈现出调制掺杂效应，该结构相当于大原子超原子膜材料具有三维特征；纳米厚度的信息存贮薄膜具有超高密度功能，这类集成器件具有惊人的信息处理能力；纳米磁性多层膜具有典型的周期性调制结构，导致磁性材料的饱和磁化强度的减小或增强。对这些问题的系统研究具有重要的理论和应用意义。纳米薄膜是一类具有广泛应用前景的新材料，接用途可以分为两大类即纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。前者主要是利用纳米粒子所具有的光、电、磁方面的特性，通过复合

11、使新材料具有基体所不具备的特殊功能。后者主要是通过纳米粒子复合提高材料在机械方面的性能。由于纳米粒子的组成、性能、工艺条件等参量的变化都对复台薄膜的特性有显著影响因此可以在较多自由度的情况人为地控制纳米复合薄膜的特性，获得满足需要的材料。纳米多层膜指由一种或几种金属或合金交替沉积而形成的组分或结构交替变化的合金薄膜材料且各层金属或合金厚度均为纳米级，它也属于纳米复合薄膜材料。多层膜的主要参数为调制波长A，指的是多层膜中相邻两层金属或合金的厚度之和。当调制波长A 比各层薄膜单晶的晶格常数大几倍或更大时可称这种多层膜结构为“超晶格”薄膜。组成薄膜的纳米材料可以是金属、半导体、绝缘体、有机高分子等材

12、料，因此可以有许多种组合方式如金属，半导体、金属，绝缘体、半导体，绝缘体、半导体，高分子材料等，而每一种组台都可衍生出众多类型的复合薄膜。2 纳米薄膜的制备方法纳米薄膜的制备方法按原理可分为物理方法和化学方法两大类。粒子柬溅射沉积和磁空搬射沉积，以及新近出现的低能团簇柬沉积法都属于物理方法；化学气相沉积(C V D)、溶胶一凝胶(S o l G e l)法和电沉积法属于化学方法。2 1 离子柬溅射沉积使用这种方法制备纳米薄膜是在多功能离子柬辅助沉积装置上完成。该装置的本底真空度为0 2 M P a，工作气压为7 M P a。沉积陶瓷材料可以通过使用3 2 K e V 1 0 0 m A 的A

13、r+离子束溅射相应的靶材沉积得到而沉积聚四氟乙烯材料需要使用较小的柬流和束压(1 5 K e V 3 0 m A)。沉积陶瓷材料时的速率为6 n n d m i n，沉积金属和聚四氟乙烯材料时的速率为1 2 n m m i n “。2 2 磁控溅射沉积磁控溅射沉积法制备薄膜材料是在磁控溅射仪上实现的，其真空室中有三个阴极靶(一个直流阴投，两个射频阴极)，三个阴极可分别控制。首先将溅射材料安装在射频阴极上通过基片架转动基片轮流在两个射频靶前接受溅射原子，控制基片在各靶前的时间，即可控制多层膜的调制波长。同时在真空室内通人一定压力的气体可以作为保护气氛，或与溅射金属原子反应生成新的化合物，沉积到基

14、片上”一。此外在基片高速旋转的条件下，还可制1 3 3-万方数据各近似均匀的复合薄膜川。磷控溅射法具有镀膜速率易于控制，稳定性好，溅射材料不受限制等优点。2 3 低能团簇柬沉积法低能团簇束沉积方法是新近出现的一种纳米薄膜制备技术。该技术首先将所沉积材料激发成原子状态以A r、k 作为载气使之形成团簇，同时栗用电子束使团簇离化，利用质谱仪进行分离从而控制一定质量、一定能量的团簇沉积而形成薄膜。在这种条件下沉积的团簇在撞击表面时并不破碎，而是近乎随机分布；当团簇的平均尺寸足够大，则其扩展能力受到限制，沉积薄膜的纳米结构对团簇尺寸具有很好的记忆特性”“。2 4 电沉积法电沉积法可以制得用喷射法不能制

15、褥的复杂形状，并且由于沉积温度较低可以使组分之间的扩散程度降到最低”2。匈牙利的E n i k oT o t h l(d a r 年用交流脉冲电源在阴撮镀制纳米晶N j 膜，试样制备与普通电镀相局，电镀时电流保持不变i。=2 0 Ad m2，脉冲电流通电时间f。，断电时间I d 在O0 0 1，00 1 01，1，1 0,之间变化”“。此外用电沉积法在A I S l 5 2 1 0 0 钢基体上制得铜一锦多层膜，试样预先淬硬到H R C 6 2 左右，然后抛光清洗进行电沉积，镀锕时电压“=1 6 0 0 m V i=08 8 1 m Ac m，镀镍时电压z=6 0 0 m A，i=2 2 0

16、2 m Ac m“m j。2 5 胶体化学法采用溶胶一凝胶法制备纳米薄膜，首先用化学试剂制备所需的均匀稳定水溶胶，然后将溶胶滴到清洁的基体上，在匀腔机上匀胶，或将溶腔表面的胨化膜转移到基体上再将薄膜放人烘箱内烘烤或在自然条件下干燥，制得所需得薄膜。根据制备要求的不同，配制不同的溶胶，即可制得满足要求的薄膜。用溶胶一凝胶法制备了纳米微孔s 避薄膜“和s n q 纳米粒子膜”。此外，还有用这种方法制备T i q S O!超颗粒及其复合L B(a n g m u i r-B u i d g e t t)膜1“、S i C A I N 膜、Z n S S i 膜、C u O S i 0 2 膜的报道。

17、2 6 化学气相沉积法在电容式辆合等离子体化学气相沉积(P C V D)系统上，用高氢稀释硅烷和氨气为反应气氛制备纳米硅氟(N e S i N，：H)薄膜。其试验条件为：电极间距3 2 c m，电极半径5 e m。典型的沉积条件为：衬底温1 3 4 度3 2 0。C 反应室压力为1 0 0 P a，射频功率为7 0 W，S i H l H，的气体流量比为00 3 N，S i I 的气体流量比为1 1 0”。，此外还有用化学沉积法制备F e-P 膜啪，射频溅射法制备a F e N d 2 F h B 多层膜”1 热化学气相法制备S i C S i、N。膜的报道。3 纳米薄膜的结构3 I 纳米粒子

18、奠的结构中科院长春化学研究所研究了用胶体化学法制备的s q 纳米粒子膜的结构，然后将胶体表面的陈化膜转移出来，发现新鲜的骥体表面均匀，但经过一段时间以后，出现小的胶体粒子畴，并逐渐增多变大。随着时间的增加，畴间距缩小，形成大块膜。薄膜的致密程度以及晶型与转移膜的悬挂状态和干燥时间有一定的联系“”。3 2 纳米多层膜的结构纳米多层膜中各成分都有接近化学计量比的成分构成，从x 射线衍射谱中可以看出，所有金属相及大多数陶瓷相都为多晶结构，并且谱峰有一定程度的宽化，表明晶粒是相当细小的，粗略的估算在纳米数量级，与子层的厚度相当。部分相呈非晶结构，但在非晶基础上也有局部的晶化特征出现。通过观察可以看到多

19、层膜的多层结构，般多层膜的结掏界面平直清晰看不到明显的界面非晶层，也没有明显的成分混合区存在。此外，美国伊利诺斯大学的科研人员成功地台成了以蘑菇形状的高分子聚集体微结构单元，在自组装成纳米结构的超分子多层膜-驯。4 纳米薄膜的性能4 1 力学性能纳米薄膜由于其组成的特殊性，因此其性能也有一些不同于常规材料的特殊性，尤其是超模量、超硬度效应成为近年来薄膜研究的热点。对于这些特殊现象在材料学理论范围内提出了一些比较台理的解释。其中有K o e b a e r 早期提出的高强度固体的设计理论旧，以及后来的量子电子效应、界面应变效应、界面应力效应圳等都不同程度的解释r 一些实验现象。现在就纳米薄膜材料

20、的力学性能研究较多的有多层膜硬度、韧性、耐磨性等。4 11 硬度纳米多层膜的硬度与材料系统的组 万方数据分，各组分的相对含量，薄膜的调制波长有着密切的关系。纳米多层膜的硬度对于材料系统的成分有比较强烈的依赣性，在某些系统中出现了超硬度效应，如在聊P t 和T i C F e 中，尤其是在T i C F e 系统中，当单层膜厚分别为t。=8 a m 和，=6 a m 时，多层膜的硬度可达到4 2 G P a，远远超过其硬质成分T i c 的硬度；而在某些系统中则没有这一现象出现如在T i C C u和T i C A I 中，并且十分明显的是在不同的材料系统中，其硬度值有很大的差异，如T i c，

21、聚四氟乙烯的硬度比T i c 低很多，大约只有8 G P a 左右o“。影响材料硬度另一个因素是组分材料的相对含量。机械性能较好的薄膜材料一般由硬质相(如陶瓷材料)和韧性相(如金属材料)共同构成。因此如果不考虑纳米效应的影响，如果硬质相含量较高，则薄膜材料的硬度较高，并且与相同材料组成的近似混台薄膜相比，硬度均有所提高。对于纳米多层膜的强化机理，多数观点认为其硬度值与调制波长A 的关系近似的遵循H a l l P e r c h关系式旧J：d=口。+(口o A)“(2)式中A 为多层膜的调制波长。按照该关系式硬度值随调制波长A 的增大而减小。根据位错机制，材料的硬度髓晶粒度的减小而增大，在纳米

22、多层膜中，界面的古量是相当高的，而界面对位错移动等材料变形机制有着直接影响可以将层问界面的作用类似于晶界的作用，因此多层膜的硬度随调制波长A 的减小而增大。实验中观察到在n C C u、T i C A I N等系统中硬度值随调制波长A 的变化类似遵循H a l I-P 时e h 关系式m3，但是在吼c，w _ 1 1、T i N t P t”1 中的情况要复杂一些，硬度与调制波长A 的关系并非单调地上升或下降，而是在某一调制渡长A 存在一个硬度最高值。4 1 2 韧性多层膜结构可以提高材料的韧性其增韧机制主要是裂纹尖端钝化、裂纹分支、层片拔出、以及沿界面的界面开裂等，在纳米多层膜中也存在类似的

23、增韧机制。影响韧性的因素有组分材料的相对含量及调制波长。在金属，陶瓷组成的多层膜中可以把金属作为韧性相冉瓷为臆性相，实验中发现在T i C F e、竹c，A I、n c，w 多层膜系”1 中，当金属古量较低时韧性基本上随金属相的增加而上升，但是在上升到一定程度时反而下降。对于这种现象可以用界面作用和单层材料的塑性加以粗略的解释。当诵制波长A 不是很小时，多层膜中的子层材料基本保持其本征的材料特点金属层仍然具有较好的塑性变形能力，减小调制波长A 相当于增加界面含量，有助于裂纹分支的扩展，增加材料的韧性。当调制波长A 很小时，子层材料的结构可能会发生一些变化，金属层的塑性降低，忙哇时由于子层的厚度

24、太薄材料的成分变化梯度减小裂纹穿越不同叠层时很难发生转移和分裂，因上韧性反而降低。4 1 3 耐磨性对于纳米薄膜的耐磨性，现在进行的研究还较少，但是从现有的研究看来，合理的搭配材料可以获得较好的耐磨性。如在5 2 1 0 0 轴承钢基体上沉积不同调制波长的铜膜和镍膜“，实验证明多层膜的调制波长越小，使其磨损明显变大的临界载荷越太，即铜一镍多层膜的调制波长越小，其磨损抗力越大。对于这种现象没有确切的理论解释，可以用晶粒内部、晶粒界面和纳米多膜的邻层界面上的位错滑移障碍比传统材料的多，滑移阻力比传统材料的大来解释。从结构上看，多层膜的晶粒小原子排列的晶格缺陷的可能性大，晶粒内的晶格点阵畸变和品格缺

25、陷的增多，使晶粒内部的位错滑移障碍增加；晶界长度也比传统晶粒的晶界长的多使晶界上的位错滑移障碍增加；此外多层膜相邻界面结构也非常复杂，不同材料的位错能的差异，导煎界面上的位错滑移阻力增大。因此使纳米多层膜发生握性变形的流变应力增加并且这种作用随着调制波长的减小而增强。4 2 光学性能(1)蓝移和宽化。用胶体化学法制备纳米T i 0 2，s n 0 2 超颗粒及其复合L B 膜具有特殊的紫外一可见光吸收光谱。耶0 2 S n O：超颗粒具有量子尺寸效应使吸收光谱发生“蓝移”；T i q S n 0 2 超颗粒硬脂酸复合L B 膜具有良好的抗紫外线性能和光学透过性【1“。纳米颗粒膜，特别是一族半导

26、体C d S，s e 以及一V 族半导体c d s 的颗粒膜，都观察到光吸收带边的蓝移和宽化现象。有人在C d S。S e，玻璃的颗粒膜中观察到光的“退色”现象，即在一定渡长的照射下吸收带强度发生变化的现象(p h o t o m d u c e dM e a e h i n g)。(2)光的线性与非线性。光学线性效应是指介1 3 5 万方数据质在光渡场作用下，当光强较弱时介质的电极化强度与光渡电场的一次方成正比的现象。一般说来，多层骥的每层膜的厚度与激子玻尔半径a。相比拟或小于激子玻尔半径时，在光的照射下，吸收谱上会出现擞子吸收峰。这种现象也属于光学效应。半导俸l n G a l A$和l

27、n f,a A s 构成的多层膜，通过控制l n G 以8 膜的厚度可以程容易的观察到激子吸收峰。光学非线性是在强光场的作用下介质的极化强度中就会出现与外加电磁场的二次、三次乃至高次方成比例的项。对于纳米材料，由于小尺寸效应、宏观量子尺寸效应、量子限域和激子是引起光学非线性的主要原因。岳立萍等用离子溅射技术制备了颗粒镶嵌膜介质为s i q，c e 颗粒平均尺寸为3 n m 簇厚5 0 0 h m。它的z 扫描曲线表明：透过率曲线以焦点为对称轴，并在焦点处有一极小值样品吸收是强度相关的非线性吸收。在焦点附近由于单位面积上的光强增大，吸收系数也增大，在焦点处吸收系数达最大值。非线性吸收系数日一08

28、 2 e m W，为三阶光学非线性响应”J。4 3 电磁学特性(1)磁学特性纳米双相交换耦合多层膜叶F e N 也F e 4 B 永磁俸的软磁相或硬磁相的厚度为某一临界值时，该交换耦合多层永磁膜的成核场达到最大值，与R a v e 等人的有限元法计算结果趋势是一致的，考虑到工艺参数的影响后与S h i n d o 等人的试验及理论估算结果是一致的。目前，所报道的纳米交换耦合多层膜a-F e N d，F e,B 的磁性能仍然不高，因此进一步优化工艺参数是研制理想纳米交换耦合永薯体材料的重要方向”“。(2)电学特性常规的导体(如金属)当尺寸减小刭纳米数量级，其电学行为发生很大的变化。有人在A u

29、鸲仉的颗粒膜上观察到电阻反常现象，随纳米 u 颗粒含量的增加，电阻不但不减小，反而急剧增加m。F a u c h e t 等人用P E C V D 法制备了纳米晶S-膜并对其电学性质进行了研究结构观察到纳米晶s i膜的电导大大增加，比常规非晶s i 膜提高了9 十数量级，纳米晶s i 膜的电导为1 0。S e m，而非晶膜的电导为1 0“s t i l l。这说明，材料的导电性与材料腰粒的临界尺寸有关，当材料颗粒大于临界尺寸，将遵守常规电阻与温度的关系，当材料颗粒小于临界尺寸，它可能失掉材料原本的电性能。(3)巨譬电阻效应(G M R 效应)1 9 8 8 年法国巴黎大学物理系F e r t

30、教授的科研组首先在F e C r 多层-1 3 6 膜中发现了巨磁电阻效应即材料的电阻率将受材料磁化状态的变化而呈现显著改变的现象。1 9 9 2年B e r k o w i t z 和C h i e n 分别独立地在C o C u 颗粒膜中观察到巨磁电阻效应，此后叉相继在液相快淬工艺以及机械台金化等方法制备的纳米固体中发现了这种效应j。巨磁电阻效应发现以后主要的研究方向之一是降低饱和磁场提高低场灵敏度。解决途径其一是在多层膜中采用自旋阀结构(S p i nV a l u e)，另一种途径是将多层膜在合适温度下退火，使其成为间断膜，使层问产生偶极矩的静磁耦合。例如多层膜组成为T a(1 0 0

31、 A)l A g(2 0 A)，：N i F e(2 0 A)A g(4 0 A)N i F e(加A)I T a(4 0 A)S i 0 2(7 0 0 A)S i 经过3 1 5。C 在(5 R+9 5 A r)气氧中退火可获得C M R一4 6。饱和磁场胁一5 1 0 0 0 e 磁场灵敏度S，=0 8 O e。在多层膜巨磁电阻研究的启发与促进下，由发现了在颗粒膜中同样存在巨磁电阻效应。我国电子科技大学的刘颖力”“等采用双靶直流磁控溅射系统制备了(N i 柚C u)纳米多层膜，N i F e 膜厚3 n m，C u 膜厚04 4 n m，发现r 多层膜的巨磁电阻效应，铜膜的厚度对巨磁电阻

32、效应是正态分布，l n m 时最大。在这个位置N i F e 通过c u 层间接耦合为反铁磁排列而在其它位置为铁磁排列。4 4 气敏特性采用P E C V D 方法制备的s n q 超微粒薄膜具有比表面积大，存在配位不饱和键，表面存在很多活性中心，容易吸附各种气体而在表面进行反应，是制备传感器很好的功能膜材料。该薄膜表面吸附很多氧，而且只对醇敏感，测量不同醇(甲醇、乙醇、正丙醇、乙二醇)的敏感性质和对薄膜进行红外光谱测量可以解释S n 0 2 超徽粒薄膜的气敏特性”1。5 纳米薄膜的应用前景纳米薄膜在许多领域内都有着广泛的应用前景。利用新的物理化学性质、新原理、新方法设计纳米结构性器件和纳米复

33、合传统材料改性正孕育着新的突破。功能性的薄膜材料一直是人们研究的热点，例如H M a t s u d a 等人制备的F e P 纳米薄膜具有优良的磁性能啪。；纳米硅薄膜(n e s i：H)是一种新型低维人工半导体材料】；E n i k oT o t h K a d a r 等人用脉冲电沉积法制备的N i 纳米晶薄膜，具有良好的电传导性”“；杨仕清等人研究了纳米双相交换辆合多层 万方数据膜a F e N d 2F e。B 永磁体的磁性能”；利用巨磁电阻效应制成的读出磁头可显著提高磁盘的存储密度；利用巨磁电阻效应制作磁阻式传感器可大大提高灵敏度。参考文献张立德纳米材料研究的新进展及在2】世纪的战

34、略地位，中国粉体技术：J 2 0 0 0，6(1)：I 一5K a r m g WH d v J P h y sL e t t，1 9 9 0 2 9：1 7 5GAS 肿|e m k y J JP h y sS o cJ p n，s u p p l 1 9 7 0，2 8 2 6R y o g oK u h n：J】JP h y sS o cJ p n，1 2 1 7：9 7 5Hc k 衙纳米材料 M 北京：原子能出版社1 9 9 曹茂盛超微颗粒制备科学与技术 M 哈尔滨1=业大学出版社，1 9 9 6何建立刘长洪，李文治，等徽组装纳米多层材料的力学性能研究 J 清华大学学报1 9 9 8

35、，3 8(1 0)：1 6李戈扬，施晓蓉，张流强等T i N A I N 纳米多层膜的制备及力学性能 J J：海交通大学学报1 9 9 9 3 3(2)：1 5 9李戈扬，施晓蓉，辛挺挥等T i N A I N 纳米混合膜的徽结构及力学性能 J】上海交通大学学报，1 9 9 9，3 3(3)：1 6 2椽傻华顾明元，李戈扬，等s l、N 4 T i N 纳米多层膜的超硬教应 J 上海交通大学学报，2 0 0 0，3 4(3)：3 4 7扬硗豫，蔡殉李莹等S i C W 纳米多层的徽结构和徽观力学性能 J 上荐交通大学学报，1 9 9 8，3 2(2)：8 4棘政倪宏伟现代功能陶瓷 M 北京：国

36、防工业出版社1 9 9 8J o 口I l Y a h n l 硼E l e c h e m i c a ld e p o e i f i o no f n i d-b Y J】S u n C a c e C o a t i n gT e c h n o l o g y，1 9 9 8，1 0 5：P v“E r f i k oT o t h K a d，I B a k ot a j*P n g a n y m dA g n e sC n r a l dM c m s t r u c t m ea n de l e c t r i c a lt 瑚s F c c tp r o p e r t

37、i e s 缸P I d*山忙dn a n o c w s t a l l J n en i c k e le l e e t r o d e p o s i t s J S u r f a c e C o a t i n g T e c h n o l o g y 1 9 9 6，8 8，p 5 7李振明C u-N f 膜的耐磨性研究f J j 材料开发与应用，1 9 9 9，1 4(5)：1 7方国家刘租黎姚凯伦纳米微孔岛0 2 薄膜的叫，G e l 制备及气孔宰控制【J 功能材料，1 9 9 9 3 0(2)1 9 0曹立新，万海保，袁迅倒等s n q 纳米粒子膜的性质和结构研究 J 化

38、学物理学报，1 9 9 9 1 2(2)：1 9 1 1 8 刺成林，李远光，钟菊花等T i O，S n O。超微粒受其复合L B 膜的紫外可见光吸收光谱的研究 J 功能材料1 9 9 9，3 0(2)：2 2 3 1 9J 韩伟强韩高荣，聂东林等氮对纳水硅薄膜晶化的影响【J：材料研究学报，1 9 9 6 1 0(3)：2 8 91 2 0 jHM a t s u d a，SY a eTl a 0 s h i a a l 6HM a t s u oD e v d a p-m e r i t o fe l e e t r o l e s s l yd e p o s i t e d F P P

39、f i l m s J 1T m a sI M F 1 9 9 8，7 6(6)：2 A 1【2】杨仕清，王豪才何世光等纳米多层水磁膜a-F e N 也F e sB 的成核场的微磁学计算：J】化学物理学报1 9 9 9 1 2(1)：4 4：2 2 j 张立德牟季美纳米结构自组裴和分了自组装体系 J7 物理，1 9 9 9 2 8(1)：2 2 2 3 K o e h l e rJsA t t e m p tt od e s i g nas t r o n gs o l i d【JP h YR e vB，1 9 7 0，2：5 4 7【2 4JS h t hJS D o v eD BT i T

40、 iNH f H f-Na n dW W Nm u h t 1 a y e r6 l 岫w i t hh i 曲m e c h e h i c h a r d n 怖s【Jg p p l P h”L 酣1 9 9 2，6 l：6 5 42 5 T a iB 甜W uE f f e c to fs c 坤e n i n g 舢g a r l t i 嬲he l 且s c o m“m“缸c m n p 棚m o 叶m o d a t e da l l o y s：JJt t p p lP a y s，1 9 8 2，5 3：5 2 6 52 6。H l l j i a n gS SN e wa r

41、 l i f i r a lf u n c t i o n a lm a t e f i a l s-m e t a n i cs u p e r-l a t f i c(i nC h i n e s e)【J P w so fN a t u r a ls c】_1 9 9 1，3：1 9 31 2 7】w e n Ls，H zRF+G u oLPde t iM i e r o s t z r u c t e 丑r I dM H h 且I I l c 却P r o p 硎幅o fm e t a l e e r a m i cI i T i Nm m h k mLJ jJM a gM a t e

42、 r，1 9 9 3 1 2 6(1 3)：2 1 0【2 8】张立德，牟季美纳米材料学 M 沈阳：辽宁科学技术出版杜，1 9 9 4【2 9J岳立萍，何怡贞，等G e S i o 纳米耘粒镶嵌曦的非线性光吸收研究【J 功能材料，1 9 9 5(增)3 0 马如璋，蒋民华，像祖雄功能材料学概论 M 北京：冶金工业出版社，1 9 q 91 3 l。都有为纳米材料中的巨礁电阻效应【J】物理学进展1 9 9 7 1 7(2)：1 8 0 3 2 刘颖力等N i F e C u 多层膜薄的巨磁阻效应 J 功能材料1 9 9 5(增)”J 王雅静，姜月顺等s n 0 2 超触粒薄膜的界面电子转移研究【J

43、 化学物理学报1 9 9 9，1 2(2)：2 0 1 M 彭英才，何字亮纳米硅薄膜研究的最新进展。J 1稀有金属，1 9 9 9，2 3(I)：4 2【JDJK e s t 盯，CLB r o d b e c k，iLS i n g e r，m l dA，K y f i a k o p o u l o|BS l i d i n g b e h a v i o ro fd i a m o n d-l i k eI-r ec o a t i n g s【JJS u r f 舵e C 0 a f i n gT e c h n o l o g y 一1 9 9 9，1 1 3：2 6 81 3 7234567801234567 万方数据