扫描电镜微区成分分析技术剖析优秀PPT.ppt

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1、扫描电镜微区成分分析技术扫描电镜微区成分分析技术 扫描电镜的成分分析技术是扫描电镜的成分分析技术是2020世纪世纪7070年头发展年头发展起来的，并在各个科学领域得到广泛应用。该项技起来的，并在各个科学领域得到广泛应用。该项技术打破了扫描电镜只作为形态结构视察仪器的局限术打破了扫描电镜只作为形态结构视察仪器的局限性，使形态视察与样品的化学元素成分分析结合起性，使形态视察与样品的化学元素成分分析结合起来，从而大大地扩展了它的探讨实力。与传统的化来，从而大大地扩展了它的探讨实力。与传统的化学和物理分析相比，它具有如下优点学和物理分析相比，它具有如下优点:1.1.可以分析小于可以分析小于1m1m的样

2、品中的元素。的样品中的元素。2.2.能在微观尺度范围内同时获得样品的形貌、组成能在微观尺度范围内同时获得样品的形貌、组成分析及其分布形态等资料，为探讨样品形态结构、分析及其分布形态等资料，为探讨样品形态结构、组成元素供应了便利。组成元素供应了便利。3.3.分析操作快速简便，试验结果数据牢靠，而且可分析操作快速简便，试验结果数据牢靠，而且可用计算机进行处理。用计算机进行处理。4.4.可对样品进行非破坏性分析。可对样品进行非破坏性分析。1微区成分分析是指在物质的微小区域中进行元素鉴定和组微区成分分析是指在物质的微小区域中进行元素鉴定和组成分析成分析,被分析的体积通常小于被分析的体积通常小于1m3,

3、1m3,相应被分析物质的相应被分析物质的质量为质量为10-12 g10-12 g数量级。数量级。假如应用从物质中所激发出的特征假如应用从物质中所激发出的特征X X射线来进行材料的元射线来进行材料的元素分析，则这种分析称为素分析，则这种分析称为X X射线分析技术。该技术可分为射线分析技术。该技术可分为X X射线波谱分析法射线波谱分析法(WDS,X(WDS,X射线能谱分析射线能谱分析(EDS)(EDS)和和X X射线荧光射线荧光分析法分析法(XFS)(XFS)三种，其中三种，其中WDSWDS和和EDSEDS适宜进行微区的元素分适宜进行微区的元素分析，因此这两种分析方法又称为析，因此这两种分析方法又

4、称为X X射线显微分析技术。射线显微分析技术。从电子光学仪器的发展历史来看，最早作为元素分析的专从电子光学仪器的发展历史来看，最早作为元素分析的专用仪器称为电子探针用仪器称为电子探针(EPMA)(EPMA)，它以波谱分析法为基础，它以波谱分析法为基础;其其后随着扫镜电镜的发展，为了适应其工作的特点，又以能后随着扫镜电镜的发展，为了适应其工作的特点，又以能谱分析法作为谱分析法作为X X射线元素分析的基础。射线元素分析的基础。在扫描电镜的各种成分分析技术中，在扫描电镜的各种成分分析技术中，X X射线元素分析法的射线元素分析法的分析精度最高分析精度最高(原子序数大于原子序数大于1111的元素分析误差

5、约的元素分析误差约1%1%左右左右)，因此这种成分分析技术应用最广。，因此这种成分分析技术应用最广。2电子探针的工作原理 莫塞莱（Mosely）定律 高能电子束入射样品表面激发产生的特征X射线具有特征波长和特征能量，其波长的大小、能量的凹凸遵循莫塞莱定律，即：v1/2=R(Z-)（1）=C/v （2）=hv （3）式中，v为X射线的频率；Z为原子序数；R、为常数，且约等于1；C为X射线的速度；h为普朗克常数；为特征X射线的波长；为特征X射线的能量。3 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针（EPMA-Electron probe micro-analyzer，检测的信号是特征X射线 由莫塞莱定律

6、可见，特征X射线的波长、能量取决于元素的原子序数，只要知道样品中激发出的特征X射线的波长（或能量），就可以确定试样中的待测元素，元素含量越多，激发出的特征X射线强度越大，故测量其强度就可确定相应元素的含量。电子探针就是依据这个原理对样品进行微区成分分析的。4 电子探针的结构其镜筒部分与扫描电镜相同，即由电子光学系统和样品室组成。所不同的是电子探针有一套检测特征X射线的系统-X射线谱仪。若配有检测特征X射线特征波长的谱仪称为电子探针波谱仪（WDS-Wavelength Dispersive Spectrometer）。若配有检测特征X射线特征能量的谱仪称为电子探针能谱仪（EDS-Energy D

7、isperse Spectroscopy）。除特地的电子探针外，大部分电子探针谱仪都是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜上，与电镜组成一个多功能仪器，以满足微区形貌、晶体结构及化学组成的同位同时分析的须要。5布拉格衍射定律 假如有一块晶体，已知其平行于晶体表面的晶面间距为d，对于不同波长的X射线只有在满足确定的入射条件（入射角）下，才能发生猛烈衍射，即：2dsin=n (n=1,2,3)若忽视n1的高级衍射的干扰，对于随意一个特定的入射角，只有一个确定的波长满足衍射条件。若连续地变更角，则可以在与入射方向成2角的相应方向上接收到各种单一波长的X射线信号，从而展示适当波长范围内的全部X射线谱，这就

8、是波谱仪波长分散的基本原理。6X X射线波谱分析射线波谱分析一、波谱仪的基本原理和分析特点一、波谱仪的基本原理和分析特点 1.1.原理原理 X X射线波谱分析法的基本原理依据的是莫塞莱定律，射线波谱分析法的基本原理依据的是莫塞莱定律，只要鉴定出样品被激发出的特征只要鉴定出样品被激发出的特征X X射线的波长射线的波长，就可以，就可以确定被激发的物质中所含有的元素。确定被激发的物质中所含有的元素。为了确定从试样上所激发出的特征为了确定从试样上所激发出的特征X X射线谱的波长，射线谱的波长，通常在靠近样品的地方放一个晶体检测器，其中装有晶面通常在靠近样品的地方放一个晶体检测器，其中装有晶面间距间距d

9、 d为已知的晶体作为分析晶体。当电子束打在样品上，为已知的晶体作为分析晶体。当电子束打在样品上，激发出来的各种特征激发出来的各种特征x x射线的波长以确定角度射线的波长以确定角度照射到分照射到分析品体时，只有满足布拉格定律析品体时，只有满足布拉格定律=2dsin=2dsin，波长，波长的特的特征征X X射线才会发生衍射。式中射线才会发生衍射。式中d d已知，并且是固定不变的。已知，并且是固定不变的。因此，可以通过测量角因此，可以通过测量角求出特征求出特征X X射线的波长射线的波长 。从而。从而确定出试样所含的元素。确定出试样所含的元素。只要连续变更只要连续变更角角.就可以在与入射方向交叉成就可

10、以在与入射方向交叉成22角角的相应方向上接收到各种单一波长的的相应方向上接收到各种单一波长的X X射线信号。从而展射线信号。从而展示适当波长以内的全部示适当波长以内的全部x x射线波谱。射线波谱。由于一种晶体的晶面间距由于一种晶体的晶面间距d d是一个固定值，它只能对是一个固定值，它只能对确定波长范围的确定波长范围的x x射线起作用，为了分析更大范围内的射线起作用，为了分析更大范围内的X X射射线，往往在检测器上装有几个不同线，往往在检测器上装有几个不同d d值的晶体。值的晶体。7 2.分析特点 X射线波谱分析法的特点是适于做成分的定量分析和元素分布浓度扫描，但要求被分析试样表面光滑。分析元素

11、范围从Be到U，分析区域尺寸可以少到1m的块状试样，重量浓度分析灵敏度大约是0.01%-0.001%，定量分析的精度为士（2-5）%，在某种状况下可优于1%。但是，接受 X射线波谱分析法分析时电子束流大，会对样品造成较大的污染和损伤；分析速度慢，占据空间大；不能同时进行全元素分析。891011 在波谱仪中，X射线信号是由样品表面以下很小的体积（大约1m）范围内激发出来的，这相当于一个点光源，由此放射出的X射线总是发散的。假如把一块平整的晶体放在样品上方的某一位置，用其进行分光，能够到达晶体表面的X射线只有很小的一部分，并且入射到晶体表面不同部位的X射线的入射方向各不相同（角不等），发生衍射的X

12、射线的波长也就各异。所以，分光用平面晶体对不同波长的特征X射线可以分光绽开，但是就收集单一波长的X射线的效率来说是特别低的。12 为了提高分光效率，要求分光晶体不仅能分光，而且还能使衍射的X射线聚焦，为此，常接受弯曲分光系统，即把分光晶体作适当的弹性弯曲，并使射线源、弯曲晶体表面和检测管口位于同一个圆周上（称罗兰圆或聚焦圆），就可以使分光晶体到处满足同样的衍射条件，整个晶体只收集一种波长的X射线，达到衍射束聚焦的目的，提高单一波长的X射线的收集效率。13 旋转式波谱仪旋转式波谱仪 旋转式波谱仪虽然结构简洁，但有旋转式波谱仪虽然结构简洁，但有三个缺点：三个缺点：a)a)其出射角其出射角 是变更的

13、，若是变更的，若2 2 11，则出射角为，则出射角为22的的x x射线穿透路程射线穿透路程比较长，其强度就低，计算时须增加比较长，其强度就低，计算时须增加修正系数，比较麻烦；修正系数，比较麻烦；b)X b)X射线出射线出射窗口要设计得很射线出射线出射窗口要设计得很大；大；c)c)出射角出射角越小，越小，X X射线接受效率越射线接受效率越低。低。14 直进式波谱仪直进式波谱仪 特点是特点是X X射线出射角射线出射角固定不变，弥固定不变，弥补了旋转式波谱仪的缺点。因此，虽补了旋转式波谱仪的缺点。因此，虽然在结构上比较困难，但它是目前最然在结构上比较困难，但它是目前最常用的一种谱仪。弯晶在某一方向上

14、常用的一种谱仪。弯晶在某一方向上作直线运动并转动，探测器也随着运作直线运动并转动，探测器也随着运动。聚焦圆半径不变，圆心在以光源动。聚焦圆半径不变，圆心在以光源为中心的圆周上运动，光源、弯晶和为中心的圆周上运动，光源、弯晶和接收狭缝也都始终落在聚焦圆的圆周接收狭缝也都始终落在聚焦圆的圆周上。上。15 由光源至晶体的距离由光源至晶体的距离L(L(叫做谱仪长叫做谱仪长度度)与聚焦圆的半径有下列关系：与聚焦圆的半径有下列关系：L=2Rsin=R/d L=2Rsin=R/d 所以，对于给定的分光晶体，所以，对于给定的分光晶体，L L与与存在着简洁的线性关系。因此，只存在着简洁的线性关系。因此，只要读出

15、谱仪上的要读出谱仪上的L L值，就可干脆得到值，就可干脆得到值。值。16二、检测中常见的问题二、检测中常见的问题 1.试样的制备 X射线波谱分析所用的试样都是块状的，要求被分析表面尽可能平整，而且能够导电，任何试样表面的凹凸不平，都会造成对X射线有规则的吸取，影响X射线的测量强度。此外，样品表面的油污、锈蚀和氧化会增加对出射X射线的吸取作用;金相腐蚀也会造成假象或有选择地去掉一部分元素，影响定量分析的结果。因此，应重视所制备样品表面的原始状态，以免得出错误的分析结果。17 依据上述要求，正确的制样方法如下:为了把试样表面磨平，可以用细金刚砂代替氧化铝粉作抛光剂，这样可以得到更平的表面。试样表面

16、经抛光后应充分清洗，不使抛光剂留在表面，最好用超声波清洗。假如试样表面要经过金相腐蚀后才能确定被分析部位，则可以接受浅腐蚀以确定分析位置，再在其四周打上显微硬度作为标记，然后抛掉腐蚀层，再进行分析。对易氧化样品，制备好后应刚好分析，不宜在空气中放置过久。对于导电试样，假如样品的尺寸过小，则可把它用镶嵌材料压成金相试块，再对被分析表面磨光。所接受的镶嵌材料应具有良好的导电性和确定的硬度。对于非导体的样品，须要在其表面喷上一层碳、铝、铬、金等导电膜。18 2.分析晶体的选择 依据被分析元素的范围，选用最合适的分析晶体，一般来说，选择其d值接近待测试样波长的分析晶体，这样衍射效率高、辨别本事好且峰背

17、比值大。3.加速电压的选择 为了从试样表面上激发物质所包含元素的特征X射线谱，要求电子探针的加速电压大于物质所包含元素的临界激发电压。当分析含量极微的元素时，应接受较高的加速电压以提高分析的灵敏度。19三、分析方法三、分析方法 X射线显微分析有定性分析和定量分析，定性分析是检测样品有哪些元素以及样品内元素的分布状况，定量分析是计算样品内各元素的含量。定量分析是在定性分析的基础上，运用确定的数学和物理模型，经过大量的计算而得出结果。20 1.定性分析 (1)点分析 将电子探针照射在样品的某一微区或特定点上，对该点作元素的定性和定量分析，即为点分析。(2)线分析 当电子束在试样某区域内沿一条直线作

18、缓慢扫描的同时，记录其X射线的强度(它与元素的浓度成正比)分布，就可以获得元素的线分布曲线。(3)面分析 当电子束在试样表面的某面积上作光栅状扫描的同时，记录该元素的特征X射线的出现状况。21被分析的选区尺寸可以小到被分析的选区尺寸可以小到1 1 mm22 左图为对某夹杂物做的线分析。依据对元素Fe,AI,Ca等的分析结果，可以确定该夹杂物为钙铝酸盐。23 凡含有待测元素凡含有待测元素的试样点均有信号的试样点均有信号输出，相应在显像输出，相应在显像管的荧光屏上出现管的荧光屏上出现一个亮点一个亮点;反之，反之，凡不含有该元素的凡不含有该元素的试样点，由于无信试样点，由于无信号输出，相应在显号输出

19、，相应在显像管的荧光屏上不像管的荧光屏上不出现亮点。因此，出现亮点。因此，在荧光屏上亮点的在荧光屏上亮点的分布就是代表该元分布就是代表该元素的面分布。素的面分布。24 2.定量分析 (1)选择合适的分析线。在波谱已经进行注释的分析基础上，考虑选用强度较高和不受干扰的谱线作为元素定量分析的分析线。选择最佳的工作条件，解除干扰线对分析线附加强度的影响，以便尽可能降低干扰线的强度而提高分析线强度。(2)峰值强度的确定。因为所测得特征X射线的强度近似与该元素的浓度成正比，故作为定量分析的基本试验数据，首先要确定分析线的峰值强度。要获得分析线的纯净峰值强度，必需扣除干扰线的强度影响以及本底强度。25 (

20、3)K比率和修正系数Pi的确定。目前在X射线波谱定量分析中，通常接受ZAF法算元素浓度，只需把测得的纯净峰值强度数据和试验条件输入到计算机中，就可以通过ZAF分析程序计算出被分析元素的浓度，一般均能得到较好的定量分析结果，所得元素浓度的结果同真实浓度差异约2%-5%左右。26X X射线能谱分析射线能谱分析一、能谱仪的基本原理和分析特点一、能谱仪的基本原理和分析特点 1.1.原理原理 利用多道脉冲高度分析器把试样所产生利用多道脉冲高度分析器把试样所产生的的X X射线谱按能量的大小依次排列成特征峰射线谱按能量的大小依次排列成特征峰谱，依据每一种特峰所对应的能量鉴定化谱，依据每一种特峰所对应的能量鉴

21、定化学元素。学元素。27 2.分析特点 干脆用固体检测器对X射线能谱进行检测，不须要经过分析晶体的衍射。(1)计数率不因衍射而损失，而且接收角很大，接收效率在X射线波长(或X射线光子的能量)范围内近乎100%。(2)可以从试样表面较大区域或粗糙表面上收集从试样上所激发出的X射线光子。(3)可以同时分析多种元素，分析速度快，适宜做快速定性和定点分析。28X X射线能谱仪工作原理示意图射线能谱仪工作原理示意图29 Si(Li)探测器探头结构示意图 能谱仪一般都是作为SEM或TEM的附件运用的，除与主机共用部分(电子光学系统、真空系统、电源系统)外，X射线探测器、多道脉冲高度分析器是它的主要部件。3

22、0为降低电子线路中的噪音及防止探头中为降低电子线路中的噪音及防止探头中LiLi原子的原子的迁移，探头与场效应晶体管干脆紧贴在一起，并迁移，探头与场效应晶体管干脆紧贴在一起，并放在由液氮限制的放在由液氮限制的100K100K的低温恒温器中。的低温恒温器中。由于探头处于低温，表面简洁结露污染，故需放由于探头处于低温，表面简洁结露污染，故需放在较高的真空中，并用薄窗将它与样品室隔开。在较高的真空中，并用薄窗将它与样品室隔开。但窗口用材料干脆影响但窗口用材料干脆影响EDSEDS所能分析元素的范围，所能分析元素的范围，能谱仪探头一般带有铍能谱仪探头一般带有铍(Be)(Be)窗，铍窗厚度约为窗，铍窗厚度约

23、为7-7-8m8m，它对超轻元素的，它对超轻元素的X X射线吸取极为严峻，致使射线吸取极为严峻，致使这些元素无法被检测到。因而，带铍窗的这些元素无法被检测到。因而，带铍窗的Si(Li)Si(Li)探头只能检测探头只能检测Na(Z=11)Na(Z=11)以上的元素。以上的元素。2020世纪世纪8080年年头，推向市场的新型有机超薄窗，对头，推向市场的新型有机超薄窗，对X X射线能量的射线能量的吸取微小，使吸取微小，使Si(Li)Si(Li)探头可检测探头可检测4 Be-92U4 Be-92U全部全部元素，结束了有窗能谱仪不能检测轻元素、超轻元素，结束了有窗能谱仪不能检测轻元素、超轻元素的历史，使

24、元素的历史，使EDSEDS的应用更广泛。的应用更广泛。31X X射线能谱仪的特点射线能谱仪的特点1.1.能谱仪的主要优点能谱仪的主要优点 (1)(1)分析速度快分析速度快:能谱仪可以瞬时接收和检测全能谱仪可以瞬时接收和检测全部不同能量的部不同能量的X X射线光子信号，故可在几分钟内分射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的全部元素析和确定样品中含有的全部元素(Be(Be窗窗:11 Na-92:11 Na-92 U U，超薄窗，超薄窗:4 Be-92 U):4 Be-92 U)。(2)(2)灵敏度高灵敏度高:X:X射线收集立体角大，由于能谱仪射线收集立体角大，由于能谱仪中中Si(Li)

25、Si(Li)探头不接受聚焦方式，不受聚焦圆的限探头不接受聚焦方式，不受聚焦圆的限制，探头可以靠近试样放置，信号无需经过晶体制，探头可以靠近试样放置，信号无需经过晶体衍射，其强度几乎没有损失，所以灵敏度高。此衍射，其强度几乎没有损失，所以灵敏度高。此外，能谱仪可在低入射电子束流外，能谱仪可在低入射电子束流(10-11 A)(10-11 A)条件下条件下工作，这有利于提高分析的空间辨别率。工作，这有利于提高分析的空间辨别率。32 (3)(3)谱线重复性好谱线重复性好:由于能谱仪没有运动部由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好

26、且不存在失焦问题，线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析。适合于比较粗糙表面的分析。33 2.能谱仪的主要缺点 (1)能量辨别率低、峰背比低。EDS的能量辨别率在130eV左右，这比WDS的能量辨别率(5eV)低得多，谱线的重叠现象严峻，因此，EDS辨别具有相近能量的特征x射线的实力差。由于能谱仪的探头干脆对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也同时检测到，从而使得Si(Li)检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，因而峰背比低，使EDS所能检测的元素的最低浓度是WDS的10倍。34 (2)工作条件要求严格:Si(Li)探头必需保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内的锂原子会扩散、迁移，导致探头功能下降甚至失效。3536