纯水系统技术手册上课件.ppt

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1、純水系統技術手冊 Facility 廠務部廠務部东莞万士达液晶东莞万士达液晶显示器有限公司显示器有限公司純水系統常用水質名詞解釋1.總溶解固體(Total Dissolved Solids，簡稱T.D.S)：指水中溶解的無機物和有機物的總量，使用單位為ppm，或毫克/公升(mg/l)。總溶解固體是測量進水和產水水質最方便快速的方法，而且它和滲透壓及離子強度有密切的關係，因此是很重要的水質項目。2.導電度與比電阻值(Conductivity and Resistivity)：導電度與電阻值均用來表示水中導電物質的多寡。導電度的單位是Microsiemens/cm，比電阻值的表示單位是ohms-c

2、m。導電度與比電阻兩者互為倒數。一般處理水的導電度較高，因此水質可以用導電度來表示；至於純水，尤其是超純水，由於導電度極低，因此以比電阻值來表示較方便。3.鹼度（Alkalinity)：鹼度是指水中可以和酸中和之成分的含量，主要成分為氫氧根(OH-)，碳酸根(CO3,)及碳酸氫根(HCO3-)，由於碳酸鈣是最主要的結垢來源，因此分析水中的鹼度對結垢預測是非常重要的。4.硬度(Hardness)：硬度最主要來源為鈣和鎂，因此在水質分析上鈣硬度和鎂硬度兩者的總和稱為總硬度，常用的硬度單位為ppm as CaCO3，硬度成分依能否以加熱方式去除而被分為永久硬度和暫時硬度，永久硬度是指鈣，鎂的氯化物、

3、矽酸鹽和硫酸鹽等，硬度成分在水被加熱的過程中不會沉澱下來，暫時硬度主要係指碳酸鈣，這些成分在加熱時會結晶析出形成沉澱物。5.酸鹼值(pH Value)：酸鹼值是溶液中酸或鹼濃度的表示法，其定義為水中氫離子濃度的負對數值，在25，中性水的酸鹼值為7，7以上至14為鹼性，7以下至0為酸性。6.濁度(Turbidity)：濁度指水中引起光散射之懸浮顆粒的量；懸浮顆粒包括黏土(Clay)20m size Particle)(Removed TOC in water)(Most Part Ionic Exchange)TOC:Total Organic CarbonNaClOHCl PACNaClOHC

4、l NaOHMAKE UP SYSTEM FLOW DIAGRAMMAKE UP SYSTEM FLOW DIAGRAMH.E.U.V.SFROROTankSB-PN2DegasifierFrom Pretreatment SystemTo Polishing SystemNote:U.V.:Ultraviolet LampSF:Safety Filter(10m pore size)RO:Reversed OsmosisSB-P:Strata Bed Polisher Ion Exchanger(Removed TOC)(Removed DO)DO:Dissolved Oxide(T=241

5、)(Removed 10 m size particle)(To Decompose Bacteria)PFPF:Post Filter(1m pore size)(Removed 1 m size particle)(Ionic Exchange)HCLNaOHPOLISHING SYSTEM FLOW DIAGRAMPOLISHING SYSTEM FLOW DIAGRAMH.E.U.V.CPUFH.E.U.V.CPMFFABFrom Make up SystemNote:CP:Cartridge Polisher Ion ExchangerUF:Ultra Filter(0.1m por

6、e size)MF:Micro Filter(0.1m pore size)(T=231)(T=231)(Ionic Exchange)(Ionic Exchange)(Removed 0.1 m size particle)(Removed 0.1 m size particle)(To Decompose Bacteria)(To Decompose Bacteria)UPW Tank(UPWR)(DIWR)(DIWS)(UPWS)(UPWN)(DIWN)UPWS(or DIWS):UPW(or DIW)SupplyUPWR(or DIWR):UPW(or DIW)Return(Avoid

7、able increase Bacteria)UPWN(or DIWN):UPW(or DIW)Net=UPWS-UPWR(or DIWS-DIWR)純 水 設 備 單 元 目 的MMF 自動砂濾機 去 除 水 中 較 大 之 顆 粒ACF 多層活性碳 除氯及吸附有機物增加RO壽命自動軟水機 去除水中陽離子 避免 RO結垢 2B3T系統 去除水中離子降低導電度RO系統 去除水中鹽類、有機物 及顆粒 達到水純化減低 MB or EDI負荷MB混床系統 去除水中剩餘之離子 穩定水質EDI系統 去除水中剩餘之離子 穩定水質UV殺菌機 殺死水中細菌1m 過濾器 去 除 水 中 較 小 之 顆 粒Pli

8、sher Resign 穩定水質 1618M-CM 250.2 m 過濾器 過濾細菌及0.2 m微細顆粒UF SYSTEM 過濾細菌及0.05m微細顆粒 管路Loop的设计 根据整个FAB各User分布，UPW通过Loop送到各区域。管径应根据各区域用量进行计算。每个Loop和机台的Take-off点都必须设supply和return。整各Loop的循环水量必须大于20%，防止细菌的滋生。Loop供水和回水应安装流量计，两者之差即为该区域的用量。UF出口压力为0.50.6Mpa，Loop压力通过机械压力调节阀开度来控制。Loop供应压力通常控制在0.4Mpa左右。每个Loop的回水应设电阻率仪

9、，Loop回水的电阻率小于15M.cm切去前处理。回水总管设TOC仪，如有回水出现异常状况可手动切去前处理或废水处理系统。金属管材 C.S-碳钢管 SGP-热镀锌钢管 S.S-不锈钢管 C.S/R.L-碳钢衬胶管工业纯水制备系统中常用管材非金属管材PVC-聚氯乙烯UPVC-改性聚氯乙烯CPVC-氯化聚氯乙烯PVDF-聚偏氟乙烯PP聚丙烯PE聚乙烯PFA-偏聚二氟乙烯纯水系统设计中管材的选用预处理系统 SGP镀锌管道 C.S/R.L钢衬胶管道 UPVC管道 S.S不锈钢管道初级处理系统(一级除盐)C.S/R.L钢衬胶管道 UPVC管道 CPVC管道 PP管道 纯水系统设计中管材的选用终端处理系统

10、(超纯水)CPVC管道 PP管道 PVDF管道 PFA管道 SS316L不锈钢管道废水排放系统 PVC管道(含有腐蚀性液体)HT铸铁管道 C.S碳钢管道UPVC与CPVC管道在使用中的区别材料基体基本是一致的UPVC 管道内壁为一般光滑，常用于普通纯水系统中CPVC管道内壁为特殊处理，非常光滑，常用于纯水指标有Particle要求的系统中UPVC管道在生产完成后直接进行包装出厂CPVC管道在生产完成后进行洁净处理封装出厂 纯水处理系统中管道的设计常用管道流速 介质管道种类允许流速（m/s）介质管道种类允许流速（m/s）盐溶液 压力管12.4稀碱液12污水0.9 水离心水泵进水管0.51浓酸0.51离心水泵出水管及压力水管1.53稀酸12虹吸管0.81浓碱液0.51Slide 2007 by Hsieh,Pao-NuanQ&A Company Confidential Covered by NDAAuthor:WINTEK/MKT Page:32Date:2023/1/8 File:File Name.ppt謝謝！Company Confidential Covered by NDAAuthor:WINTEK/MKT Page:33Date:2023/1/8 File:File Name.ppt/10/2933.