光学薄膜基础知识.pptx
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1、1/120光学薄膜器件光学薄膜器件第1页/共120页2/1201、光学薄膜的发展历史 人类最早发现的五光十色的肥皂泡;水面上彩色斑烂的油膜;两玻璃片间的空气层中常呈现出色彩鲜艳的光环;所有这些现象早在十七世纪就引起了许多自然科学家的注意,他们各自部提出了一些初步解释,但均不令人满意;1801年托马斯 杨干涉实验结果以及菲涅耳对此进一步发扬光大以后,上述现象才彻底为人们弄清,物理光学的基础才从此建立起来今天我们可以说,整部薄膜光学的物理依据就是光的干涉。第2页/共120页3/120夫琅和费早在1827年制成了可以说是第一批减反射膜,他将经过精细地抛光的平面玻璃一半放在浓硫酸或浓硝酸中腐蚀。将玻璃
2、上的酸液清洗干净之后发现,经酸腐蚀的表面所反射的光强远低于另一半表面的反射光强,即酸经过的那部分玻璃表面失掉了某种成分,形成薄薄一层折射率比玻璃基底折射率低的失泽层,不过玻璃还未遭刻蚀;“因为其适时光仍和另一半表面一样(实际上更高),以致在透射光中仔细检查也不能找出它们的分界线来,”经过硫酸或硝酸的这种处理之后,有些牌号的玻璃表面呈现美丽鲜艳的色彩;使光沿各种不同的角度入射,则色彩婉如肥皂泡一样变幻无穷。第3页/共120页4/1201886年瑞利在英国皇家协会报告说:“失泽”的冕玻璃平板,其反射比刚抛光更低原因是玻璃形成了薄薄的一层膜。1891年丹尼斯.泰勒(Dennis Taylor)在它的
3、文章中写到,在使用几年后的普通物镜的火石玻璃透镜上“失泽”现象是十分明显的。我们很高兴的是,能够使这种火石玻璃的拥有者放心,通常用怀疑眼光看待的这层使玻璃“失泽”的薄膜,却正是观测者的“挚友”,因为它增加了物镜的透射率。第4页/共120页5/120事实上,泰勒发展了一种用化学侵蚀产生“失泽”而制作化学减反膜的方法。目前制备光学应用的薄膜的主要方法是真空蒸发法和溅射法,后者在十九世纪中叶就发现了,而前者可追朔到二十世纪初。但在1930年以前,它们不能作为实用的镀膜方法,因为没有获得高真空的真正适用的抽气机,直到1930年出现了油扩散泵机械泵抽气系统以后,制造实用的真空镀膜机才成为可能。第5页/共
4、120页6/120三十年代中期德国的鲍尔和美国的斯特朗先后用真空蒸发方法制备了单层减反射膜,这种简单的减反射膜至今在一般的光学装置上还被大量地应用。折射率为1.52的玻璃敷有折射率为1.38的氟化镁薄膜后,单面的反射损失可从4.2%减少到1.5%左右,例如7块平板系统镀膜后,在参考波长上总的透射率可近似地估计为:T(0.97)780.7%未镀膜:T=(0.92)7=55.7%这比没有经过镀膜处理的系统提高了约25的透射能量第6页/共120页7/12020世纪中期:主要是在薄膜设备的改进与镀膜产品种类以及质量的提高得到了发展,形成了典型的减反射、高反射、滤光片等光学薄膜器件;20世纪末21世纪初
5、光电子技术得到了飞速发展,光学薄膜器件向性能要求和技术难度更高、应用范围和知识领域更广、器件种类和需求数量更多的方向迅速发展;随着数码相机、数码摄像机、背投电视以及光纤通信的发展,光学薄膜产品需求数量巨大,特对是对偏振分束膜、消偏振分束膜、超窄带滤光片、超宽带截止滤光片等复杂膜系的要求越来越高;第7页/共120页8/120干涉现象是薄膜光学的起源1801年托马斯.杨干涉实验是其理论基础夫琅和费在1827年制成了第一批减反射膜1873年,麦克斯韦的巨著论光和磁,进一步奠定了薄膜光学的理论基础1930年油扩散泵的出现促进了光学薄膜的发展各种制备技术是光学薄膜发展的保障几乎所有的光学系统、光电系统和
6、光电仪器都离不开光学薄膜的应用,而且到目前为止,也没有发现有别的技术可以取代光学薄膜;第8页/共120页9/120薄膜光学发展的三大推动力20世纪60年代的发明的激光器20世纪末光通信波分复用技术(DWDM滤光片)今天,新型微结构功能薄膜的出现给光学与光电子薄膜技术注入新的生命力新概念、新材料、新设计、新方法、新应用第9页/共120页10/1202、什么是薄膜光学?薄膜可分成两大部分,第一部分是光学薄膜,第二部分是光学波导及其相应器件;前者的特点是光横穿过薄膜而进行传播;后者的特征是光沿着平行薄膜界面的方向在膜内传播,对于光学薄膜,在一块基片上淀积五、六十层膜并非罕见,涂镀工艺是比较成熟的;而
7、对光学波导,则膜层层数一般不多,通常仅用一层膜,其镀制工艺仍处在发展初期。本课程讲的是第一种情况。第10页/共120页11/120Optical coatings:一般来讲薄膜敷于光学玻璃、塑料、晶体等基底上;Optical layers:光学薄膜的一个特点是分层结构;Optical thin films:通常意义的光学薄膜;Optical layers:光学薄膜的一个特点是分层结构;第11页/共120页12/120 光在通过分层媒质时,来自不同界面的反射光、透射光在光的入射及反射方向产生光的干涉现象。rtn厚度为波长量级n能够产生干涉作用n,drt第12页/共120页13/120薄膜光学的研
8、究对象薄膜光学是物理光学的一个重要分支它研究的对象是膜层对光的反射、透射、吸收以及位相特性、偏振效应等;简而言之,它主要研究光在分层媒质中的 传播规律性。第13页/共120页14/120薄膜光学的实质n光在通过分层媒质时,来自不同界面的反射光、透射光在光的入射及反射方向产生光的干涉现象;n人们正是利用这种干涉现象,通过改变材料及其厚度等特性来人为的控制光的干涉,根据需要来实现光能的重新分配。第14页/共120页15/120光学薄膜在光学系统中的作用:提高光学效率、减少杂光。如高效减反射膜、高反射膜。实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。通
9、过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带通滤光片、长波通、短波通滤光片。实现某些特定功能。如ITO透明导电膜、保护膜等 第15页/共120页16/1203、与光学薄膜有关的产业?镀膜眼镜幕墙玻璃滤光片ITO膜车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片光通信领域:DWDM、光纤薄膜器件红外膜投影显示第16页/共120页17/1204、光学 是关于电磁辐射的产生、传播、接收和显示以及与物质相互作用的应用型科学。第17页/共120页18/120电磁波谱可用统一的电磁理论处理各种波长的电磁现象可用统一的电磁理论处理各种波长的电磁现象1 10-10m可见光:可见光:400700nm第18页/共120页19/120
10、O O法线法线:NN:NN 法线垂直水法线垂直水面面折射角折射角:折射角折射角 入射角入射角四线共面四线共面,二角相等二角相等.第19页/共120页20/120全反射全反射光纤光纤(光导纤维光导纤维)的基本原理的基本原理第20页/共120页21/120 人在水上看到人在水上看到物体的像,比实际物体的像,比实际物体位置偏上,感物体位置偏上,感觉水比较浅。觉水比较浅。第21页/共120页22/120第22页/共120页23/120有大气,看到太阳更早没有大气,将迟一些看到太阳第23页/共120页24/120海市海市蜃楼蜃楼光经过不均匀的大气时发生折射,光经过不均匀的大气时发生折射,形成的虚像。形成
11、的虚像。第24页/共120页25/120海市蜃楼 第25页/共120页26/120看到的水中部分看到的水中部分应向上弯折应向上弯折违背了光的折射违背了光的折射规律规律第26页/共120页27/120不经风雨,怎能见到彩虹!只闻其声,不见其人只闻其声,不见其人衍射是波特有的性质!衍射是波特有的性质!第27页/共120页28/120远古对光学的初步研究中国:中国:墨经墨经光学光学 知识的最早记录知识的最早记录 光的直线传播小孔成像、平面镜、凹 面镜、凸球面镜中物像关系公元前468376年 第28页/共120页29/120国外:国外:光学光学欧几里德欧几里德 比比墨经墨经 迟迟100年年 平面镜成像
12、平面镜成像 反射角反射角=入射角入射角毕达哥拉斯、德漠克利特、柏拉毕达哥拉斯、德漠克利特、柏拉图、亚里士多德图、亚里士多德十七世纪以前十七世纪以前罗马帝国的灭罗马帝国的灭亡亡黑暗时代黑暗时代培根培根暗示过望远镜的可能性。暗示过望远镜的可能性。Euclid,公元前330275年 第29页/共120页30/120十七世纪上半叶十七世纪上半叶1608年,荷兰人李普塞发明了第一架望远镜,年,荷兰人李普塞发明了第一架望远镜,显微镜显微镜天文学、航海、生物学、医学天文学、航海、生物学、医学1611年,法国人开普勒年,法国人开普勒 折光学折光学,1621年,荷兰人斯年,荷兰人斯涅耳涅耳,1630年,笛卡儿年
13、,笛卡儿折光学折光学折射定律折射定律1657年年,费马,费马反射和折射定律反射和折射定律 几何光学体系基本形成几何光学体系基本形成 几何光学的建立第30页/共120页31/1201672年,牛顿三棱镜色散试验,牛顿环(胡克)年,牛顿三棱镜色散试验,牛顿环(胡克)开创了光谱学的研究开创了光谱学的研究光学和物质结构研究的主要手段光学和物质结构研究的主要手段16681668年,反射式望远镜(牛顿),克服了折射式年,反射式望远镜(牛顿),克服了折射式 望远镜的缺点(色差)望远镜的缺点(色差)几何光学的建立第31页/共120页32/120微粒说和波动说的争论 微粒说牛顿光是由微粒组成的。光微粒遇到介质会
14、受到吸引 成功揭示了折射定律;光在介质中的速度比真空中快。不能解释肥皂泡(薄膜)的色条纹波动光学的建立牛顿 第32页/共120页33/120牛顿环的发现牛顿环的发现亮亮暗暗“透射性发作透射性发作”与与“反射性反射性发作发作”波动光学的建立为波动光学提供了为波动光学提供了重要手段重要手段第33页/共120页34/120波动说波动说胡克、惠更斯胡克、惠更斯 1690年,惠更斯出版年,惠更斯出版论光论光光是介质(以太)中传播的波。光是介质(以太)中传播的波。(惠更斯原理)(惠更斯原理)解释了反射定律,解释了折射解释了反射定律,解释了折射定律(假定光在介质中的传播定律(假定光在介质中的传播速度比空气中
15、更慢)速度比空气中更慢)双折射现象双折射现象惠更斯 直到十八世纪,微粒说占统治地位直到十八世纪,微粒说占统治地位第34页/共120页35/1201801年,托马斯年,托马斯杨杨双缝干涉双缝干涉波的干涉解释了双缝实验和薄膜颜波的干涉解释了双缝实验和薄膜颜色。色。提出了光是横波提出了光是横波偏振现象偏振现象1818年,法国人菲涅尔年,法国人菲涅尔小孔衍射小孔衍射-波动光学的缔造者波动光学的缔造者从波动说算出了条纹分布从波动说算出了条纹分布充实了惠更斯原理充实了惠更斯原理光是光是“绝对以太绝对以太”中的机械波中的机械波托马斯杨第35页/共120页36/1201845年,法拉第年,法拉第光的振动面在强
16、磁场中的旋转光的振动面在强磁场中的旋转1856年,韦伯年,韦伯电荷的电磁单位和静电单位的比值电荷的电磁单位和静电单位的比值=光在真空中的速光在真空中的速度度 将光与电磁现象联系起来将光与电磁现象联系起来波动光学的建立第36页/共120页37/1201865年,麦克斯韦年,麦克斯韦光的电磁理论光的电磁理论麦克斯韦方程麦克斯韦方程组组麦克斯韦1887年,赫兹发现了电磁波年,赫兹发现了电磁波 电磁光学建立电磁光学建立真空中:真空中:1832年年,法拉第猜想法拉第猜想:电磁作用可能以波的电磁作用可能以波的形式传播,而且光可形式传播,而且光可能就是一种电磁波动能就是一种电磁波动 第37页/共120页38
17、/120量子论和相对论的建立黑体辐射曲线黑体辐射黑体辐射能量随波长分布能量随波长分布1900年,普朗克的量子假说:年,普朗克的量子假说:某种频率光的能量是以某一最某种频率光的能量是以某一最小单位产生小单位产生成功解释了黑体辐射问成功解释了黑体辐射问题,开始了量子光学时题,开始了量子光学时期期普朗克第38页/共120页39/1201905年,爱因斯坦年,爱因斯坦光在辐射与吸收中均光在辐射与吸收中均以基本单位能量发生以基本单位能量发生光的波粒二象性光电效应、康普顿效应光电效应、康普顿效应光电效应爱因斯坦光同时具有波动和微粒两种特性光同时具有波动和微粒两种特性第39页/共120页40/120光的电磁
18、场描述第40页/共120页41/120第41页/共120页42/120第42页/共120页43/120第43页/共120页44/120第44页/共120页45/120第45页/共120页46/120第46页/共120页47/120第47页/共120页48/120第48页/共120页49/120光的波动方程第49页/共120页50/120第50页/共120页51/120第51页/共120页52/120第52页/共120页53/120第53页/共120页54/120第54页/共120页55/120第55页/共120页56/120第56页/共120页57/120振幅频率初相位光的电磁波描述表达式振幅
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