(精品)0.1-半导体物理基础知识.ppt
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1、半导体物理基础知识前言太阳能的利用太阳能的利用1、太阳能热的利用,如太阳能热水器、太阳能热水、太阳能热的利用,如太阳能热水器、太阳能热水发电。发电。2、太阳能直接发电即光伏技术。、太阳能直接发电即光伏技术。光伏产业链包括硅料、硅片、电池片、电池组件、光伏产业链包括硅料、硅片、电池片、电池组件、应用系统五个环节。上游为硅料、硅片环节;中游应用系统五个环节。上游为硅料、硅片环节;中游为电池片、电池组件环节;下游为应用系统环节。为电池片、电池组件环节;下游为应用系统环节。前言 硅料 单晶硅棒 切方 单晶硅片应用系统 组件 单晶电池片光伏产业链 1.1导体,绝缘体和半导体 物体物体的的导电能力,一般用
2、材料电阻率的大小来衡导电能力,一般用材料电阻率的大小来衡量。电阻率越大,说明这种材料的导电能力越弱量。电阻率越大,说明这种材料的导电能力越弱。下。下表给表给出以电阻率来区分导体,绝缘体和半导体的大致出以电阻率来区分导体,绝缘体和半导体的大致范围。范围。101010-4101010-4 CM绝缘体绝缘体半半导体导体导体导体物体物体电阻率电阻率1.2半导体材料硅的晶体结构组成物质的最基本的单元是原子,原子又由原子核组成物质的最基本的单元是原子,原子又由原子核和电子组成。和电子组成。原子最外原子最外层的电子称为价电子,有几个价电子就称层的电子称为价电子,有几个价电子就称它为几族元素。它为几族元素。若
3、原子失去一个若原子失去一个电子,称这个原子为正离子,若原电子,称这个原子为正离子,若原子得到一个电子,则成为一个带负电的负离子。子得到一个电子,则成为一个带负电的负离子。原子变成离子的过程称为电离。原子变成离子的过程称为电离。1.2半导体材料硅的晶体结构几种常几种常见半导体元素见半导体元素的原子结构的原子结构硅太阳硅太阳电池生产中常用电池生产中常用的硅的硅(SiSi),磷,磷(P)(P),硼,硼(B)(B)元素元素的原子的原子结构结构模型如下图模型如下图所所示示第三第三层层4个个电子电子第二第二层层8个个电子电子第一第一层层2个个电子电子Si+14P+15B+5最外最外层层5个个电子电子最外最
4、外层层3个个电子电子SiPB1.2半导体材料硅的晶体结构 晶体晶体结构结构固体可分固体可分为晶体和非晶体两大类。原子无规则排列为晶体和非晶体两大类。原子无规则排列所组成的物质为非晶体。而所组成的物质为非晶体。而晶体则是由原子规则排晶体则是由原子规则排列所组成的物质。列所组成的物质。晶体有确定的熔点,而非晶体没晶体有确定的熔点,而非晶体没有确定熔点,加热有确定熔点,加热时在某一温度范围内逐渐软化。时在某一温度范围内逐渐软化。单晶单晶和多晶和多晶在整个晶体内,原子都是周期性的在整个晶体内,原子都是周期性的规则排列,称之规则排列,称之为单晶。由许多取向不同的单晶颗粒杂乱地排列在为单晶。由许多取向不同
5、的单晶颗粒杂乱地排列在一起的固体称为多晶。一起的固体称为多晶。1.2半导体材料硅的晶体结构硅硅晶体内的共价晶体内的共价键键硅晶体的特点是原子之硅晶体的特点是原子之间靠共有电子对连接在一间靠共有电子对连接在一起。硅原子的起。硅原子的4个价个价电子和它相邻的电子和它相邻的4个原子个原子组成组成4对共有电子对。这种共有电子对就称为对共有电子对。这种共有电子对就称为“共价键共价键”。如下图。如下图所所示。示。1.2半导体材料硅的晶体结构硅硅晶体的金晶体的金刚石结构刚石结构晶体这种晶体这种周期性的周期性的,有,有规则的,可无限重复排列的规则的,可无限重复排列的结构叫做结构叫做晶体格子,简称晶格,最小的晶
6、格叫晶胞晶体格子,简称晶格,最小的晶格叫晶胞。下图下图表示表示一些重要的一些重要的晶胞。晶胞。(共有共有1414种晶格结构种晶格结构)(a)简单简单立方立方(Po)(b)体体心立方心立方(Na、W)(c)面面心立方心立方(Al、Au)正四面正四面实体结构实体结构金金钢石结构钢石结构1.2半导体材料硅的晶体结构金金刚石刚石结构是一种复式格子,它是两个面心结构是一种复式格子,它是两个面心立方晶格沿对角线方向上移立方晶格沿对角线方向上移1/4互相套构互相套构而成而成见见下下图图。为了为了简便明了,以后分析问题时只要简便明了,以后分析问题时只要采用前采用前面面所所示的平面示的平面结构示意图即结构示意图
7、即可。可。1.2半导体材料硅的晶体结构 晶面晶面和晶向和晶向晶体中的原子可以看成是分布在一系列平行而等距的晶体中的原子可以看成是分布在一系列平行而等距的平面平面上上,这些平面就称为晶面。每个晶面的垂直方向称为晶向这些平面就称为晶面。每个晶面的垂直方向称为晶向。晶面的法线所在方向叫晶向,垂直于晶面。下图晶面的法线所在方向叫晶向,垂直于晶面。下图是是几种常几种常用到的晶面和晶向。用到的晶面和晶向。(100晶面晶面)(110晶面晶面)(111晶面晶面)1.2半导体材料硅的晶体结构 原子原子密排面和解理面:密排面和解理面:在晶体的不同面上,在晶体的不同面上,原子排列的原子排列的疏密程度是疏密程度是不同
8、的。若不同的。若将原子看成将原子看成是一个个硬是一个个硬的球体,它的球体,它们在一个平面上最密们在一个平面上最密集的排列方式集的排列方式将如下将如下所所示,按照示,按照这样方式排列的晶面就这样方式排列的晶面就称为原子密排面。称为原子密排面。1.2半导体材料硅的晶体结构比比较较简单的一种包含原子密排面的晶格是面心立简单的一种包含原子密排面的晶格是面心立方晶格。而金刚石晶格又是两个面心立方晶格套在一方晶格。而金刚石晶格又是两个面心立方晶格套在一起,起,相互之间,沿着相互之间,沿着晶胞体对角线方向平移晶胞体对角线方向平移1/4而构而构成的。我成的。我们来看面心立方晶格中的原子密排面。按照们来看面心立
9、方晶格中的原子密排面。按照硬球模型可以硬球模型可以区分在区分在(100)(110)(111)几几个晶个晶 面上原面上原子排列的情况子排列的情况,如下页,如下页图图所所示。示。金金钢石钢石晶格是由面心晶格构成,所以晶格是由面心晶格构成,所以它的它的(111)晶面晶面也是原子密排面,它的特点是,在晶面内原子密也是原子密排面,它的特点是,在晶面内原子密集、集、结合力强,在晶面之间距离较大,结合力强,在晶面之间距离较大,结合薄弱。这结合薄弱。这种晶体结构上的各向异性产生种晶体结构上的各向异性产生以下以下性质:性质:1、机械性能的各向异性机械性能的各向异性:由于由于(111)密排面本身密排面本身结合牢固
10、而面与结合牢固而面与面相互间结合脆弱,在外力作用下,晶体很容易沿着面相互间结合脆弱,在外力作用下,晶体很容易沿着(111)晶晶面劈裂,晶体中面劈裂,晶体中这种易劈裂的晶面称为晶体的解理面。这种易劈裂的晶面称为晶体的解理面。2、溶解和生长速率的各向异性溶解和生长速率的各向异性:由于由于(111)密排面原子密排面原子结合牢固结合牢固,化学腐蚀就比较困难和缓慢,而化学腐蚀就比较困难和缓慢,而(100)面原子排列密度比面原子排列密度比(111)面低。所以面低。所以(100)面比面比(111)面的腐面的腐蚀速度快,选择合适蚀速度快,选择合适的腐蚀液和腐蚀温度,的腐蚀液和腐蚀温度,(100)面腐面腐蚀速度
11、比蚀速度比(111)面大的多,面大的多,因此,用因此,用(100)面硅片采用面硅片采用这种各向异性腐蚀的结果,可以使这种各向异性腐蚀的结果,可以使硅片表面产生许多密布表面为硅片表面产生许多密布表面为(111)面的金字塔型四面方面的金字塔型四面方锥体,锥体,形成绒面状的硅表面。形成绒面状的硅表面。生长速率最慢的的晶向是垂直于密排面的生长速率最慢的的晶向是垂直于密排面的111晶向。而晶向。而100晶向是生长速率最快的。晶向是生长速率最快的。1.2半导体材料硅的晶体结构1.2半导体材料硅的晶体结构(100)(110)(111)从下页从下页图图中可见,晶体中电子轨道的能级分成由低到高中可见,晶体中电子
12、轨道的能级分成由低到高的的许多组,分别许多组,分别和各原子能级相对应,每一组都包含着大量和各原子能级相对应,每一组都包含着大量的能量很接近的能级。这样一组密集的能级看上去象一条带的能量很接近的能级。这样一组密集的能级看上去象一条带子,所以被称之为能带。能带之间的间隙叫做禁带子,所以被称之为能带。能带之间的间隙叫做禁带。未未被被电电子填满的能带称为导带,已被电子填满的能带称为子填满的能带称为导带,已被电子填满的能带称为满带。满带。导体导体、半导体,绝缘体导电性质的差异可以用它们的能、半导体,绝缘体导电性质的差异可以用它们的能带图的不同来加以带图的不同来加以说明。说明。1.3固体的能带理论绝缘体绝
13、缘体半半导体导体导体导体EcEvEgEg导导带带禁禁带带价价带带图1.3-31.3固体的能带理论1.4半导体的导电特性半半导体导体之所以得到广泛的应用,是因为它存在着之所以得到广泛的应用,是因为它存在着一些导体和绝缘体所没有的独特性能。一些导体和绝缘体所没有的独特性能。1、导电导电能力随温度灵敏变化能力随温度灵敏变化导体,绝缘体的电阻率随温度导体,绝缘体的电阻率随温度变化都很小变化都很小。而半而半导体则导体则不一样,温度每升高或降低不一样,温度每升高或降低1,其其电阻就变化百分之电阻就变化百分之几,甚至几十,当温度变化几十度时几,甚至几十,当温度变化几十度时,电阻率变化几千,电阻率变化几千,几
14、万倍,而温度为绝对零度(几万倍,而温度为绝对零度(-273)时,则成为绝时,则成为绝缘体。缘体。1.4半导体的导电特性2、导电能力随光照显著改变导电能力随光照显著改变当光当光线照射到某些半导体上时,它们的导电能力就线照射到某些半导体上时,它们的导电能力就会变得很强,没有光线时,它的导电能力又会变得会变得很强,没有光线时,它的导电能力又会变得很弱。很弱。3、杂质的显著影响杂质的显著影响在在纯净的半导体材料中,适当掺入微量杂质,导电纯净的半导体材料中,适当掺入微量杂质,导电能力会有上百万倍的增加。这是最特殊的独特性能。能力会有上百万倍的增加。这是最特殊的独特性能。4、其他特性其他特性还有温差还有温
15、差电效应,霍尔效应,发光效应,光伏效应,电效应,霍尔效应,发光效应,光伏效应,激光等性能。激光等性能。1.5半导体的纯度半半导体导体有有如此多如此多的独特性能,是建立在半导体材的独特性能,是建立在半导体材料本身纯度很高的基础上的。半导体的纯度常用几个料本身纯度很高的基础上的。半导体的纯度常用几个“9”来表示。比如硅材料的来表示。比如硅材料的纯度达到纯度达到6个个“9”,就,就是是说硅的纯度达到说硅的纯度达到99.9999%,其余,其余0.0001%(即即10-6)为为杂质总含量。半导体材料中的杂质杂质总含量。半导体材料中的杂质含量通常含量通常还以还以“PPb”与与“PPm”来表示。一个来表示。
16、一个PPb就是十就是十亿分之一亿分之一(10-9),一),一个个“PPm”就是百万分之一(就是百万分之一(10-6)。)。几种几种纯度表示法的相互纯度表示法的相互关系如下表关系如下表所列。所列。1=106ppm=109ppb1ppm=103ppb 1.6半导体的导电原理1、半半导体导体中的中的“电子电子”和和“空穴空穴”本征半导体即纯净本征半导体即纯净的半导体,在不受外界作用时,导的半导体,在不受外界作用时,导电能力很差。而在一定的温度或光照等作用下,晶体中的电能力很差。而在一定的温度或光照等作用下,晶体中的价电子有一部分可能会冲破共价键的束缚而成为一价电子有一部分可能会冲破共价键的束缚而成为
17、一个自由个自由电子,同时电子,同时形成一形成一个空位,称为个空位,称为“空穴空穴”。从能带图上看,。从能带图上看,就是电子离开了价带跃迁到导带,从而在价带中留下了空就是电子离开了价带跃迁到导带,从而在价带中留下了空穴,产生了一对电子和空穴穴,产生了一对电子和空穴。如下页图。如下页图所示。所示。通常通常将将这种只含有这种只含有“电子电子-空穴空穴”对的对的半导体半导体称为本征称为本征半导体。其中的电子和空穴浓度是相同的。半导体。其中的电子和空穴浓度是相同的。“本征本征”指只指只涉及半导体本身的特性。半导体就是靠着电子和空穴的移涉及半导体本身的特性。半导体就是靠着电子和空穴的移动来导电的动来导电的
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- 精品 0.1 半导体 物理 基础知识
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