第6章 光敏传感器.ppt
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1、第第6 6章章 光敏传感器光敏传感器1光敏传感器构成:光敏传感器构成:光源、光学通路、光电元件。光源、光学通路、光电元件。应用:应用:1 1、光量变化的非电量;、光量变化的非电量;2 2、能转换成光量变化的其他非电量。、能转换成光量变化的其他非电量。特点:特点:非接触、响应快、性能可靠。非接触、响应快、性能可靠。被测量被测量的变化的变化光信号光信号的变化的变化电信号电信号的变化的变化6.0 引引 言言什么是光敏传感器?什么是光敏传感器?2光敏传感器的测量方法可归纳为四种形式。光敏传感器的测量方法可归纳为四种形式。36.1 6.1 概概 述述6.1.1 光的特性光的特性光波是波长为光波是波长为1
2、0106nm的电磁波。的电磁波。1000,000 nm1000,000 nm10 nm10 nm780 nm780 nm380 nm380 nm可见光可见光可见光可见光红外光红外光红外光红外光紫外光紫外光紫外光紫外光性质:性质:光都具有反射、折射、散射、衍光都具有反射、折射、散射、衍射、干涉和吸收等性质。射、干涉和吸收等性质。46.1.2 光源(发光器件)光源(发光器件)1.白炽光源白炽光源最为普通的是最为普通的是用钨丝通电加热作为光辐射源。用钨丝通电加热作为光辐射源。一般白炽灯的辐射一般白炽灯的辐射光谱是连续的光谱是连续的。发光范围:发光范围:320 nm2500 nm320 nm2500
3、nm,所以任何光敏所以任何光敏元件都能和它配合接收到光信号。元件都能和它配合接收到光信号。特点特点:寿命短而且发热大、效率低、动态特性:寿命短而且发热大、效率低、动态特性差,但对接收光敏元件的光谱特性要求不高,差,但对接收光敏元件的光谱特性要求不高,是可取之处。是可取之处。52.气体放电光源气体放电光源利用电流通过气体产生发光现象制成的灯即利用电流通过气体产生发光现象制成的灯即气气体放电灯。体放电灯。它的光谱是它的光谱是不连续不连续的的,光谱与气体的种类及放电光谱与气体的种类及放电条件有关条件有关。改变气体的成分、压力、阴极材料和。改变气体的成分、压力、阴极材料和放电电流大小,可得到主要在某一
4、光谱范围的辐放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐射。射。汞灯、氢灯、钠灯、镉灯、氦灯是光谱仪器中常汞灯、氢灯、钠灯、镉灯、氦灯是光谱仪器中常用的光源,统称为用的光源,统称为光谱灯光谱灯6构成:由半导体构成:由半导体PNPN结构成。结构成。特点:工作电压低、响应速度快、寿命长、特点:工作电压低、响应速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。3.3.发光二极管(发光二极管(LEDLED)7R RU UNP+-UiD+_原理:原理:当加正向电压时当加正向电压时,势垒降低,电子由,势垒降低,电子由N N区注入到区注入到P P区,和区,和P P区里
5、的空穴复合;空穴则由区里的空穴复合;空穴则由P P区注入区注入到到N N区,和区,和N N区里的电子复合,这种电子空穴对区里的电子复合,这种电子空穴对的的复合同时伴随着光子的放出复合同时伴随着光子的放出,因而发光。,因而发光。8可供制作发光二极管的材料见下表:可供制作发光二极管的材料见下表:材料材料材料材料波长波长波长波长/nm/nm/nm/nm材料材料材料材料波长波长波长波长/nm/nm/nm/nmZnSZnSZnSZnS340340340340CuSe-ZnSeCuSe-ZnSeCuSe-ZnSeCuSe-ZnSe400400400400630630630630SiCSiCSiCSiC48
6、0480480480ZnZnZnZnx x x xCdCdCdCd1-x1-x1-x1-xTeTeTeTe590590590590830830830830GaPGaPGaPGaP565,680565,680565,680565,680GaAsGaAsGaAsGaAs1-x1-x1-x1-xP P P Px x x x550550550550900900900900GaAsGaAsGaAsGaAs900900900900InPInPInPInPx x x xAsAsAsAs1-x1-x1-x1-x9109109109103150315031503150InPInPInPInP9209209209
7、20InInInInx x x xGaGaGaGa1-x1-x1-x1-xAsAsAsAs8508508508501350135013501350 LEDLED材料材料9 发发光光二二极极管管的的光光谱谱特特性性如如图图所所示示。图图中中砷砷磷磷化化镓镓曲曲线线有有两两根根,这这是是因因为为其其材材质质成成分分稍稍有有差差异异而而得得到到不不同同的的峰峰值值波波长长 p p。除除峰峰值值波波长长 p p决决定定发发光光颜颜色色之之外外,峰峰的的宽宽度度(用用 描描述述)决决定定光的色彩纯度,光的色彩纯度,越小,其光色越纯。越小,其光色越纯。10发光二极管的光谱特性发光二极管的光谱特性0.20.
8、20.40.40.60.60.80.8 1.01.0 0 060060070070080080090090010001000GaAsPGaAsPp=670nmp=670nmp=670nmp=670nmp=655nmp=655nmp=655nmp=655nmGaAsPGaAsPp=565nmp=565nmp=565nmp=565nmGaPGaPp=950nmp=950nmp=950nmp=950nmGaAsGaAs/nmnmnmnm相相相相对对对对灵灵灵灵敏敏敏敏度度度度 11U U U U/V/V/V/V I I I I/mAmAmAmA -10-10-10-10 -5-5-5-5 0 0 0
9、 0 1 1 1 12 2 2 2GaAsPGaAsPGaAsPGaAsP(红红红红)GaAsPGaAsPGaAsPGaAsP(绿绿绿绿)反向电压应反向电压应在在5V5V以下以下!发发光光二二极极管管的的伏伏安安特特性性与与普普通通二二极极管管相相似似,但但随随材材料料的的不不同同,开开启启(点点燃燃)电电压压略略有有差差异异。红色约为红色约为1.7V1.7V开启,绿色约为开启,绿色约为2.2V2.2V。砷磷化镓发光二极管的伏安曲线砷磷化镓发光二极管的伏安曲线砷磷化镓发光二极管的伏安曲线砷磷化镓发光二极管的伏安曲线124 4、激光器、激光器激光是激光是2020世纪世纪6060年代出现的最重大科
10、技年代出现的最重大科技成就之一。具有高方向性、高单色性、成就之一。具有高方向性、高单色性、高亮度和高的相干性四个重要特性。激高亮度和高的相干性四个重要特性。激光波长一般从光波长一般从0.15m0.15m到远红外整个光频到远红外整个光频波段范围。波段范围。X-X-射线激光器。射线激光器。13激光器种类繁多,按工作物质分类:激光器种类繁多,按工作物质分类:u固体激光器固体激光器(如红宝石激光器)(如红宝石激光器)u气气体体激激光光器器(如如氦氦-氖氖气气体体激激光光器器、二二氧氧化化碳碳激光器)激光器)u液体激光器液体激光器(染料激光器)。(染料激光器)。u半导体激光器半导体激光器(如砷化镓激光器
11、(如砷化镓激光器)146.2.1 外光电效应外光电效应在光的作用下,物体内的电子逸出物体表在光的作用下,物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象叫做面向外发射的现象叫做外光电效应。外光电效应。6.2 光电效应光电效应两类:外光电效应和内光电效应。两类:外光电效应和内光电效应。151887年,首先是赫兹(年,首先是赫兹(M.Hertz)在证明)在证明波动理论实验中首次发现的;波动理论实验中首次发现的;1902年,勒纳(年,勒纳(Lenard)也对其进行了研也对其进行了研究,指出光电效应是金属中的电子吸收了究,指出光电效应是金属中的电子吸收了入射光的能量而从表面逸出的现象。但无入射光的能量而从表面逸
12、出的现象。但无法根据当时的理论加以解释法根据当时的理论加以解释;1905年,爱因斯坦提出了光子假设。年,爱因斯坦提出了光子假设。16爱因斯坦光电效应方程:爱因斯坦光电效应方程:1.1.光电子能否产生,取决于光子的能量是光电子能否产生,取决于光子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功否大于该物体的表面电子逸出功A A。2.2.一定时,产生的光电流和光强成正比。一定时,产生的光电流和光强成正比。3.3.逸出的光电子具有动能。逸出的光电子具有动能。基于外光电效应的光电器件有光电管、基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管。光电倍增管。176.2.2 6.2.2 内光电效应内光电效应 当光照在物体上
13、,使物体的电导率发生变当光照在物体上,使物体的电导率发生变化,或产生光生电动势的现象。分为化,或产生光生电动势的现象。分为光电导效应光电导效应和光生伏特效应(光伏效应)和光生伏特效应(光伏效应)。1 1光电导效应光电导效应 在光线作用下,电子吸收光子能量从键在光线作用下,电子吸收光子能量从键合状态过度到自由状态,而引起材料电导率的合状态过度到自由状态,而引起材料电导率的变化。变化。18自由电子所占能带自由电子所占能带不不存在电子所占能带存在电子所占能带价电子所占能带价电子所占能带禁带禁带禁带禁带导带导带导带导带价带价带价带价带EgEg电子能量电子能量E Eh Eg g当光照射到光电导体上时,若
14、这个光电导体为当光照射到光电导体上时,若这个光电导体为本征半导体材料,且光辐射能量又足够强本征半导体材料,且光辐射能量又足够强,光光电材料价带上的电子将被激发到导带上去,使电材料价带上的电子将被激发到导带上去,使光导体的电导率变大。光导体的电导率变大。19基于这种效应的光电器件有光敏电阻。基于这种效应的光电器件有光敏电阻。20结光电效应结光电效应 光照射光照射PNPN结时,若结时,若h h EgEg,使,使价带中的电价带中的电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在阻挡层阻挡层内电场内电场的作用下,电子偏向的作用下,电子偏向N N区外侧,空穴偏区外侧,空穴偏向向P
15、P区外侧,使区外侧,使P P区带正电,区带正电,N N区带负电,形成区带负电,形成光生电动势。光生电动势。光生伏特效应:光生伏特效应:在光作用下能使物体产生在光作用下能使物体产生一定方向电动势的现象。一定方向电动势的现象。基于该效应的器件有基于该效应的器件有光电池、光电池、光敏二极管、三极管光敏二极管、三极管。P PN N21侧向光电效应侧向光电效应 当当半半导导体体光光电电器器件件受受光光照照不不均均匀匀时时,光光照照部部分分产产生生电电子子空空穴穴对对,载载流流子子浓浓度度比比未未受受光光照照部部分分的的大大,出出现现了了载载流流子子浓浓度度梯梯度度,引引起起载载流流子子扩扩散散,如如果果
16、电电子子比比空空穴穴扩扩散散得得快快,导导致致光光照照部部分分带带正正电电,未未照照部部分分带带负负电电,从从而产生电动势,即为而产生电动势,即为侧向光电效应侧向光电效应。226.3.1光电管及其基本特性光电管及其基本特性 结构与工作原理结构与工作原理6.3外光电效应器件外光电效应器件23主要性能主要性能(1 1)光电管的)光电管的伏安特性伏安特性 在一定的光照射下,对光电器件的阴极所加在一定的光照射下,对光电器件的阴极所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。管的伏安特性。真空光电管真空光电管真空光电管真空光电管 充气光电管充气光电管充
17、气光电管充气光电管15015010010050502 20 020lm20lm40lm40lm60lm60lm80lm80lm100lm100lm120lm120lm4 46 68 810101212阴极电压阴极电压阴极电压阴极电压/V/V/V/VI I I IA A A A/AAAA2 20 01001005050弱光弱光弱光弱光强光强光强光强光1501504 46 68 810101212阴极电压阴极电压阴极电压阴极电压/V/V/V/VI I I IA A A A/AAAA24(2 2)光电管的)光电管的光照特性光照特性当光电管的阴极和阳极之间所加的电压一定时,当光电管的阴极和阳极之间所加
18、的电压一定时,光通量与光电流之间的关系。光通量与光电流之间的关系。光照特性曲线的斜光照特性曲线的斜率称为光电管的灵率称为光电管的灵敏度。敏度。图图图图6-1 6-1 6-1 6-1 光电管的光照特性光电管的光照特性光电管的光照特性光电管的光照特性2525505075751001002 20 00.50.51.51.5 2.02.0/1m/1mI IA A/AA1.01.02.52.51 11-1-氧铯阴极氧铯阴极氧铯阴极氧铯阴极2-2-锑铯阴极锑铯阴极锑铯阴极锑铯阴极25(3)(3)光电管的光谱特性光电管的光谱特性 一般光电阴极材料不同的光电管对应不同一般光电阴极材料不同的光电管对应不同的红限
19、频率,因此它们可用于不同的光谱范围。的红限频率,因此它们可用于不同的光谱范围。另外,同一光电管对于不同频率的光的灵另外,同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同。以敏度不同。以GD-4GD-4型光电管为例,阴极是用型光电管为例,阴极是用锑锑铯铯材料制成,其材料制成,其红限红限cc=700nm=700nm,对可见光范围,对可见光范围的入射光灵敏度比较高。适用于白光光源,被的入射光灵敏度比较高。适用于白光光源,被应用于各种光电式自动检测仪表中。应用于各种光电式自动检测仪表中。26对对红外光源红外光源,常用银氧铯阴极,构成红外探测,常用银氧铯阴极,构成红外探测器。器。对对紫外光源紫外光源,常用锑铯阴极
20、和镁镉阴极。,常用锑铯阴极和镁镉阴极。国产光电管的技术参数国产光电管的技术参数27由阴极、次阴极(倍增电极)、阳极组成由阴极、次阴极(倍增电极)、阳极组成阴极由半导体光电材料阴极由半导体光电材料锑铯锑铯做成,次阴极是做成,次阴极是在在镍或铜镍或铜-铍的衬底上涂上锑铯材料铍的衬底上涂上锑铯材料形成。次阴极形成。次阴极可达可达3030级。通常为级。通常为1214级。级。使用时在各个倍增电极上均加上电压,阴极电使用时在各个倍增电极上均加上电压,阴极电位最低,以后依次升高,阳极最高。相邻两个位最低,以后依次升高,阳极最高。相邻两个倍增电极之间有电位差,因此存在加速电场。倍增电极之间有电位差,因此存在加
21、速电场。6.3.2 光电倍增管及其基本特性光电倍增管及其基本特性28IAKD1D2D3D4AR1R2R3R4R5RLUOUT29入入入入射射射射光光光光阴极阴极阴极阴极KK第第第第一一一一倍倍倍倍增增增增极极极极第第第第二二二二倍倍倍倍增增增增极极极极第第第第三三三三倍倍倍倍增增增增极极极极第第第第四四四四倍倍倍倍增增增增极极极极阳极阳极阳极阳极A A30光电倍增管的电流放大倍数为光电倍增管的电流放大倍数为如果如果n n个倍增电极二次发射电子的数目相同个倍增电极二次发射电子的数目相同,则则i in n 因此因此阳极电流为阳极电流为i i i in n,M M与所加的电压有关。一般阳极和阴极之间
22、的电与所加的电压有关。一般阳极和阴极之间的电压为压为100010002500V2500V,两个相邻的倍增电极的电位两个相邻的倍增电极的电位差为差为5050100V100V。主要参数:主要参数:1.1.倍增系数倍增系数M M:等于各个倍增电极的等于各个倍增电极的2 2次发射电子次发射电子数数i i的乘积。的乘积。31一个光子在阴极能够打出的平均电子数叫做光一个光子在阴极能够打出的平均电子数叫做光电阴极的灵敏度。电阴极的灵敏度。一个光子在阳极上产一个光子在阳极上产生的平均电子数叫光生的平均电子数叫光电倍增管的总灵敏度电倍增管的总灵敏度.(2)(2)光电阴极灵敏度和光电管的总灵敏度光电阴极灵敏度和光
23、电管的总灵敏度最大灵敏度可达最大灵敏度可达10A/lm10A/lm不能受强光照射。不能受强光照射。图图图图6-2 6-2 6-2 6-2 光电倍增管的特性光电倍增管的特性光电倍增管的特性光电倍增管的特性曲线曲线曲线曲线25 50 75 100 12525 50 75 100 12525 50 75 100 12525 50 75 100 125101010106 6 6 6极间电压极间电压极间电压极间电压/V/V/V/V倍增系数倍增系数倍增系数倍增系数MMMM101010105 5 5 5101010104 4 4 4101010103 3 3 332(3 3)暗电流和本底电流)暗电流和本底电
24、流由于环境温度、热辐射和其它因素的影响,即使由于环境温度、热辐射和其它因素的影响,即使没有光信号输入,加上电压后阳极仍有电流,这没有光信号输入,加上电压后阳极仍有电流,这种电流称为暗电流。种电流称为暗电流。在其受人眼看不到的宇宙射线的照射后,光电倍在其受人眼看不到的宇宙射线的照射后,光电倍增管会有电流信号输出增管会有电流信号输出本底脉冲。本底脉冲。4.4.光电倍增管的光谱特性光电倍增管的光谱特性与相同材料的光电管的相似。与相同材料的光电管的相似。336.4 内光电效应器件内光电效应器件6.4.1 光敏电阻光敏电阻1.光敏电阻的结构和光敏电阻的结构和工作原理工作原理A AE E电极电极电极电极半
25、导体半导体半导体半导体玻璃底板玻璃底板玻璃底板玻璃底板R RL LE EI IR RG G图图图图10-8 10-8 光敏电阻的结光敏电阻的结光敏电阻的结光敏电阻的结构与电路连接构与电路连接构与电路连接构与电路连接34如果把光敏电阻连接到外电路中,在外加电压如果把光敏电阻连接到外电路中,在外加电压的作用下,用光照射就能改变电路中电流的大的作用下,用光照射就能改变电路中电流的大小:小:35光敏电阻具有光敏电阻具有很高的灵敏度很高的灵敏度、很好的光谱特性、很好的光谱特性、很长的使用寿命、高度的稳定性能、小的体积很长的使用寿命、高度的稳定性能、小的体积及工艺简单及工艺简单,故应用广泛。,故应用广泛。
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