VLSI设计课件一VLSI概述.pptx
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1、P1第第1 1章章 VLSIVLSI概述概述p1.1 1.1 晶体管与集成电路的发展晶体管与集成电路的发展p1.2 1.2 摩尔定律摩尔定律(More(Mores law)s law)p1.3 EDA1.3 EDA技术的发展技术的发展p1.4 IC1.4 IC产业的分工产业的分工p1.5 VLSI1.5 VLSI设计方法学设计方法学p1.6 1.6 深亚微米技术的挑战深亚微米技术的挑战P2 1.1 1.1 晶体管与集成电路的发展晶体管与集成电路的发展p1.1.1 1.1.1 半导体集成电路的出现与发展半导体集成电路的出现与发展p1.1.2 1.1.2 集成电路基本概念集成电路基本概念p1.1.
2、3 1.1.3 集成电路发展的特点集成电路发展的特点P3p1947194719481948年年:贝贝尔尔实实验验室室公公布布了了世世界界上上第第一一只只晶晶体体三三极极管管(点点接接触触)“20“20世世纪纪最最伟伟大大发发明明”,标标志志电电子子管管向向晶晶体体管管过过渡渡,从从此此电电路路进进入入晶晶体体管管时代时代。1947年贝尔(Bell)实验室的肖克莱、沃尔特布拉登和约翰巴尔用几条金属箔片、一块半导体材料和一个纸架构成的一个模型:具有传导、放大和开关电流的作用。称之为“点接晶体管放大器”。(1956年美国贝尔实验室三人获诺贝尔奖)1.1.1 半导体集成电路的出现与发展图11 “点接晶
3、体管放大器”P4p19481948年,威廉年,威廉肖克肖克莱(莱(William Shockley)“William Shockley)“晶体管之父晶体管之父”,提出结型,提出结型晶体管的想法;晶体管的想法;p19511951年,威廉年,威廉肖克肖克莱莱领导的研究小组成功研制出第一个可靠的单晶锗领导的研究小组成功研制出第一个可靠的单晶锗NPNNPN结结型晶体管;(温度特性差、提纯度差、表面防护能力差型晶体管;(温度特性差、提纯度差、表面防护能力差(稳定性差)稳定性差)p19521952年,英国皇家雷达研究所的达默第一次提出年,英国皇家雷达研究所的达默第一次提出“集成电路集成电路”的设想;的设想
4、;p19581958年美国德克萨斯仪器公司基尔比为首的小组研制出世界上第一块集成电年美国德克萨斯仪器公司基尔比为首的小组研制出世界上第一块集成电路了双极性晶体管(由路了双极性晶体管(由1212个器件组成的相移振荡和触发器集成电路),并于个器件组成的相移振荡和触发器集成电路),并于19591959年公布年公布这就是世界上最早的集成电路,是现代集成电路的雏形或先驱这就是世界上最早的集成电路,是现代集成电路的雏形或先驱 ;(基尔比于;(基尔比于20002000年获得诺贝尔物理学奖)年获得诺贝尔物理学奖)p19601960年成功制造出年成功制造出MOSMOS管集成电路(硅基);管集成电路(硅基);p1
5、9651965年戈登年戈登摩尔发表预测未来集成电路发展趋势的文章,就是摩尔发表预测未来集成电路发展趋势的文章,就是“摩尔定律摩尔定律”的前身;的前身;p19681968年年IntelIntel公司诞生;公司诞生;p19711971年,年,INTELINTEL公司推出公司推出10241024位(位(1k1k)DRAMDRAM,标志着大规模集成电路出现;,标志着大规模集成电路出现;p19781978年,年,64kbit RAM64kbit RAM的出现,标志着集成电路进入超大规模时代。的出现,标志着集成电路进入超大规模时代。P5p集成电路的发展除了物理原理外还得益于许多新工艺的发明:集成电路的发展
6、除了物理原理外还得益于许多新工艺的发明:50年美国人奥尔和肖克莱发明的离子注入工艺离子注入工艺;56年美国人富勒发明的扩散工艺扩散工艺;60年卢尔和克里斯坦森发明的外延生长工艺外延生长工艺;60年kang和Atalla研制出第一个硅硅MOSMOS管管;70年斯皮勒和卡斯特兰尼发明的光光刻刻工工艺艺,使晶体管从点点接触结构向平面面结构过渡并给集成电路工艺提供了基本的技术支持。因此,从70年代开始,第一代集成电路才开始发展并迅速成熟。P6p集成电路规模的发展集成电路规模的发展:SSISSI(Small Small Scale):Scale):19581958年年制制造造出出包包含含1212个个晶晶
7、体体管管的的小小规规模模集集成成电电路路(基本的(基本的“与非与非”或或“非门非门”电路);电路);MSI:1966MSI:1966年年发发展展到到集集成成度度为为10010010001000个个晶晶体体管管的的中中规规模模集集成成电电路路(计计数器、译码器);数器、译码器);LSI:1967-1973LSI:1967-1973年年,研研制制出出10001000个个1010万万个个晶晶体体管管的的大大规规模模集集成成电电路路(1616位位处处理理器器,Motoral Motoral M68000(7M68000(7万万个个晶晶体体管管),Intel Intel 80286 80286(12.5
8、(12.5万个晶体管万个晶体管)););VLSI:1977VLSI:1977年年研研制制出出在在3030平平方方毫毫米米的的硅硅晶晶片片上上集集成成1515万万个个晶晶体体管管的的超超大大规规模模集集成成电电路路,这这是是电电子子技技术术的的第第四四次次重重大大突突破破,从从此此真真正正迈迈入入了了微微电子时代(电子时代(3232位处理器,位处理器,8048680486超过超过100100万个晶体管万个晶体管););ULSI(Ultra ULSI(Ultra Large-Scale Large-Scale Integration)Integration),19931993年年随随着着集集成成了
9、了10001000万万个个晶晶体体管管的的16M 16M FLASHFLASH和和256M 256M DRAMDRAM的的研研制制成成功功,进进入入了了特特大大规规模模集集成成电路时代(电路时代(SOC/SOPCSOC/SOPC系统);系统);GSIGSI(Giga Scale IntegrationGiga Scale Integration)19941994年由于集成年由于集成1 1亿个元件亿个元件的的1G DRAM1G DRAM的研制成功,进入巨大规模集成电路时代(的研制成功,进入巨大规模集成电路时代(Intel Pentium 4EIntel Pentium 4E,内部,内部集成一亿两
10、集成一亿两 千五百万个晶体管)。千五百万个晶体管)。P71.1.2 1.1.2 集成电路基本概念集成电路基本概念p形状形状:一般为正方形或矩形。一般为正方形或矩形。p面面积积:几几平平方方毫毫米米到到几几百百平平方方毫毫米米。面面积积增增大大引引起起功功耗耗增增大大、封封装装困困难难、成品率下降,成本提高,可通过增大硅园片直径来弥补。成品率下降,成本提高,可通过增大硅园片直径来弥补。p集集成成度度,规规模模:包包含含的的晶晶体体管管数数目目或或等等效效逻逻辑辑门门的的数数量量。(1(1个个2 2输输入入的的NAND=4NAND=4个晶体管)个晶体管)p特征尺寸:特征尺寸:集成电路器件中最细线条
11、的宽度,对MOS器件常指栅极所决定的沟道几何长度(),是一条工艺线中能加工的最小尺寸;反映了集成电路版图图形的精细程度,特征尺寸的减少主要取决于光刻技术的改进(光刻最小特征尺寸与曝光所用波长)。p硅硅园园片片直直径径:考考虑虑到到集集成成电电路路的的流流片片成成品品率率和和生生产产成成本本,每每个个硅硅园园片片上上的管芯数保持在的管芯数保持在300300个左右。(个左右。(inch)inch)P8p封封装装(Package)(Package):把IC管芯放入管壳(金属、陶瓷和塑料)内密封,使管芯与外部系统建立可靠连接、保证信号完整性而能长期可靠工作。散热:保证在允许的温度下正常工作;恶劣环境:
12、化学介质、辐射、振动保护;标准化:使芯片应用到不同尺度的基板上,标准的引脚间距方便测试。注意:l封装与互连不会增强信号,而只会减弱信号强度;l封装不会改进芯片的性能,只会限制系统性能。p封封 装装 类类 型型(总总 体体):从 扦 孔 形(THPTHP)向 表 面 按 装 形 式(SMPSMP)发展,到现在的MCMMCM(Multi-Chip Module)多芯片组件封装。THPTHP:以电性能和热性能优良、可靠性高等特点而得到广泛应用(DIP);SMPSMP:优点是无需镀金属通孔节省空间、提高性能和降低成本,而且它还可以直接将管芯按装在印制版电路板的两面,使电路板的费用降低60%;(QFP:
13、Quad Flat Package,TQFP:Thin QFP);MCMMCM:可以说是面向部件的或者说是面向系统或整机的,是在高密度多层互联基板上将多个裸芯片组装构成功能电路板。MCM技术集先进印刷电路板技术、先进混合集成电路技术、先进表面安装技术、半导体集成电路技术于一体,是典型的垂直集成技术。(三种形式:基于PCB的MCM、基于陶瓷和玻璃的MCM及基于硅或介质材料淀积布线的MCM)。P9p封装的常见类型(具体)封装的常见类型(具体)DIPDIP封装封装70年代流行双列直插封装,绝大多数中小规模集成电路均采用这种封装形式,其引脚数一般不超过100个。PGAPGA封装封装(Pin Grid
14、Array Package)(Pin Grid Array Package)在芯片的内外有多个方阵形的插针,每个方阵形插针沿芯片的四周间隔一定距离排列安装时,将芯片插入专门的PGA插座。SMPSMP封装封装 80年代出现了芯片载体的表面封装形式,其中主要有陶瓷无引线芯片载体LCCC(LeadlessCeramicChipCarrier)、塑料有引线芯片载体 PLCC(PlasticLeadedChipCarrier)、小 尺 寸 外 廓 封 装SOP(SmallOutlinePackage)、塑 料 四 边 引 出 扁 平 封 装PQFP(PlasticQuadFlatPackage)。BGA
15、BGA封装封装(BallGridArrayPackage)(BallGridArrayPackage)球栅阵列封装,是高密度的SM封装技术。90年代随着集成技术的进步、设备的改进和深亚微米技术的使用,LSI、VLSI、ULSI相继出现,硅单芯片集成度不断提高,对集成电路封装要求更加严格,I/O引脚数急剧增加,功耗也随之增大。P10DIP:双列直插封装(6070年代)FP(Flat Package):扁平封装PLCC:塑料有引线芯片载体封装LCC:有引线芯片载体封装BGA:球栅阵列封装(90年代初)QFP:四边引出扁平封装(80年代)CPGA(Ceramic Pin Grid Array):陶瓷
16、基板PGA P11p制造工艺制造工艺双双 极极 型型 BipolarBipolar工工 艺艺:最最 早早 采采 用用 的的 工工 艺艺,多多 数数 使使 用用 TTLTTL(Transistor-Transistor-Transistor Transistor LogicLogic)或或ECLECL(Emitter-Coupled Emitter-Coupled LogicLogic),耐耐压压高高、速速度度快快,通通常用于功率电子、汽车、电话电路与模拟电路;常用于功率电子、汽车、电话电路与模拟电路;CMOSCMOS工工艺艺:Complememtary Complememtary MOSMOS
17、,铝铝栅栅晶晶体体管管被被多多晶晶硅硅栅栅所所替替代代,更更易易于于实实现现n n沟沟道道MOSMOS和和p p沟沟道道MOSMOS两两种种类类型型的的晶晶体体管管,即即同同一一集集成成电电路路硅硅片片上上实实现现互互补补MOSMOS工工艺艺。生生产产工工艺艺更更简简单单,器器件件面面积积更更小小。它它的的晶晶体体管管密密度度大大,功功耗耗小小。比比双双极极型型集成电路要偏宜,半导体产业的投资和集成电路市场的发展倾向于集成电路要偏宜,半导体产业的投资和集成电路市场的发展倾向于MOSMOS电路;电路;BiCMOSBiCMOS工工艺艺:双双极极型型BipolarBipolar和和CMOSCMOS两
18、两种种工工艺艺的的结结合合。管管芯芯中中大大部部分分采采用用CMOSCMOS,外围接口采用双极型,外围接口采用双极型BipolarBipolar,做到功耗低、密度大,电路输出驱动电流大。,做到功耗低、密度大,电路输出驱动电流大。P12p特征尺寸特征尺寸越来越小越来越小(0.10um)(2000K)(2000K)p时钟速度时钟速度越来越高越来越高(500MHz)(500MHz)p电源电压单位功耗电源电压单位功耗越来越低越来越低(1.0V)(9(9层层)pI/0I/0引脚引脚越来越多越来越多(1200)(1200)p功耗功耗越来越大越来越大 1.1.3 1.1.3 集成电路发展的特点集成电路发展的
19、特点P13表1-1 集成电路特征参数的进展情况 P14特征尺寸特征尺寸P15单个芯片上的晶体管数单个芯片上的晶体管数P16芯片面积芯片面积P17电源电压电源电压P18金属布线层数金属布线层数P19时钟频率时钟频率P20图1-2 各阶段集成电路产品P21 1.2 1.2 摩尔定律(摩尔定律(MooreMoores Laws Law)19601960年年,美美国国IntelIntel公公司司Gordon Gordon MooreMoore预预言言集集成成电电路路的的发发展展遵遵循循指指数数规规律律(IT(IT行业神话),人们称之为行业神话),人们称之为”摩尔定律摩尔定律”。其主要内容如下:其主要内
20、容如下:(原原内内容容:每每1818个个月月,相相同同面面积积大大小小的的芯芯片片内内,晶晶体体管管数数量量即即集集成成度度会会增增加一倍)加一倍)(1)(1)集成电路最小特征尺寸以每集成电路最小特征尺寸以每3 3年减小约年减小约70%70%的速度下降;的速度下降;(2)(2)芯片面积不断增大,约每代产品增大芯片面积不断增大,约每代产品增大1.41.4倍,价格每两年下降一半;倍,价格每两年下降一半;(3)(3)至至今今日日,集集成成电电路路的的发发展展仍仍遵遵循循摩摩尔尔定定律律,这这种种规规律律至至少少在在5050年年内内是正确的是正确的(从从19651965年开始年开始)。戈登摩尔:192
21、9年出生在美国加州的旧金山。曾获得加州大学伯克利分校的化学学士学位,并且在加州理工大学(CIT)获得物理和化学两个博士学位。50年代中期他和集成电路的发明者罗伯特诺伊斯(Robert Noyce)一起,在威廉肖克利半导体公司工作。后来,诺伊斯和摩尔等8人集体辞职创办了半导体工业史上有名的仙童半导体公司(FairchildSemiconductor)。仙童成为现在的Intel和AMD之父。P22表1-2 集成电路不同发展阶段的特征参数主要特征主要特征主要特征SSISSIMSIMSI(19661966)LSILSI(19711971)VLSIVLSI(19801980)ULSIULSI(19901
22、990)GSIGSI(19901990)元件数元件数/片片102 109 109特征线宽特征线宽mm5 510103 35 51 13 3 1120120100100404015151010151510221.21.22 20.50.51.21.20.20.20.50.50.10.10.20.20.10.1硅片直径硅片直径InchInch(mm)mm)2 2(50)(50)2 23 3(50507575)4 45 5(100100125125)6 6(150)(150)8 8(200)(200)1212(300)(300)P23图1-3 集成电路集成度和特征尺寸的发展曲线P24IntelInt
23、el公司公司CPUCPU发展概况发展概况图1-4 CPU的发展概况集成度:集成度:2x growth in 1.96 Year2x growth in 1.96 YearDie size:14%growth one YearDie size:14%growth one YearMemory:4x growth every 3 YearsMemory:4x growth every 3 YearsCLK:2x growth every 2 yearCLK:2x growth every 2 yearP25pIntelIntel第一块第一块CPU 4004,4CPU 4004,4位处理器位处理器,
24、主频主频108kHz,108kHz,运算速度运算速度0.06MIPs(Mill0.06MIPs(Mill -ion Instructions Per Second,-ion Instructions Per Second,每秒百万条指令每秒百万条指令),),集成晶体管集成晶体管2,3002,300个个,10,10微米制造工艺微米制造工艺,最大寻址内存最大寻址内存640 bytes,640 bytes,生产日期生产日期19711971年年1111月。月。图1-5 Intel 4004处理器P26图1-6 Intel Pentium Pro处理器p6464位处理器位处理器,主频主频133/150/
25、166/180/200MHZ,133/150/166/180/200MHZ,总线频率总线频率66MHZ,66MHZ,运算速度达到运算速度达到300300440MIPs,440MIPs,集成晶体管集成晶体管5.5M5.5M个个,1,1微米制造工艺微米制造工艺,387,387针针Socket8Socket8接口接口,最最大寻址内存大寻址内存64GB,64GB,缓存缓存16/256kB16/256kB1MB,1MB,生产日期生产日期19951995年年1111月月.P27pPentium 4(WillamettePentium 4(Willamette核心核心,423,423针针),),主频主频1.
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