清洗间安全管理规范(2021年).docx

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1、清洗间安全管理规范(2021)Safety management is an important part of enterprise production management. The object is thestate management and control of al 1 people, objects and environments in production.(安全管理)单位：姓名：日 期：编号：AQ-SN-0725通用安全 | General Security 通用安全清洗间安全管理规范(2021)说明：安全管理是企业生产管理的重要组成部分，是一门综合性的系统科学。 安

2、全管理的对象是生产中一切人、物、环境的状态管理与控制，安全管理是一 种动态管理。可以下载修改后或直接打印使用(使用前请详细阅读内容是否合 适)。为保证超净清洗间的整洁有序，确保工作人员和工作环境的安 全，根据超净车间清洗间实际情况，特制定以下清洗台安全管理规 范：1、清洗间负责人员负责监管清洗间的工作情况，有权纠正和制 止违反清洗间管理的人员的行为。2、有机与无机化药必须在相应的清洗间分开使用，有机与无机 洗间分别独立使用，不得串用。所有使用化学药品进行的湿法刻蚀、 腐蚀工艺必须在清洗间操作。原则上有机清洗需在有机清洗台进行, 无机清洗、酸碱腐蚀在无机清洗台进行。严禁在同一通风柜中进行 有机和

3、无机清洗。3、清洗操作时，注意个人防护意识，根据操作规程，无机清洗通用安全 | General Security 通用安全时，必须佩带完整的防护，包括：防酸碱手套、围裙、眼镜、面罩、 护袖等。有机清洗时，若使用有毒或剧毒化药，如：三氯乙烯、四 氯化碳、氯苯等，必须佩带完整的防护。任何清洗工艺，必须佩带 完好的乳胶手套。所用个人防护用品使用完毕后，必须用水冲洗干 净，避免化药残留在防护用品上，影响他人使用，使用完毕后整齐 放回原位。4、使用化学药品必须预先了解所用化药的使用注意事项和相应 的应急措施。进行清洗操作前必须看化学药品标识，正确使用化学 药品。5、清洗操作时，要节约使用化药和无尘纸等耗

4、材。新液化药只 能用于清洗样品，严禁新液用于其他用途。要选用适合的器皿，不 得用大的器皿清洗小的样品。化药用量参考：液面盖过样品不要超 过1CM。使用新液化药顺序：先使用已开启试剂，已开启试剂使用完 毕后再开启新的试剂，并在使用完毕后的空瓶表面写上“废”字。6、清洗操作时，加热、冷却、剥离等需要离开时，在无人看管 情况下，放置在公共位置的任何溶液必须放置标识牌（使用人、化通用安全药名称、日期、时间），放置的位置不得影响其他人工作，清洗完毕 后，请及时用酒精或丙酮擦除标识牌，没有标识的行为和标识牌没 有及时清除将视为违规行为。7、取新液时，要把新液桶外面的包装塑料袋和橡皮筋放入垃圾 桶，严禁放回

5、新液柜。严禁把空新废液桶放回新液柜中。无机废液 桶要放置在装有废液回收桶的蓝盒子里，有机废液桶要放置在空废 液瓶整理箱或废液柜中。用户如有自己的化药新液，请做好标识， 放置在用户相应的新液柜中，遵循：有机与无机分开，酸、碱分开 放置原则。有机废液柜未放满时，严禁把废液瓶放置在地面（只有 废液柜放满时，才可以把废液整齐放置在地面）。8、在使用8槽清洗机进行清洗样品时，必须使用指定的公共清 洗器皿。严禁在未经允许的情况下使用别人的清洗器皿，个人和公 共清洗器皿使用完毕必须清洗干净，用气枪吹干后，放回指定位置。9、清洗废液、腐蚀废液、光刻所用废液必须按照要求和指示倒 入相应的废液回收桶，拧紧废液桶盖

6、时，要向反方向回旋半圈，桶 盖要松。处理无机废液时，要注意选择好相应的废液桶，倒废液之通用安全前加入5倍以上的去离子水稀释（浓硫酸除外），其中废液稀释的水 包括原溶液中的水。稀释时注意：把废液加入水中稀释（务必注意 顺序）。无机废液倾倒时，要双手进行同一操作。不要一只手拿废液 或空烧杯，一只手拧松或拧紧废液桶盖。10、废浓硫酸桶中存放废液有：（1）、废浓硫酸占总体积大于50% 以上的废液。（2）、废纯浓硫酸。两者废液都不需要稀释，直接倒入 废浓硫酸桶。如果废液中浓硫酸总体积比小于50%,则需要加5倍 以上去离子水稀释（废浓硫酸加入水）倒入废酸桶。11、清洗操作时，从一个清洗台到另一个清洗台时间

7、间隔一分 钟以上，要关闭相应清洗台通风门。如果清洗完毕离开清洗间，清 理台面并检查通风门、灯、超声机、水浴机的开关电源是否关闭。 超声机使用完毕后及时关上超声机盖子。12、有机废液回收时，只有丙酮、异丙醇、无水乙醇可以混合 回收，其他如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化药要单独回收 并做好标识。有机废液处理时，要在废液桶上写好标识，如果别人 已写好你需要做的标识，而且废液桶未装满，可以不写标识，直接通用安全 | General Security 通用安全倒入废液桶。13、清洗完毕后，要整理并清洗台面，并更换一次性乳胶手套。 清洗前后要在记录本上分别登记完整的开始和结束时间、目的、化 药名称等记

8、录。14、废弃手套、无尘布、无尘纸等请放入垃圾桶，所用化学药 品放回原处，用水冲清洗台面并用无尘纸擦净，再用压缩氮气吹干 清洗台，保持清洗台整洁干爽。禁止在清洗台上遗留任何废弃物， 并及时关闭清洗台的通风门。清洗间使用人员有义务及时清理所用 清洗台遗留的废弃物。15、在倾倒废液时，要注意观察是否有废液遗撒地面，或在清 洗结束后，检查是否有水或其他液体洒落在清洗台附近的地面，若 有一定要及时用无尘纸或其他方式处理干净。16、清洗操作时，使用氢氟酸（HF）、氟化铉（NH4F）或（BOE） 含有氟离子的化药时，必须用塑料的烧杯、量筒等器皿，禁止用玻 璃及石英器皿。17、配制无机溶液时，遵循：一、有水

9、在配制溶液中的，先倒通用安全水，后倒入密度小的化药，再到入密度大的化药；二、没有水在配 制溶液中的，先倒密度小的化药，再倒入密度大的化药。密度的大 小可以根据分子量的大小区分，一般情况下分子量大的化药密度大, 分子量小的化药密度小。18、溶液加热时，要等到温度升到设定温度时，再放上器皿去 加热，加热完毕后，关闭电源，等溶液冷却到室温才可以取出。（一 般：有机与无机，酸、碱不能同时加热操作）。19、在清洗时，不慎把大量化药洒在地面或发现有大量化药在 地面，应立即处理。BOE灼伤眼睛或皮肤，一份钟内用六氟灵冲洗， 再用水冲洗，而后立即就医。20、未经许可的情况下，不得擅自携带化学药品进出超净间。21、未通过培训和考核的人员不得擅自使用清洗设备。22、如果在清洗过程中，有任何疑问，应及早主动与相关工艺 负责人人沟通。编写：审核：批准：通用安全XXX图文设计本文档文字均可以自由修改