静电防护基础知识课件.ppt
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1、关于静电防护基础知识第1页,此课件共41页哦一、什么是静电静电防护基础知识静电静电(ElectrostaticElectrostatic,static electricitystatic electricity)通俗地来说,静电就是静止不动的电荷。它一般存在于物体的表面。是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果。静电是通过电子或离子转移而形成的。静电可由物质的接触和分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。第2页,此课件共41页哦伤害结果:u突发性失效10%零件突然失效u 潜在性失效90零件电参数微变,使用 寿命变短。难以检测,危害性更大 一般来说,静电只有在发生静电放电时,才会对
2、元器件造成伤害和损伤。静电伤害的形式:静电吸附灰尘,降低元器件绝缘电阻(缩短寿命)。静电放电(ESD)破坏,造成电子元件失效。静电放电产生的电磁场对电子元器造成电磁干扰。静电防护基础知识第3页,此课件共41页哦二、什么是静电放电静电放电(静电放电(Electrostatic DischargeElectrostatic Discharge,ESDESD)处于不同静电电位的两个物体间的静电电荷的转移就是静电放电。这种转移的方式有多种,如接触放电、空气放电。静电放电的特点:l 高电压几百伏几万伏l 持续时间短(几百纳妙)l 低能量几十几百微焦耳l 快速的电流上升时间几十纳秒静电防护基础知识第4页,
3、此课件共41页哦人体电位(KV)电击感度1.0没有感觉2.0手指外侧有感觉,但不疼痛2.5有针刺感、哆嗦感、但不疼痛4.0有较强针刺感,手微疼痛;光暗时能见到放电微光5.0从手掌到腕部感到疼痛6.0手指感到剧痛,腕部有强烈的电击感7.0手指、手掌剧痛,有麻木感静电放电的主观感受静电防护基础知识第5页,此课件共41页哦三、静电的产生静电产生的方式有很多,如接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等,但主要是两种形式,即p 摩擦产生静电摩擦产生静电(图图1)-1)-受材料性质、湿度、接触面积、接受材料性质、湿度、接触面积、接触压力、分离速度、表面洁净度等触压力、分离速度、表面洁净度等因素影响因素影
4、响 p 感应产生静电感应产生静电(图图2)2)图1图2静电防护基础知识第6页,此课件共41页哦序号材料序号材料序号材料正电荷方向 8羊毛16硬橡皮1空气9丝绸17镊、铜2人的手10铝18黄铜、银3兔毛11纸19聚酯人造纤维4玻璃12棉布20聚乙烯5云母13钢21聚丙烯6头发14木材22聚氯乙烯(PVC)7尼龙15琥珀负电荷方向 常见物体带电顺序静电防护基础知识第7页,此课件共41页哦四、与静电相关的几个物理量静电荷 存在的剩余电荷 库仑定律库仑定律 定律的内容:真空中两个点电荷之间的相互作用力,跟它们的电荷量的乘积成正比,跟它们距离的平方成反比,作用力的方向在它们的连线上。F=Kq1q2(r2
5、)静电压静电压 带静电电荷物体之间或它们与大地之间的电势差。静电防护基础知识第8页,此课件共41页哦静电压 V=Q/C=Q*d/(A*)Q电荷量C电容量d等效平板电容器两板之间的距离A等效平板电容器的面积两板间物质的介电常数 环境的湿度和空气中离子的密度也直接影环境的湿度和空气中离子的密度也直接影响静电产生的大小。响静电产生的大小。静电防护基础知识第9页,此课件共41页哦五、静电放电的几种模式p 人体放电模式HBM(human body model)p 机器放电模式MM(machine model)p 充电器件放电模式CDM (charged-device model)静电防护基础知识第10页
6、,此课件共41页哦六、静电放电敏感器件(SSD)静电损伤机理:u 热击穿;由于半导体的热时间常数比静电放电脉冲时间长,所以静电放电产生的热量从热量耗散面积向外散热好少因而在器件形成较大的温度梯度.u 介质击穿;加在绝缘层两端的电压超过介质击穿电压时,会发生介质击穿.u 气体电弧放电;如果器件中没有被钝化的薄电极之间间距很小场强超过气体击穿场强时会引起电弧放电,造成瞬间气体电弧放电,造成瞬态电流过大使器件受到损坏.静电防护基础知识第11页,此课件共41页哦静电敏感度介于01999V的元件为1级静电敏感度介于20003999V的元件为2级静电敏感度介于400015999V的元件为3级静电放电敏感器
7、件(SSD)等级静电防护基础知识第12页,此课件共41页哦七、静电防护材料、设备:导电材料:表面电阻率(表面阻抗)小于1105欧姆或体电阻率小于1104欧姆/厘米 耗散材料:表面电阻率大于或等于1105而小于11012欧姆,或体电阻率大于或等于1104而小于11011欧姆/厘米的材料。屏蔽材料:表面电阻率小于1104欧姆或体电阻系数小于1103欧姆/厘米 绝缘材料:表面电阻率大于11012欧姆或体电阻率大于11011欧姆/厘米 静电防护基础知识第13页,此课件共41页哦表面电阻率表面电阻率 沿试样表面电流方向的直流电场强度与电流密度之比,单位为:。体积电阻率体积电阻率 沿试样体积电流方向的直流
8、电场强度与电流密度之比,单位为:/cm2。静电保护区静电保护区EPA(Electrostatic protected area)防静电等级要求较高的工作区。配备各种防静电装备(用品)和设置接地系统(等电位连接),能限制静电的积累和电位,具有确定边界和专门标记的生产,维护,存储,使用,装配SSD的场所。静电防护基础知识第14页,此课件共41页哦等级防护区的静电电位最高限值1100V2500V31000V静电防护基础知识静电防护等级第15页,此课件共41页哦电子工业中的静电问题静电的主要来源:l 人体静电(特别强调)l 仪器和设备的静电l 元器件本身的静电l 其它静电如元件的制造、搬运、储存、测量
9、等 静电的安全泄放电流:小于静电的安全泄放电流:小于5 5毫安毫安静电防护基础知识第16页,此课件共41页哦二、人体静电p 人体电势是最重要的静电源人体电势是最重要的静电源,这主要有三个方面的原因这主要有三个方面的原因:1.1.人体接触面广人体接触面广,活动范围大活动范围大.2.2.人体与大地间的电容很低人体与大地间的电容很低.3.3.人体的电阻很低相当于一个良导体人体的电阻很低相当于一个良导体p 影响人体静电的因素影响人体静电的因素:1.1.人体静电与人体所接触的环境以及活动的方式有人体静电与人体所接触的环境以及活动的方式有.如下图所示的如下图所示的 动作动作与静电的变化与静电的变化;静电防
10、护基础知识第17页,此课件共41页哦10010001500810V走坐脚抬起1550V(站起)脚放下1400V坐下动作5KV/S3.8KV/S3.2KV/SV人在不同动作时的静电压变化静电防护基础知识第18页,此课件共41页哦p 影响人体静电的因素影响人体静电的因素:1.1.人体静电与环境湿度有关人体静电与环境湿度有关,湿度越低则静电势越高湿度越低则静电势越高;2.2.人体静电与衣物人体静电与衣物,鞋帽的材料有关鞋帽的材料有关,化纤制品较棉制品更易产生静电化纤制品较棉制品更易产生静电;3.3.人体静电与个人的体质有关人体静电与个人的体质有关,主要表现在人体等效电阻和人体等效电容上主要表现在人体
11、等效电阻和人体等效电容上.4.4.人体静电与个人的操作速度有关人体静电与个人的操作速度有关,操作速度越快操作速度越快,人体静电势越高人体静电势越高.5.5.人体各个部位所带的静电电荷不是均等的人体各个部位所带的静电电荷不是均等的,一般认为手腕的静电势最高一般认为手腕的静电势最高静电防护基础知识第19页,此课件共41页哦二、仪器和设备的静电仪器设备外壳也会由于摩擦或静电感应带上静电仪器设备外壳也会由于摩擦或静电感应带上静电.如传输带在传如传输带在传动的过程中与转轴接触和分离产生的静电动的过程中与转轴接触和分离产生的静电;接地不良仪器金属接地不良仪器金属外壳在电场中感应产生静电等外壳在电场中感应产
12、生静电等三、器件本身的静电电子器件的外壳电子器件的外壳(主要指陶瓷主要指陶瓷,玻璃和塑料封装管壳玻璃和塑料封装管壳)与绝缘材料相与绝缘材料相互摩擦互摩擦,也会产生静电也会产生静电.静电防护基础知识第20页,此课件共41页哦基本思路及方法:1、控制静电产生工艺控制法防止静电产生2、防护静电耗散及泄漏(主讲)静电耗散及泄漏法静电屏蔽与接地静电中和法环境增湿电子产品ESD的防护设计静电防护标识静电防护原理静电防护基础知识第21页,此课件共41页哦一、静电耗散及泄漏:将生产环境和各种操作过程中产生的静电迅速耗散,以及泄漏是防止静电危害行之有效的方法.静电耗散及泄漏的一般要求1.静电耗散原理:将电子生产
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