ESD控制管理办法.pdf

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1、1.目的 1.1 减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足客户需求。1.2 通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产车间、不同产品，供应商和外协之间的 ESD 行为。1.3 通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。2.范围 2.1 本规范保护经静电防护的全过程，适用于本公司静电放电防护控制方案的设计、使用、管理、维护和检验，也适用于本公司供应商、外协厂方和合作方等于敏感件相关各方，同时也适用于公司产品的最终用户的静电放电防护控制 2.2 本规范内容包括制造、处理、组装、安装、测试、检验、包装等在处理电子零件、半成品、成品中，对静电放电损害的敏

2、感度超过或等于人体模式 100V、带电器件模型 200V 及孤立导体 35V 的情况。对今后处理的静电敏感元器件的敏感电压低于上述三种任何模式中的任何一种时，必须在本规范要求的基础上重新评估，增加相关的特殊防护要求。3.组织结构和职责 3.1 ESD 组织：执行全员参与的原则，总负责人为技术部负责人，负责 ESD 管理体系的运行，协调 ESD 工作组内各成员的工作，持续改进 ESD 运行体系使其满足适宜性，充分性和有效性；3.2 工艺技术室：主要负责 ESD 管理制度的制定、ESD 防护的规划、审批和发布4.名词解释 ESD:静电释放 EPA:静电敏感区；UPA:非静电敏感区；ESSD：静电敏

3、感元件；5.静电防护区域及标示 5.1 我司的防静电工作区：分为一级 EPA、二级 EPA 以及非防静电区域：一级 EPA 区域：SMT，烧录房,敏感元件仓；二级 EPA 区域：成型组、老化房、AI、MI 生产线内的返修区及、修工位等所有区域。库房和在线库。实验室、样板房。IQC、FQC。UPA 区域：办公室、电工房等不接触静电敏感器件及产品的区域；5.3 不同区域的标识：5.3.1 局部静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为510CM 这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。示例图 A，具体的标示，见附件。安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。

4、6.3 防静电接地系统:防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地体，所有人体、工作台、台垫、工具等以并联的方式接入防静电接地体。方法 1：优选方式。在远离防雷地线和建筑物 20m 以上的潮湿地面上，选用不少于 3 根截面积大于 100 平方的镀锌钢接地棒，一字型间距 5 米，使用降阻剂深埋 2M 以上，再用不小于 100 平方的扁钢将三点焊接在一起，（截面不小于 16mm2的铜芯软线）单独引入室内，使用不小于 6 mm2的铜芯软线连接到车间生产线公共接地点，然后设备、人员、设施使用不小于 1.25 平方的铜芯软线接入。防静电区域内的台面、设备、仪器、工具及相关人员的防静电接地从公共接地点引入（

5、如图 1）图 1 采用 ESD 防静电接地示意图 1）防静电区域可以设置单点或多点的公共接地点，公共接地点之间为并联结构，公共接地点到末端接地点采用黄绿色，导线直径不得低于 2.5mm2；2）落地的专用设备、测试仪器在使用电气保护接地后没有必要进行防静电接地，电气保护地与设备、仪器外壳必须进行可靠连接。3）严禁使用防静电接地线作为设备保护接地线。方法 2：备选方案（电气保护地）。采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地

6、电阻应小于 4。在防静电地不具备的、或特殊场合公共接地点的接地方式可以采用设备保护地，参考图 2。1）采用电气保护地与公共接地点连接时，公共接地点与电气保护地（控制箱中）之间的阻抗小于 1.0；2）人体腕带、台垫、防静电器具等串连 1M的电阻接入公共接地点（软接地），设备、仪器、AC 工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。图2 采用ESD防静电接地示意图 6.3.3 EPA 内硬件设施的接地要求：1）EPA 内所有仪器、AC 工具、金属体及等必须连接到公共接地点上，人体腕带、防静电台垫、防静电地垫、导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接 1M电阻（或等效串接 1M的电阻）后连接到公共接地配置

7、系统上。接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小。图3 典型的EPA接地系统图 2）防静电工作台的接地采用公共接地点方式，工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插口等都连接到公共接地点。工作台的公共接地点应方便连接，工作台的移动时保证接地系统变化最小。防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插孔，以便于操作者腕带的接地。3）静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在1106R1.0109（不依赖于相对湿度）。4）防静电工作区第一次安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。5）

8、为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体外壳或大面积的金属（如工作台边缘）偶然接触，这些位置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离。6）所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件。腕带的接地线应该直接接香蕉插孔，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。7）串联接地是不可接受的一种接地方法。8）由于安全原因，EPA内裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。6.4 设备接地要求 所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠连接电源系统安全地线。摩擦静电压Vf：Vf 100V；常用的周转工具有：周转箱、防静电器件盒

9、、防静电成形泡沫盒等。6.6.2.2 周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。周转车必须至少有两个轮子是防静电的，在此基础上再增加接地链，缺一不可。使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板（如存放于库房）时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。6.6.3 防静电台面的使用 接触到静电敏感器件、产品的台面、运输平面等，需使用防静电胶皮进行防护；其防静电性能需满足下述要求：表面电阻Rs：1.0106 Rs 1.0109；底层表面电阻：1.0103 Rs 1.0105；表面体积电阻Rv：1.0105 Rv 1.0108；

10、摩擦静电压Vf：Vf 100V；系统电阻是否满足要求；6.6.4 防静电工具的使用：作业过程中接触到静电敏感元件或产品工具均需使用防静电材料，如清洁单板和产品的毛刷必须使用防静电毛刷，材料的表面电阻满足1.0104R1.0 1011，摩擦电压小于100V或静电电压耗散到100V以下的时间小于2秒、禁止使用7.2.2 主要的静电系统点检标准及频次（此处未包含，但点检表内要求点检的内容，同样遵照执行）：1）静电地线接地电阻和设备电气保护地线接地指接地体与大地之间的接触电阻4，要求季度至少检查一次；2）静电地线主线导通性检查，指静电主线末端到接地体的电阻10，要求季度至少检查一次；3）各静电支线对主

11、线导通性检查，指各静电支线末端到静电主线的电阻10，要求每月度至少检查一次；4）静电防护台面表面电阻测试，表面电阻Rs:1.0106 Rs 1.0109，要求每月度至少检查一次；5）设备的接地线导通性，指设备外壳和设备的地线接地点间电阻10；要求每月至少检查一次；6）烙铁的接地线导通性，指烙铁头和硬接地接地点电阻20；要求每天至少检查一次；7）静电手环检查，既静电手环接触片到连接点的电阻1M20%，要求每天至少检查一次；8）环境温湿度检查，要求每天至少检查一次；9）防静电衣、帽、鞋要求每季度至少检查一次；10）静电电压监测:一级EPA区域静电电压控制小于100V，二级EPA区域静电电压控制小于

12、250V，每月检查至少一次；4)认证应该包括笔试和实际操作认证，员工实际操作中的静电防护的优良表现、问题改进以及错误行为和ESD事故都应记录在员工的考核信息中。5)把通过ESD认证的信息记入员工的培训记录里，记录包括通过认证的时间和成绩。9、记录的保存 9.1 ESD稽查要求对所有日常ESD检测记录、员工的培训考核进行检查，稽查报告和整改简报也是复查的参考依据，因此要求ESD控制过程中的一切正式的记录数据和报告必须保持一定的时间段，并有专门的保存方法。9.2 各部门的ESD点检记录表由部门统一保管，培训记录由管理部统一管理；9.3 ESD相关的记录，保存期限按照下列要求执行 1）员工的ESD培训记录和考核结果要保持两年。2）环境温度湿度记录要保持两年。3）静电地线点检记录要保存两年。4）设备地线点检记录要保存两年。5）防静电台面的检测记录要保存两年；6）季度审核记录以及采取的整改措施要保持一年。7）台垫、腕带等接地的测试数据要保持一年。上述所有检测、检查记录、文件报告超过要求的保存期4个月后，方可自行销毁。