洁净技术讲稿6.pptx

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1、空空 气气 洁洁 净净 技技 术术6 室内微粒的运动室内微粒的运动 洁洁净净技技术术的的任任务务，控控制制室室内内的的微微粒粒数数或或含含量量，来来保保证证微微粒粒不不落落在在产产品品上上，手手术术伤伤口口处处及及药药品品内内等等，而而微微粒粒的的下下落落或或沉沉积积受受多多种因素的影响，有必要对微粒的运动有一较全面的了解。种因素的影响，有必要对微粒的运动有一较全面的了解。6.1 作用在微粒上的力作用在微粒上的力解决微粒的表面沉降和那些因素有关。教材归纳为五种：解决微粒的表面沉降和那些因素有关。教材归纳为五种：1)质量力：与微粒质量成比例的力，重力，惯性力。质量力：与微粒质量成比例的力，重力，

2、惯性力。2)分分子子作作用用力力：由由气气体体分分子子运运动动撞撞击击微微粒粒运运动动的的力力，如如扩扩散散力力，分子热运动脉动撞击微粒而运动，针对小微粒分子热运动脉动撞击微粒而运动，针对小微粒0.3m。3)场力：除重力场以外的场力，电场力、磁场力等。场力：除重力场以外的场力，电场力、磁场力等。4)粒子间的吸引力。粒子间的吸引力。5)气气流流力力：送送、回回风风气气流流，热热上上升升汽汽流流，甚甚至至人人员员走走动动，物物体体移动形成的气流携带微粒的运动的力。移动形成的气流携带微粒的运动的力。就就分分析析微微粒粒在在室室内内的的运运动动而而言言，五五种种力力中中影影响响最最大大的的是是气气流流

3、力，其次是质量力（重力、惯性）和扩散力，其余两种可以忽略。力，其次是质量力（重力、惯性）和扩散力，其余两种可以忽略。6.2 微粒的重力沉降微粒的重力沉降 微微粒粒有有质质量量就就受受到到重重力力F1作作用用，占占有有体体积积就就受受到到期期周周围围介介质质的的浮浮力力F2，这这两两个个力力方方向向相相反反，在在二二力力综综合合作作用用下下微微粒粒要要移移动动，就就受受到到与与运运动动方方向向相相反反的的周周围围介介质质给给予予的的阻阻力力F3，三三个个力力的表达式分别为：的表达式分别为：重力重力 N（1）浮力浮力 N（2）实为介质重量实为介质重量 阻阻力力等等于于微微粒粒相相对对运运动动的的速

4、速度度头头与与垂垂直直于于运运动动方方向向微微粒粒投投影影面积的乘积，还要乘以与介质间的阻力系数。面积的乘积，还要乘以与介质间的阻力系数。阻力阻力 N（3）当当三三力力达达到到平平衡衡时时，即即F1-F2=F3，微微粒粒等等速速沉沉降降，这这时时用用vs表表示沉降速度，将各力的表达式代入平衡式，整理得示沉降速度，将各力的表达式代入平衡式，整理得 m/s（6-4）这这是是一一个个普普遍遍适适用用的的公公式式，阻阻力力系系数数取取决决于于流流态态实实际际，由由雷雷诺诺数太小决定的取值。数太小决定的取值。当当Re小于等于小于等于1时，对于球形微粒，空气的阻力可写为：时，对于球形微粒，空气的阻力可写为

5、：（5）即即为为斯斯托托克克斯斯公公式式，已已出出现现过过多多次次，与与公公式式（3）描描述述同同一一过过程程，整理得整理得 （6-6）公公式式表表明明，阻阻力力与与微微粒粒的的速速度度的的一一次次方方成成正正比比，公公式式是是在在Re很很小小情情况况下下推推出出的的，Re1时时正正比比关关系系不不能能成成立立，需需修修正正。对对于于非非球球形形微微粒粒，阻阻力力要要大大一一些些，体体现现在在阻阻力力系系数数上上乘乘以以大大于于1的的修修正正系系数数，不不同同形形状状的的见见表表6-2，在空气中的微粒在空气中的微粒 ，则，则 m/s解出解出vs 当当 kg/m3 cm/s 对对于于粒粒径径小小

6、于于1m的的粒粒子子，其其大大小小与与气气体体分分子子的的平平均均自自由由行行程程相相接接近近（20时时空空气气平平均均自自由由行行程程0.065m），粒粒子子表表面面气气体体分分子子稀稀薄薄。因因而而在在粒粒子子表表面面形形成成气气体体滑滑流，对粒子的阻力相对减少，即沉降速度加大。流，对粒子的阻力相对减少，即沉降速度加大。C为库宁汉修正系数为库宁汉修正系数（6-11）为空气分子的平均自由行程。为空气分子的平均自由行程。6.3 微粒在惯性力作用下的运动微粒在惯性力作用下的运动 惯惯性性力力作作用用下下的的运运动动是是指指微微粒粒在在外外力力的的作作用用下下获获得得初初速速度度后后外外力力立立刻

7、刻消消失失，微微粒粒仅仅靠靠惯惯性性维维持持运运动动，典型的例子。典型的例子。当当微微粒粒受受外外力力作作用用以以v0为为初初速速作作水水平平运运动动时时，用用牛顿定律表示为牛顿定律表示为（6-12）F为外力，对于所讨论的惯性力情况为外力，对于所讨论的惯性力情况F=0。F3空气阻力，对于小微粒，空气阻力，对于小微粒，Re1可用斯托克斯公式，可用斯托克斯公式，对对1m还要考虑滑动修正，还要考虑滑动修正，C 1。代入代入F3整理得，整理得，令，令，则则积分并求出速度，得：积分并求出速度，得：在时间在时间t内，在惯性作用下粒子运动的距离内，在惯性作用下粒子运动的距离当当t=时时，为为微微粒粒运运动动

8、的的最最大大距距离离，但但值值很很小小，在在气气溶溶胶胶力力学学中中称称“张张驰驰时时间间”，当当dp=10m，p=2000 kg/m3时时，在在标标准准状状态态下下仅仅为为6.0710-4 v0秒秒，因因而而即即使使初初速速v0很很大大，微微粒粒飞飞行行距距离离很很短短，特特别别是是1m以以下下的的小小粒粒子子，仅仅为为万万分分之之几几厘厘米米到到千千分分这这几几厘厘米米，实实际际工工程程中中的的一一次次尘尘化化作作用用不不足足以以造造成成粉粉尘尘飞飞扬扬的道理是一致的。的道理是一致的。6.4 微粒的扩散运动微粒的扩散运动 前前面面曾曾多多次次提提到到微微粒粒的的扩扩散散运运动动是是由由于于

9、空空气气分分子子运运动动撞撞击击微微粒粒而而引引起起微微粒粒的的运运动动，图图6-3图图示示微微粒粒作作扩扩散散运运动动的的起起因因及及运运动动情情况况，(a)空空气气分分子子作作不不规规则则的的布布朗朗运运动动，无无规规律律可可循循；(b)气气体体分分子子撞撞击击微微粒粒，当当各各个个方方向向撞撞击击的的力力不不平平衡衡时时将将产产生生移移动动；(c)图图微微粒粒在在一一个个时时间间段段内内，受受气气体体分分子子撞撞击击后后移移动动的的轨轨迹迹，撞撞击击是是随随时时的的，方方向向不不定定。轨轨迹迹是是连连续续的的但但无无规规律律可可循循。前前苏苏联联学学者者付付克克斯斯在在1960年年出出版

10、版的的气气溶溶胶胶力力学学一一书书中中给给出出1秒秒钟内微粒在给定方向平均位移的绝对距离计算式：钟内微粒在给定方向平均位移的绝对距离计算式：D为为微微粒粒在在空空气气中中的的扩扩散散系系数数cm2/s，传传热热学学中中给给出出物物理理意意义义：沿沿扩扩散散方方向向在在单单位位时时间间内内，每每单单位位浓浓度度降降低低的的情情况况下下通通过过单单位位面面积积扩扩散散的的物物质质量量，其其值值与与浓浓度度无无关关，随随温温度度高高而而升升高高，随随压压力力加加大大而而下下降降，温温度度压压力力一一定定，D为为定定值值。如如在在标标准准大大气气压压和和0时时，水水蒸蒸汽汽、SO2在在空空气气中中的的

11、扩扩散散系系数数分分别别为为0.22cm2/s和和0.103cm2/s。而而微微粒粒的的扩扩散散系系数数却却与与粒粒径径有有关关dpD，由由图图6-4可可看看出出微微粒粒的的D很很小小，因因而而t=1s时时，微微粒粒由由扩扩散散而而运运动动的的距距离离也也很很小小，在在10-4cm量级。量级。我我们们已已了了解解到到微微粒粒靠靠重重力力沉沉降降，其其沉沉降降速速度度很很慢慢，如如粒粒径径1m的的微微粒粒，vs=0.006cm/s，下下落落1m距距离离需需4.6h，很很不不易易沉沉降降，而而在在惯惯性性力力作作用用下下和和微微粒粒的的扩扩散散运运动动，其其运运动动的的距距离离又又是是很很小小的的

12、。我我们们需需要要了了解解微微粒粒是如何在表面上沉积的，与哪些因素有关。是如何在表面上沉积的，与哪些因素有关。6.5 微粒在表面上的沉积微粒在表面上的沉积（1）微粒在无送风室内垂直表面上的扩散沉积）微粒在无送风室内垂直表面上的扩散沉积 在在无无送送风风室室内内并并不不意意味味着着空空气气完完全全静静止止，实实际际上上是是有有对对流流存存在在的的，而而在在传传热热学学中中扩扩散散除除微微观观分分子子扩扩散散外外，还还有有涡涡流流扩扩散散。对对于于我我们们讨讨论论的的微微粒粒扩扩散散沉沉积积问问题题，扩扩散散作作用用也也是是包包括括两两部部分分，即即远远离离表表面面的的对对流流扩扩散散和和离离表表

13、面面很很近近一一层层内内的的由由分分子子扩扩散散引引起起的的微微粒粒的的扩扩散散沉沉积积，而而惯惯性性作作用用引引起起微微粒粒的的水水平平运运动动会会在在垂垂直直表表面面引引起起的的沉沉积积，但但在在无无送送风风室室内内其其不不存存在在，其其在在垂垂直直表表面面引起的沉积不考虑。引起的沉积不考虑。前苏联学者付克斯把两种扩散统一起来，解决了前苏联学者付克斯把两种扩散统一起来，解决了在微粒垂直表面上的沉积计算问题，前提是已知微粒在微粒垂直表面上的沉积计算问题，前提是已知微粒由分子扩散而产生的扩散系数由分子扩散而产生的扩散系数D，而不是分子的扩散系而不是分子的扩散系数。数。对对于于在在表表面面沉沉积

14、积问问题题，由由于于沉沉积积而而造造成成微微粒粒浓浓度度对对时时间间的的变变化化率率和和微微粒粒的的浓浓度度成成正正比比，适适应应于于各各种种沉沉积积作用。作用。（6-18）整理后积分整理后积分 （6-19）由由于于室室内内无无风风，那那么么空空气气中中微微粒粒的的浓浓度度由由于于沉沉积积作作用用是是逐逐渐渐减减少少的的，两两个个扩扩散散作作用用看看成成两两段段，在在紧紧靠靠垂垂直直平平面面的的一一薄薄层层约约为为20m左左右右，为为分分子子扩扩散散层层，由由于于分分子子扩扩散散的的作作用用使使微微粒粒沉沉积积到到平平面面上上，使使得得薄薄层层内内微微粒粒浓浓度度下下降降，而而对对流流扩扩散散

15、作作用用又又使使薄薄层层内内的的浓浓度度与与室室内内趋趋于于一一致致，而而室室内内空空气气中中微微粒粒的的浓浓度度总总体体又又是是随随时间下降的。时间下降的。由由于于室室内内无无风风，那那么么空空气气中中微微粒粒的的浓浓度度由由于于沉沉积积作作用用是是逐逐渐渐减减少少的的，两两个个扩扩散散作作用用看看成成两两段段，在在紧紧靠靠垂垂直直平平面面的的一一薄薄层层约约为为20m左左右右，为为分分子子扩扩散散层层，由由于于分分子子扩扩散散的的作作用用使使微微粒粒沉沉积积到到平平面面上上，使使得得薄薄层层内内微微粒粒浓浓度度下下降降，而而对对流流扩扩散散作作用用又又使使薄薄层层内内的的浓浓度度与与室室内

16、内趋趋于于一一致致，而而室室内内空空气气中中微微粒粒的的浓浓度度总总体体又又是是随时间下降的。随时间下降的。在粒子扩散系数为在粒子扩散系数为D（单位时间内，在单位浓度下降情况下，单位时间内，在单位浓度下降情况下，通过单位面积扩散的物质量通过单位面积扩散的物质量）在）在层内，由于扩散浓度变层内，由于扩散浓度变化由化由N0表面，浓度降为表面，浓度降为N/粒粒/cm3cm），），所以单位所以单位时间内由于扩散沉积到单位垂直表面积上的微粒为时间内由于扩散沉积到单位垂直表面积上的微粒为 粒粒/cm2s。若室内垂直表面积为若室内垂直表面积为S，而在而在dt时间时间内，由于扩散沉积的粒子数为内，由于扩散沉积

17、的粒子数为SIdt，该值应等于室内空该值应等于室内空气中微业数的变化。气中微业数的变化。（6-21）代入代入 得得则则将将代入代入 （6-19）整理得：整理得：为由于扩散作用使微粒在垂直表面沉积而引为由于扩散作用使微粒在垂直表面沉积而引 起室内微粒浓度随时间变化的表达式。由此可起室内微粒浓度随时间变化的表达式。由此可计算任一时间因扩散沉积到单位面积垂直表面上的微粒数为计算任一时间因扩散沉积到单位面积垂直表面上的微粒数为 粒粒/cm2具体量化一下，一具体量化一下，一(万级万级)洁净车间洁净车间 6.105.002.6m t=3.6103s D=6.21010-7-7cm2/s cm2/s（查图）

18、查图）取取=20m (d0.5m)N0=0.35粒粒/cm3 粒粒/cm2（2）微粒在无送风室内水平面上的沉积）微粒在无送风室内水平面上的沉积 扩扩散散作作用用同同样样也也影影响响微微粒粒在在水水平平面面上上的的沉沉积积，同同样样也也包包括括分分子子扩扩散散和和对对流流扩扩散散，影影响响微微粒粒在在平平面面上上沉沉积积的的另另一一因因素素是是沉沉降降。从从重重力力沉沉降降一一节节我我们们知知道道粒粒子子的的沉沉降降速速度度与与微微粒粒的的粒粒径径、密密度度和和气气体体粘粘性性有有关关，在在常常温温t=20空气中空气中p=2000kg/m3时时，vs0.610-2dp2 cm/s，仅取决于粒径的

19、平方，而扩散作用在离平面很仅取决于粒径的平方，而扩散作用在离平面很近时，空气对流速度趋近于零，对流扩散影响可忽略，近时，空气对流速度趋近于零，对流扩散影响可忽略，只考虑分子扩散所引起微粒的扩散，只考虑分子扩散所引起微粒的扩散，它只影响微粒的它只影响微粒的浓度而不影响沉降速度浓度而不影响沉降速度，所以在，所以在t 时间内沉降在单位面时间内沉降在单位面积上某个粒径的微粒数表示为积上某个粒径的微粒数表示为 粒粒/cm2 （6-24）扩散作用体现在扩散作用体现在N内。内。在在没没有有送送风风室室内内，没没有有新新的的微微粒粒来来源源，因因而而单单位位面面积气柱中微粒数的减少等于沉积到平面上的微粒数积气

20、柱中微粒数的减少等于沉积到平面上的微粒数 整理积分得整理积分得代入代入 （6-24）式积分）式积分粒粒/cm2仍仍 用用 前前 面面 万万 级级 洁洁 净净 车车 间间 的的 例例 子子 计计 算算,室室 内内 尺尺 寸寸6.105.002.6m，与与计计算算相相关关量量：H=2.6m=260cm，室内粒子浓度（洁净度）室内粒子浓度（洁净度）N0=0.35粒粒/cm3，沉沉积积时时间间t=3600秒秒 cm/s 粒粒/cm2 对对于于垂垂直直面面，粒粒径径的的影影响响体体现现在在D中中，对对于于水水平平面面，粒径的影响体现在粒径的影响体现在vs中。中。（3）微粒在送风室内平面上的沉积）微粒在送

21、风室内平面上的沉积 与与没没有有送送风风的的室室内内微微粒粒的的沉沉积积情情况况相相比比，有有送送风风时时室室内内空空气气中中微微粒粒的的浓浓度度N可可以以看看作作常常量量，不不因因沉沉积积而而发发生生变变化化，而而无无送送风风时时N是是随随时时间间而而减减少少的的。对对于于微微粒粒在在有有送送风风的的室室内内平平面面上上的的沉沉积，日本两名学者提出沉积量计算公式。积，日本两名学者提出沉积量计算公式。粒粒/cm2 （6-26）N空气中微粒浓度，空气中微粒浓度，粒粒/cm3；vs沉降速度，沉降速度，cm/s；f 沉积面积，沉积面积，cm2；hs房间高度；房间高度；h沉积平面到顶棚距离；沉积平面到

22、顶棚距离；n换气次换气次数；数；T沉积时间。单位统一沉积时间。单位统一由于由于vs很小，很小，故上式简化为，故上式简化为 粒粒/cm2（6-27）仅适用于有送风的情况，而且是大的平面，而我仅适用于有送风的情况，而且是大的平面，而我 们们关关心心的的是是微微粒粒在在工工件件上上的的沉沉降降数数，如如集集成成电电路路板板上上，属属局局部部平平面面。由由于于有有气气流流会会绕绕过过局局部部平平面面，这这时时引引起起在在局局部部平平面面上上沉沉积积的的因因素素不不止止沉沉降降一一种种，还还有有惯惯性性、拦拦截截和和扩扩散散等等，需需逐逐个个考考虑虑。我我们们以以沉沉积积效效率率这这种种相相对对量量的的

23、形形式式比比较较它它们们的大小。的大小。1）惯性沉积）惯性沉积类似于惯性效应，惯性沉积效率类似于惯性效应，惯性沉积效率 其中惯性参数其中惯性参数表表6-6给给出出dp、局局部部平平面面直直径径及及气气流流速速度度u与与的的关关系系，可可见见dp越越大大，St，平平面面直直径径越越小小，St。对对大大平平面面，不不考考虑虑惯惯性性沉沉降降的的影响。影响。2）拦截沉积）拦截沉积很类似于第三章孤立单根纤维拦截过滤效率很类似于第三章孤立单根纤维拦截过滤效率 （3-3）对于对于Re较大的情况，较大的情况，如如Re=13.7，而拦截而拦截参数变为参数变为所以拦截沉降效率所以拦截沉降效率 其具体值见表其具体

24、值见表6-7。3）沉降沉积）沉降沉积微粒在局部平面的沉降沉积效率微粒在局部平面的沉降沉积效率也为很小的值，见表也为很小的值，见表6-8。4）扩散沉积）扩散沉积 前前面面提提到到，对对于于水水平平面面而而言言，对对流流扩扩散散系系数数趋趋于于零零，在在距距平平面面很很近近的的薄薄层层内内，分分子子扩扩散散在在起起作作用用，微微粒粒的的扩扩散散沉沉积积量量要要小小于于其其对对于于垂垂直直表表面面的的沉沉积积量量，其其沉沉积积的的几几率是很小的。率是很小的。教教材材以以集集成成电电路路用用直直径径3cm硅硅片片为为例例，在在两两种种粒粒径径微微粒粒条条件件下下，将将上上述述四四种种途途径径沉沉积积的

25、的几几率率列列出出，其其相相对对大大小小顺顺序序为为：沉沉降降沉沉积积、拦拦截截沉沉积积和和扩扩散散沉沉积积，各各高高出出一一个数量级，惯性沉积趋于零。个数量级，惯性沉积趋于零。我我们们已已解解决决了了平平面面上上沉沉降降沉沉积积的的计计算算问问题题，在在沉沉降降沉沉积积的的基基础础上上乘乘以以一一大大于于的的修修正正系系数数将将拦拦截截和和扩扩散散沉沉积积的的因因素素考考虑虑进进去去，可可以以简简化化计计算算。按按教教材材给给的的数数据据：对对于于1m微微粒粒，修修正正系系数数应应为为1.3，对对5m修修正正系系数数为为1.2，经核算教材上边的各效率，对，经核算教材上边的各效率，对5m应为应

26、为1.06。那那么么在在有有送送风风的的室室内内，T时时间间内内，以以风风速速为为u通通过过面面积为积为f平面的一段气流中，在单位面积上沉积的微粒量平面的一段气流中，在单位面积上沉积的微粒量（6-31）随着随着dp，修正系数修正系数a。对对于于多多分分散散微微粒粒，vs值值应应按按某某个个平平均均粒粒径径计计算算，由由于于微微粒粒的的沉沉降降速速度度主主要要受受空空气气阻阻力力的的影影响响，而而该该阻阻力力和和微微粒粒的的投投影影面面积积成成正正比比，所所以以应应该该用用平平均均面面积积直直径径，也就是第一章中提到的也就是第一章中提到的 9 种平均直径中种平均直径中的即平均面积直径作为全部微粒

27、的平均的即平均面积直径作为全部微粒的平均直径。直径。这样，由这样，由Dsv vs s=0.610=0.610-2-2d dg g2 2N Ng g。表表6-9列列出出几几间间洁洁净净间间沉沉积积数数量量的的实实测测值值与与计计算算值值的的对比，差别不是很大。对比，差别不是很大。用用平平面面上上的的沉沉积积量量与与前前面面讲讲到到的的在在垂垂直直面面上上的的沉沉积积计计算结果比，水平高是垂直面沉积量的几十倍。算结果比，水平高是垂直面沉积量的几十倍。学学习习了了上上述述内内容容，在在已已知知室室内内空空气气中中微微粒粒浓浓度度情情况况下下，在在不不考考虑虑室室内内微微粒粒发发生生源源的的情情况况下

28、下，我我们们可可以以计计算算在在水水平平面面和和垂垂直直面面上上的的沉沉积积量量。如如果果工工艺艺提提出出对对单单位位面面积积沉沉积积量量的的限限制制，我我们们可可以以反反推推出出所所要要求的微粒浓度，即洁净度。求的微粒浓度，即洁净度。6.6 气流对微粒运动的影响气流对微粒运动的影响（1）影响室内微粒分布的因素）影响室内微粒分布的因素 前面在讨论微粒的沉积的作用因素时，曾分析由前面在讨论微粒的沉积的作用因素时，曾分析由于重力惯性力和扩散所造成的微粒的运动的速度很小，于重力惯性力和扩散所造成的微粒的运动的速度很小，每秒千分之几厘米，所以它们的存在不会对室内微粒每秒千分之几厘米，所以它们的存在不会

29、对室内微粒的浓度分布造成影响，但室内的送回风气流及其它由的浓度分布造成影响，但室内的送回风气流及其它由于热表面及人员行走所行成的气流速度一般均大于于热表面及人员行走所行成的气流速度一般均大于0.1m/s，足以携带微粒移动较长的距离，特别是室内足以携带微粒移动较长的距离，特别是室内的气流组织不是平行流而是乱流、室内又有微粒发生的气流组织不是平行流而是乱流、室内又有微粒发生源的时候，这些气流会影响到室内微粒的浓度分布。源的时候，这些气流会影响到室内微粒的浓度分布。微粒密度较大会不会偏离气流的轨迹不跟随气流运动，微粒密度较大会不会偏离气流的轨迹不跟随气流运动，实际情况是小微粒基本不会偏离气流流线的。

30、实际情况是小微粒基本不会偏离气流流线的。从从两两点点可可以以说说明明：跟跟随随速速度度概概念念，由由于于微微粒粒密密度度远远大大于于空空气气，在在气气流流中中所所受受到到的的力力与与同同体体积积气气体体相相比比有有差差异异，因因而而是是造造成成其其速速度度与与携携带带微微粒粒的的气气流流速速度度有有差差异异。我我们们称称微微粒粒具具有有的的速速度度为为跟跟随随速速度度，该该速速度度可可以以从从受受力力分分析析中中求求得得。以以与与气气流流速速度度的的相相对对值值的的形形式式给出。当微粒的密度与空气一样，其在空气中所受给出。当微粒的密度与空气一样，其在空气中所受力为力为 ，而实际密度为，而实际密

31、度为p，所受力与气所受力与气球体有所不同，粒子速度并不完全与空气相同，其运球体有所不同，粒子速度并不完全与空气相同，其运动方程为动方程为 （6-32）Fr为存在相对运动时的阻力为存在相对运动时的阻力 解该方程得解该方程得 （6-33）式中，式中，a、b、c为物性参数数组，为物性参数数组，为湍流脉动频率。为湍流脉动频率。当当p=1g/cm3时，时，dp=5m ，dp=1m，dp 50m，遵循推出的公式；遵循推出的公式；dp50m，dpu。作者建议把。作者建议把dp=10m的悬浮速度作为控制速度，通过实验取的悬浮速度作为控制速度，通过实验取u=20cm/s，因此因此要求吹过洁净室水平面的气流速度不

32、高于要求吹过洁净室水平面的气流速度不高于20cm/s，对于地面对于地面附附近，正是近，正是回流速度，设计送风方式时要作考虑。回流速度，设计送风方式时要作考虑。（3）热对流气流的影响）热对流气流的影响 实实际际是是室室内内发发热热表表面面包包括括人人体体表表面面使使的的周周围围空空气气被被加加热热，密密度度发发生生变变化化引引起起气气流流上上升升，携携带带微微粒粒运运动动到到其其它它位位置置，对对空空气气洁洁净净的的不不利利影影响响是是会会把把局局部部污污染染原原扩扩散散到到空空间间的的其其它它部部位位，影影响响的的大大小小取取决决于于所所形形成成的的气气流流速速度度，教教材材给给出出了了几几种

33、种热热源源在在周周围围形形成成的的气气流流速速度度公公式式，分分垂垂直直热热壁壁、热热物物体体、水水平平热热表表面面所所形形成成的的上上升升气气流流速速度度公公式，自己看。日常生活例证，吊灯上方顶棚先变污。式，自己看。日常生活例证，吊灯上方顶棚先变污。（4）人走动的二次气流影响）人走动的二次气流影响 实实验验表表明明人人走走动动带带动动周周围围空空气气流流动动所所造造成成的的最最大大速速度度约约为为人人行行走走速速度度的的0.20.4倍倍，会会引引起起沉沉积积到到地地面面上上微微粒粒的的二二次次迁迁移移，在在讨讨论论洁洁净净室室动动态态时时的的洁洁净净度度和和作作测测试试研研究时均要考虑这一影响因素。究时均要考虑这一影响因素。