(精品)第六章 探测技术.ppt
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1、福州大学物理与信息工程学院福州大学物理与信息工程学院 张永爱张永爱 E-mail:光电子技术光电子技术光探测技术光电探测器的物理效应光电转换定律光电探测器的特性参数和噪声光电导探测器光电池光电二极管6.1 光电探测器的物理效应光电探测器的物理效应能把光辐射量转换为另一种便于测量的物理量的器件能把光辐射量转换为另一种便于测量的物理量的器件光探测器光探测器光辐射量光辐射量光电探测器光电探测器电量电量光电探测器的物理效应光电探测器的物理效应光子效应光子效应光热效应光热效应一)光子效应一)光子效应(photonic effect)指单个光子的性质对产生的光电子起直接作用的指单个光子的性质对产生的光电子
2、起直接作用的一类光电效应。一类光电效应。探测器吸收光子后,直接引起原子或分子的内部电子探测器吸收光子后,直接引起原子或分子的内部电子状态的改变。光子能量的大小直接影响内部电子状态状态的改变。光子能量的大小直接影响内部电子状态的改变。的改变。特点特点对光波频率表现出选择性,响应速度一般比较快。对光波频率表现出选择性,响应速度一般比较快。光子效应光子效应内光电效应内光电效应-光电导效应,光伏效应光电导效应,光伏效应外光电效应外光电效应-光电发射效光电发射效应应(一)光电发射效应(一)光电发射效应 在光照下,物体向表面以外的空间发射电子(即光电在光照下,物体向表面以外的空间发射电子(即光电子)的现象
3、。子)的现象。光电发射体光电发射体能产生光电发射效应的物体,在光电管中又称为能产生光电发射效应的物体,在光电管中又称为光阴极光阴极。光电发射效应的能量关系可由著名的爱因斯坦方程来表示光电发射效应的能量关系可由著名的爱因斯坦方程来表示 即即 表示光电子离开发射体表面的动能表示光电子离开发射体表面的动能-光子能量光子能量-光电子发射体的功函数光电子发射体的功函数 物理意义物理意义 若发射体内部的电子吸收光子的能量大于发射体的功若发射体内部的电子吸收光子的能量大于发射体的功函数,光电子能从发射体表面逸出,并且具有相应的函数,光电子能从发射体表面逸出,并且具有相应的动能。动能。光电子发射效应产生的条件
4、光电子发射效应产生的条件 即即 或或 上式中等号表示,电子刚好能逸出表面,上式中等号表示,电子刚好能逸出表面,但是速度为零,即静止在发射体表面。但是速度为零,即静止在发射体表面。截止波长截止波长截止频率截止频率截止波长截止波长可见,要使波长较长的光辐射产生光电发射效应,可见,要使波长较长的光辐射产生光电发射效应,则发射体的则发射体的 必须要小。必须要小。(二)内光电效应(二)内光电效应当光照射物体表面时,光电子不逸出体外的光电效应。当光照射物体表面时,光电子不逸出体外的光电效应。1)光电导效应)光电导效应光电导现象光电导现象半导体材料的半导体材料的“体体”效效应应当半导体材料被光照时,由于对光
5、子的吸收随载流子当半导体材料被光照时,由于对光子的吸收随载流子的浓度增大而增大,因而导致电导率增大。的浓度增大而增大,因而导致电导率增大。是一种内光电效应,是光电导探测器光电转化的基础是一种内光电效应,是光电导探测器光电转化的基础 当光子能量大于材料禁带宽度时,把价带中的电子激当光子能量大于材料禁带宽度时,把价带中的电子激发到导带上,在价带中留下自由空穴,从而导致电导发到导带上,在价带中留下自由空穴,从而导致电导率的增大率的增大-本征光电导效应。本征光电导效应。若光子激发杂质半导体,使电子从施主能级跃迁到若光子激发杂质半导体,使电子从施主能级跃迁到导带或从价带跃迁到受主能级,产生自由电子或自由
6、空导带或从价带跃迁到受主能级,产生自由电子或自由空穴,从而使材料电导率增加穴,从而使材料电导率增加-非本征光电导效应。非本征光电导效应。光辐射照射外加电压的半导体,如果光波长光辐射照射外加电压的半导体,如果光波长满足如满足如下条件:下条件:-禁带宽度禁带宽度-杂质能带宽度杂质能带宽度光敏电阻光敏电阻(本征)(本征)(杂质)(杂质)这个新增加的部分在半导体物理中叫非平衡载这个新增加的部分在半导体物理中叫非平衡载流子流子-光生载流子光生载流子。显然,这两个变化量将使半导体的电导增加一个显然,这两个变化量将使半导体的电导增加一个量量 ,我们称之为,我们称之为光电导光电导。相应于本征和杂质半导体。相应
7、于本征和杂质半导体就分别称为就分别称为本征光电导本征光电导和和杂质光电导杂质光电导。光子将在其中激发出新的载流子光子将在其中激发出新的载流子(电子和空穴电子和空穴)。这就。这就使半导体中的载流子浓度在原来平衡值上增加了变化量使半导体中的载流子浓度在原来平衡值上增加了变化量2)光伏效应)光伏效应光伏现象光伏现象半导体材料的半导体材料的“结结”效应效应多数载流子(多数载流子(N侧的电子和侧的电子和P侧的空穴)的扩散作用侧的空穴)的扩散作用 少数载流子(少数载流子(P侧的电子和侧的电子和N侧的空穴)的漂移作用侧的空穴)的漂移作用 相互抵消相互抵消无静电流过无静电流过P-N结结零偏状态零偏状态P-N结
8、的伏安特性:结的伏安特性:若若P-N结反向偏压(结反向偏压(P区接负,区接负,N区接正)区接正)反向饱和电流反向饱和电流-暗电流暗电流-反向反向饱饱和和电电流流 E-电子电荷量电子电荷量U-偏置电压偏置电压K-波儿兹曼常数波儿兹曼常数T-绝对温度绝对温度在光照下在光照下入射光c光生电子空穴对内电场电子空穴分离开路电压光伏效应光照光照零偏零偏pn结产生开路电压的效应结产生开路电压的效应光照光照反偏反偏光伏效应光伏效应光电池光电池光电信号是光电流光电信号是光电流 结型光电探结型光电探测器的工作测器的工作原理原理光电二极管光电二极管 探测元件吸收光辐射能量后,并不直接引起内部探测元件吸收光辐射能量后
9、,并不直接引起内部电子状态的改变,而是把吸收的光能变为晶格的热运电子状态的改变,而是把吸收的光能变为晶格的热运动能量,引起探测元件温度上升,温度上升的结果又动能量,引起探测元件温度上升,温度上升的结果又使探测元件的电学性质或其他物理性质发生变化。使探测元件的电学性质或其他物理性质发生变化。二)光热效应二)光热效应(photothermalphotothermal effect)effect)原则上对光波频率没有选择性,响应速度一般比较慢。原则上对光波频率没有选择性,响应速度一般比较慢。在红外波段上,材料吸收率高,光热效应也就更强烈,在红外波段上,材料吸收率高,光热效应也就更强烈,所以广泛用于对
10、红外线辐射的探测。所以广泛用于对红外线辐射的探测。热释电材料热释电材料电介质电介质一种结晶对称性很差的压电晶体一种结晶对称性很差的压电晶体在常态下具有自发电极化在常态下具有自发电极化(即固有电偶极矩即固有电偶极矩)热电体的热电体的|决定了面电荷密度决定了面电荷密度 的大小,当发生的大小,当发生变化时,面电荷密度也跟着变化变化时,面电荷密度也跟着变化热释电现象热释电现象 升高到升高到Tc值时,自发极化突然消失,值时,自发极化突然消失,TC称为居里温度称为居里温度 热释电体表面附近的自由电荷对面电荷的中和作热释电体表面附近的自由电荷对面电荷的中和作用比较缓慢,一般在用比较缓慢,一般在11000秒量
11、级秒量级热释电探测器是一种热释电探测器是一种交流交流或瞬时响应的器件。或瞬时响应的器件。|值是温度的函数值是温度的函数温度升高温度升高|减小。减小。三)光电转换定律三)光电转换定律光辐射量转换为光电流量的过程光辐射量转换为光电流量的过程 光电转换光电转换D探测器的光电转换因子探测器的光电转换因子-探测器的量子效率探测器的量子效率*光功率光功率P正比于光电场的平方正比于光电场的平方 平方律探测器平方律探测器非线性器件非线性器件(本质本质)。*光电探测器对入射光功率响应光电探测器对入射光功率响应(光电流光电流)一个光子探测器可视为一个电流源。一个光子探测器可视为一个电流源。光电转化定律光电转化定律
12、 知识巩固光与物质的作用实质是光子与电子的作用,电子吸收光子的能量后,改变了电子的运动规律。由于物质的结构和物理性能不同,以及光和物质的作用条件不同,在光子作用下产生的载流子就有不同的规律,因而导致了不同的光电效应。以下是属于内光电效应的有()。A A、光电发射效应、光电发射效应B B、光电导效应、光电导效应 C C、光生伏特效应、光生伏特效应D D、光伏效应、光伏效应知识巩固在光线作用下,半导体的电导率增加的现在光线作用下,半导体的电导率增加的现象属于象属于()()A、外光电效应外光电效应B、内光电效应内光电效应C、光电发射效应光电发射效应D、光电导效应光电导效应6.2 光电探测器的特性参数
13、和噪声光电探测器的特性参数和噪声一)光电探测器特性参数一)光电探测器特性参数积分灵敏度积分灵敏度光谱灵敏度光谱灵敏度频率灵敏度频率灵敏度量子效率量子效率归一化探测度归一化探测度通量阈和噪声等效功率通量阈和噪声等效功率一、积分灵敏度一、积分灵敏度R R 灵敏度也常称作灵敏度也常称作响应度响应度,是光电探测器光电转,是光电探测器光电转换特性,光电转换的光谱特性以及频率特性的量度。换特性,光电转换的光谱特性以及频率特性的量度。光电流光电流i(或光电压或光电压u)和入射光功率和入射光功率P之间的关系之间的关系if(P),称为探测器的,称为探测器的光电特性光电特性。光电探测器本质是一个外电压偏置的电流输
14、出器件,光电探测器本质是一个外电压偏置的电流输出器件,通过负载电阻可改变为电压输出器件。通过负载电阻可改变为电压输出器件。灵敏度灵敏度R定义为这个曲线的斜率,即定义为这个曲线的斜率,即 (线性区内线性区内)()(安安/瓦瓦)(线性区内线性区内)()(伏伏/瓦瓦)R i和和R u分别称为积分电流和积分电压灵敏度,分别称为积分电流和积分电压灵敏度,i和和u称为电表测量的电流、电压有效值。称为电表测量的电流、电压有效值。光功率光功率P是指分布在某一光谱范围内的总功率。是指分布在某一光谱范围内的总功率。R是常数时,相应探测器称为是常数时,相应探测器称为无选择性探测器无选择性探测器(如如光热探测器光热探
15、测器),光子探测器则是选择性探测器。,光子探测器则是选择性探测器。光电探测器对光具有选择性,不同波长的光功率密度P在其他条件不变下所产生的光电流i是波长的函数,因此,光谱灵敏度可定义为:二、光谱灵敏度二、光谱灵敏度R通常给出的是通常给出的是相对光谱灵敏度相对光谱灵敏度S定义为定义为 Rm是指是指R的最大值,的最大值,S为无量纲,随为无量纲,随变化的曲变化的曲线称为线称为光谱灵敏度曲线光谱灵敏度曲线。三、频率灵敏度三、频率灵敏度 若入射光是强度调制,在其它条件不变下,光若入射光是强度调制,在其它条件不变下,光电流电流if将随调制频率将随调制频率f的升高而下降,这时的灵敏度的升高而下降,这时的灵敏
16、度称为称为频率灵敏度频率灵敏度Rf定义为定义为 称为探测器的响应时间或时间常数,由材料、称为探测器的响应时间或时间常数,由材料、结构和外电路决定。结构和外电路决定。频率灵敏度是探测器的频率灵敏度是探测器的频率特性频率特性,R f随随f 升高而下升高而下降的速度与降的速度与值大小关系很大。值大小关系很大。一般规定,一般规定,R f下降到下降到从上式可见:从上式可见:当当ffc时,认为光电流能线性再现光功率时,认为光电流能线性再现光功率P的变化。的变化。如果是脉冲形式的入射光,则更常用响应时间来描述。如果是脉冲形式的入射光,则更常用响应时间来描述。频率频率fc为探测器的为探测器的截止响应频率截止响
17、应频率和和响应频率响应频率。探测器对突然光照的输出电流,要经过一定探测器对突然光照的输出电流,要经过一定时间才能上升到与这一辐射功率相应的稳定值时间才能上升到与这一辐射功率相应的稳定值i。当辐射突然降去后,输出电流也需要经过一定当辐射突然降去后,输出电流也需要经过一定时间才能下降到零。时间才能下降到零。一般而论,上升和下降时间相等,时间常数近似地由一般而论,上升和下降时间相等,时间常数近似地由 决定。决定。光电流是两端电压光电流是两端电压u、光功率光功率P、光波长、光波长和光强和光强调制频率调制频率f的函数,即的函数,即 以以u,P,为参变量,为参变量,iF(f)的关系称为)的关系称为光电光电
18、频率特性频率特性,相应的曲线称为,相应的曲线称为频率特性曲线频率特性曲线。i=F(P)及曲线称为及曲线称为光电特性曲线光电特性曲线。iF()及其曲线称为及其曲线称为光谱特性曲线光谱特性曲线。而而iF(u)及其曲线称为及其曲线称为伏安特性曲线伏安特性曲线。当这些曲线给出时,灵敏度当这些曲线给出时,灵敏度R的值就可以从曲线的值就可以从曲线中求出,而且还可以利用这些曲线,尤其是伏安特中求出,而且还可以利用这些曲线,尤其是伏安特性曲线来设计探测器的使用电路。性曲线来设计探测器的使用电路。量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。的光电
19、子数与入射光量子数之比。对理想的探测器,入射一个光量子发射一个电子,对理想的探测器,入射一个光量子发射一个电子,=1实际上,实际上,RL2第三象限是反偏压状态。这时第三象限是反偏压状态。这时iD=iS,它是普通二极管,它是普通二极管中的反向饱和电流,现在称为暗电流中的反向饱和电流,现在称为暗电流(对应于光功率对应于光功率P=0),数值很小,这时的光电流,数值很小,这时的光电流(等于等于i-iS)是流过探测是流过探测器的主要电流,此情况下的外回路特性与光电导相似,器的主要电流,此情况下的外回路特性与光电导相似,对应于光导工作模式对应于光导工作模式-相应探测器相应探测器-光电二极管。光电二极管。第
20、一象限是正偏压状态,第一象限是正偏压状态,i iD D 本来就很大,所以光电流本来就很大,所以光电流不起重要作用。作为光电探测器,工作在这一区域没不起重要作用。作为光电探测器,工作在这一区域没有意义。有意义。i+RLVi+V在第四象限中,外偏压为零。流过探测器的电流仍为在第四象限中,外偏压为零。流过探测器的电流仍为在第四象限中,外偏压为零。流过探测器的电流仍为在第四象限中,外偏压为零。流过探测器的电流仍为反向光电流,随着光功率的不同,出现明显的非线性。反向光电流,随着光功率的不同,出现明显的非线性。反向光电流,随着光功率的不同,出现明显的非线性。反向光电流,随着光功率的不同,出现明显的非线性。
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