新建厂房项目可研报告.docx

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1、 - 让每个人公平地提升自我*三期厂房建设工程工程可行性争辩报告代工程建议书1 - 让每个人公平地提升自我名目1. 申报单位概况02. 工程建设背景和必要性13. 工程建设地点24. 工程建设方案25. 消防46. 环保47. 劳动安全和职业卫生58. 节能措施79. 工程实施打算810. 投资规模和资金筹措811. 工程主要指标912. 需要说明的内容921. 申报单位概况1. 申报单位企业名称* 企业性质公司地址上海市浦东法人代表注册资金公司注册资本 4940 万元人民币。公司经营目的、经营范围和主导产品公司主要从事微电子装备的开发、设计、制造、销售及技术效劳，经营本企业自产产品的出口业务

2、和本企业所需要的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务。经营期限经营期限自 2023 年 08 月 03 日至 2023 年 03 月 06 日建设单位简介*以下简称公司，成立于 2023 年 6 月，是由上海电气集团总公司、上海科技投资公司、上海工业投资公司等多家单位投资组建的有限责任公司。公司凭借上海电气集团总公司丰富的机、电、仪设计、制造力量，集中了光学、周密机械、周密把握、软件方面从事微电子装备争辩的团队，进展微电子装备的争辩、开发和产业化制造。公司担当了国家科技部“十五”、“十一五”重大技术专项国家集成电路光刻设备工程等任务。公司现有占地面积平方米，已建建筑和目前另设工程正在建设的“建

3、工业中试研发楼”建筑面积合计平方米。公司现有职工人数约 500 人，其中具有中高级技术职称的技术人员和治理人员约 460 人，技术工人约 40 人。02. 工程建设背景和必要性高端光刻机是微电子装备中系统最简单、技术难度最大、单台价值最高、国外限制最严的关键设备，目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光刻机的力量，且仅有三家公司制造高端光刻机。高端光刻机融合了周密光学、周密机械、周密把握、计算机软件、周密测量、特种材料、微环境把握等科技领域的最成就，代表了高科技制造领域的最高水平。*自成立以来，始终致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与效劳，公司产品可广泛应用于 IC 制造

4、与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED 等制造领域。公司自主研发的首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使用，成为国内唯一的一家具备步进投影式光刻机研发、制造、集成、调试力量的企业，也是世界上为数不多的把握此类产品开发制造的企业之一。OLED 是一种型平板显示技术，具有自发光、清楚亮丽、轻薄、响应速度快、视角宽、低功耗、操作温度范围大等特点，已被公认为最抱负的显示技术。依据发光方式的不同，可将 OLED 分为被动矩阵 OLEDPMOLED和主动矩阵 OLEDAMOLED两大类。PMOLED 易于制造，但是它需要外部电路， 因此耗电量大于其他类型的 OLED。AMOLED 具有完

5、整的阴极层、有机分子层以及阳极层，但阳极层掩盖着一个薄膜晶体管TFT阵列，形成一个矩阵。TFT 阵列本身就是一个电路，能打算哪些像素发光，进而打算图像的构成。AMOLED 的耗电量低于 PMOLED，因而AMOLED 适合用于大型显示屏。AMOLED 还具 有更高的刷率，适于显示视频。目前 OLED 已渐渐拥有手机、MP3、汽车显示器这些小尺寸显示的市场。将来大尺寸显示市场，如笔记本电脑、电视机等将成为 OLED 主要的应用领域。此外，下一代 OLED 照明开发正方兴未艾。公司和上海大学已经进展了一年的严密合作，200mmX200mm 中试线用光刻机将于 2023 年 12 月交付“上海大学平

6、板显示工程中心”使用，是最具有先行启动代和代 AMOLED 光刻机设备开发条件的企业。与其他国家的竞争对手相比较，*占据了明显的地缘优势，能够为国内AMOLED 面板生产企业供给快速响应、优廉的技术支持效劳，对于降低用户的使用维护本钱具有重要意义。公司的劣势主要在于进入平板显示器市场相对较1晚，竞争对手已经具备肯定数量的装机量，在市场上享有更高的知名度。为进一步增加公司平板显示器用光刻机的研发力量和制造水平、扩大研发和生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本工程建厂房建设。本工程仅含厂房土建和一般机电工程，将来将由公司视进展需要另行安装研发和生产工艺设备。3. 工程建设地点工程建设地点位于

7、上海市浦东张江高科技园，公司现有场地内。基地北临金秋路、西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地。公司毗邻地铁二号线，北入连接内环线和浦东国际机场的重要通道龙东大道，西临连接内环线和外环线的主干道路罗南大道，交通网线兴旺，距浦东国际机场仅需 30 分钟，至国际博览中心、陆家嘴金融贸易中心、东方明珠、金茂大厦等都格外便捷。4. 工程建设方案总图规划公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路、西侧张东路分别开有主、次出入口，基地内已建有一座生产厂房和一座办公研发楼，基地东南角为另设工程在建的工业中试研发楼。本工程建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。建厂房占地面积约 2714 平方米，总建筑面积平

8、方米。建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门的要求，厂区布局较为紧凑，为便利人流、货流的出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为6 米，最小宽度为米，以满足消防道路的要求，便利人流，货流的出入。建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足规划要求。总图主要经济和技术指标序号名称单位原有和在建本期完整工程1基地总面积m22建筑总占地面积m227143总建筑面积m21232724建筑密度5容积率6绿化率7集中绿化率建筑建厂房为混凝土构造，整栋建筑由米长35 米宽的四层车间/仓库和米长36 米宽的七层支持关心用房组成。一层车间为千级干净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总

9、高达4 米，重约 12T，加上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高 5 米，为万级干净车间；四层层高4 米，为干净仓库。七层的支持关心用房内设有员工餐厅、卫生生活设施、休息区、备品备件、设备修理等生产支持关心等面积。建厂房总建筑面积平方米。给排水本工程暂无生产用水，估量增生活用水量 12m3/d，由厂区原有室外供水管网供给。生活排水系统承受污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网供给。建厂房内，除 IT 机房、卫生间、配电间、动力设备房外，其他场所均安装自动喷淋系统；各层均设室内消火栓保护；各机房、走廊

10、和固定人员值班场所， 按标准要求配备手提式灭火器。厂区内已建有消防泵房，本工程的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供给稳高压，无需另设屋顶水箱，工程室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋泵供给稳高压，无需另设屋顶水箱。空调、净化和通风千级干净室气流组织承受上送下侧回，万级干净室气流组织承受上送上回。各层车间内承受风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤 器，室外机放置于车间屋面；风承受风处理机组，与吊顶式空气处理机组共用室外机，风由风机房外侧墙百叶引入。生产关心区域和行政生活区域承受变频多联空调系统，室内机为四周出风式空调，室外机放置于屋面，风承受全热交换式换气机，风由侧墙百叶引入。

11、车间内安装集中排风系统，排风机安装于车间屋顶。卫生间按10 次/小时换3气次数设计机械排风，承受排风扇将空气排至室外。电气估量建厂房内将来可能的工艺、测试和研发设备用电量约 1000kW，其他包括照明、插座300kW，空调净化和动力1200kW，给排水系统300kW，建厂 房估量用电量 2800kW。工程用电由公司现有 10kV 系统供给。低压配电承受树干式与放射式相结合的形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配电箱时局部穿钢管保护。车间、行政生活区、生产关心区均承受嵌入式雾面隔栅荧光灯具；在主要出入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于 90 分钟。5. 消防厂区内主要单体建筑四周均设

12、有环形消防车道，建筑之间的距离均把握在10 米以上。设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活供水系统分开的独立系统，消防系统承受稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于 90 分钟。在建筑的主要出入口处、疏散走道、楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地面照度值不低于 1LX，疏散路线上的诱导标志灯带方向指示，出口的诱导标志灯安装在门的上方，诱导标志灯带蓄电池，应急时间不小于 90 分钟。空调净化系统的风管承受不燃材料镀锌钢板制作。冷热水的保温材料承受难燃闭孔橡

13、塑海绵材料；分散水管道的保温材料承受不燃离心玻璃棉保温管壳。风管穿越防火分区隔墙处、穿越空调机房隔墙或楼板处、垂直风管与每层水平风管支接处等均设防火阀，并与该系统的风机联锁，防火阀关闭则风机停运， 防火阀也可依据消防中心发出的信号动作。防火阀可在 70 度时自动关闭。厂房生产车间设置排烟系统，排烟量依据每平方米 60 立方米/小时设计；靠外墙的房间承受自然排烟，设置不小于房间面积 2的可开启外窗。6. 环保本工程不涉及生产工艺，其影响环境的主要因素为：生活污水、固体废料和4废物、工业噪声等各种污染。生活污水工程建成使用后，生活污废水排放量为 10 立方米/天，生活排水系统承受污废水分流，设置伸

14、顶透气阀，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。噪声治理本工程除优选低噪声设备外，通过合理布局，集中把握人机分别，建筑设计等综合防治措施，确保作业场所噪声把握在 85db，厂界噪声到达类标准。固体废物处理与利用本工程中固体废物有废弃包装材料、废弃封装材料和生活垃圾等。依据固体废物性质及其可利用资源的状况，进展分类处置与利用，防止流失， 造成二次污染。生活垃圾及污泥渣托付环卫部门集中处置。7. 劳动安全和职业卫生在厂房建设期间将充分考虑到用户的实际使用状况，依据国家和地方政策及相关专业标准，设置相应的劳动保护和卫生设施。劳动安全本工程在组织生产经营活动中主要安全因素涉及电气系统、生产工艺

15、技术装备、作业运行与劳动防护等方面。作业安全定期做好设备维护保养，保证设备安全运行。按作业工种配置劳防用品，安全生产。企业员工严格按各自岗位及作业规程、质量治理和环境治理要求作业。定期开展安全教育，提高员工安全意识，并在生产过程中准时报告设备运行过程中特别现象及其他隐患，准时实行订正措施，防止意外事故的发生。设备安全实行空压机集中供气方式，人机分别，设置空压机站房。空压机、压力容器及送气系统符合设备安全标准和设计标准。放气阀出口设置气流消声器。电气安全防雷和接地5电气系统承受接零保护，变压器中性点、电气设备外壳等均接地牢靠。电阻4 欧姆，高压母线上设置避雷器。建筑物按其相应类别防雷标准，设置避

16、雷装置，接地电阻4 欧姆。照明线路承受 BV 型绝缘导线、钢管保护暗敷，外保护钢管接地电阻4 欧姆。动力线路布局及走线合理在动力线路中承受桥架铺设局部，走线合理，符合电气设计标准，安全牢靠， 维护便利。强化电气安全治理，持证上岗，定期培训。严格执行维护保养规定，使电气系统处于良好的运行状态。职业卫生主要职业卫生因素为照明、空调通风、噪声及生活设施配置。按工业企业设计卫生标准及有关规定，进展工程设计，符合卫生标准。照明按卫生标准、工艺要求和建筑设计通则规定，以及工艺要求选择照度标准。空调和通风在生产区、办公生活区、动力支持区分别安装空调或通风系统，既满足将来高端汽车灯装配生产需要，又保证职工工作

17、环境相对舒适。空调区域保证肯定的风量和换气次数。噪声把握本工程生产过程并无较大的噪声源。对产生较大噪声的动力设备如：空调机组、风机等，考虑消声降噪措施。与生产区域间隔墙承受吸音材料，同时承受消声减噪措施。生活设施按企业员工编制及性别比例和相关标准，合理配置生活设施：厕所、休息室及配备相应设备。工作场所设开水供给点，女工集中的区域设置女工卫生间，在生产车间内设置肯定的休息场所，以利消退工人因长时间操作的疲乏。车间内设置人、货分流、安全行走路线，设置行走指示牌。厂内明确标准的安全生产制度，并设专人负责治理实施。68. 节能措施建筑围护构造屋面局部：依据公共建筑节能设计标准，屋面传热系数 km2k，

18、混凝土屋面承受不小于 40 厚的挤塑型聚苯乙烯保温板；轻钢屋面设保温层，承受 75 厚挤塑型聚苯乙烯保温板。外墙局部：依据公共建筑节能设计标准，外墙传热系数 km2k，承受 30 厚保温砂浆，内面抹灰为 20 厚保温砂浆；彩钢板外墙承受 50 厚彩钢夹芯板。地面及地下室外墙与土壤相接触的墙：依据公共建筑节能设计标准，承受 30 厚耐水挤塑型聚苯乙烯保温板。外窗：承受保温及密封性能好的半隐框玻璃幕墙窗。可以满足国家标准要求. 净化、空调和动力节能设计 净化、空调、采温存通风在满足使用条件下，经济地确定环境参数以利节能；按建筑物使用功能与各层面分区布置状况实行自然通风、机械通风、分散与集中空调系统

19、相结合等多种方式调整室内温度，节约用电。空调系统设计充分利用室内循环风，削减系统的冷热负荷。并依据室外气温及室内负荷变化承受自动把握调整冷、热量以利节约能耗。对工艺生产过程中产生的排风系统与风系统间设置热交换装置，利用工艺排风对空调风进展一次热交换，将排风中的热量回收后再排掉，可削减空调系统加热量。 保温冷媒、热媒的输送管道、空调净化风管、风道均进展良好的保温，削减冷热能耗。选用保温性能好的保温材料，如离心玻璃棉、橡塑海绵保温材料。空调房间围护构造实行保温措施，以降低能量消耗。 选用节能设备全部空调器、风机等均承受高效率节能设备。风空调机、接工艺设备的局部排风系统的风机均承受变频风机，可依据工

20、艺生产的实际状况对风机转速进展调整。空调系统均设有温湿度传感器等，并承受自动把握，以节约冷热量。电气节能设计7照明系统承受高效节能型荧光灯具 (配电子镇流器)，提高光效，降低能耗。优选低噪声节能型生产设备和动力设备，合理能源配置。其他节能措施选用节水型卫生洁具及配水件：卫生间坐便器承受节水型(6L)坐便器，便器水箱建议承受两档型，蹲便器承受脚踏式延时开关；卫生间小便器承受感应式小便器冲洗阀；洗手盆龙头承受陶瓷芯感应式龙头；其他洁具和五金配件均承受节水型产品。选用节能设备在选用工程所需机电设备时，充分考虑和比较同类型设备的效率、能耗等经济技术指标，合理布置，以确保工艺的先进及运行能耗的最低。9.

21、 工程实施打算立项备案：2023 年 12 月审批：2023 年 1 月施工图：2023 年 3 月前期手续：2023 年 4 月施工许可证：2023 年 5 月厂房开工：2023 年 5 月厂房竣工：2023 年 5 月10. 投资规模和资金筹措建工程总投资 7000 万元人民币，全部由建设单位自筹资金解决。投资构成：土建3000 万含勘探、设计、行车、电梯等机电系统设备及安装2400 万含凹凸压变配电设备、照明、插座、压缩空气、工艺冷却水、排风等干净室安装1200 万消防设施含喷淋300 万8环保100 万合计11. 工程主要指标序号名称单 位指 标主要技术经济数据7000 万1建建筑占地

22、面积平方米27142建建筑面积平方米3增自来水用水量立方米/天124增用电量kW28005工程总投资人民币万元700012. 需要说明的内容本工程为建厂房土建和一般机电工程，不含生产工艺和设备，工程建设利用上海微电子装备公司现有厂区面积，用水可由现有系统供给，用电将向电力公司申请增容用电量基于对厂房将来用途设想根底上的估算，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。在本可行性争辩报告其次章中已经阐述了本工程实施的必要性，本工程的建立，重点并不完全在于公司近期内能获得多少经济效益，而是为研制、开发高端光刻机，初步建立我国光刻设备产业创体系供给相应的研发、生产的根底设施， 构筑我国微电子装备研发体系与人才平台，聚焦培育和造就一批微电子装备总体设计、系统集成、先进微电子光学、超周密机械、周密光电测控等各方面的高、精、尖人才，为缩短在这些领域和世界先进国家之间的距离奠定根底。9