光栅传感器的结构及工作原理.pdf

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1、光栅传感器的结构及工作原理 一般常用的光栅是在玻璃上刻出大量平行刻痕制成，刻痕为不透光部分，两刻痕之间的光滑部分可以透光，相当于 一狭缝。精制的光栅，在 1CM 宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅，还有利用两刻痕间的反射光的光栅，如在镀有金属的表面上刻出许多平行刻痕，两刻痕的光滑金属面可以反射光，这种光栅成为反射光栅。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，因而能提高测量精度。光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成系统。标尺光栅相对于指示光栅移动时，便 形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹。这些条纹以光栅的相对运动速度移

2、动，并直接照射到光电元件上，在它们的输出端得到一串电脉冲，通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出，直接显示被测的位移量。光栅传感器的结构均由光源、主光栅、指示光栅、通光孔、光电元件这几个主要部分构成。1、光源：钨丝灯泡，它有较小的功率，与光电元件组合使用时，转换效率低，使用寿命短。半导体发光器件，如砷化镓发光二级管，可以在范围内工作，所发光的峰值波长为，与硅光敏三极管的峰值波长接近，因此，有很高的转换效率，也有较快的响应的速度。2、光栅付：由栅距相等的主光栅和指示光栅组成。主光栅和指示光栅相互重叠，但又不完全重合。两者栅线间会错开一个很小的狭角，以便于得到莫尔条纹。一般主光栅是活动的，

3、它可以单独地移动，也可以随被测物体而移动，其长度取决于测量光围。指示光栅相对于光电器件而固定。3、通光孔：通光孔是发光体与受光体的通路，一般为条形状，其长度由受光体的排列长度决定，宽度由受光体的大小决定。它是帖在指示光栅上的。4、受光元件：受光元件是用来感知主光栅在移动时产生的莫尔条纹的移动，从而测量位移动。在选择光敏元件时，要考虑灵敏度、响应时间、光谱特性、稳定性、体积等因素。将主光栅与标尺光栅重叠放置，两者之间保持很小 的间隙，并使两块光栅的刻线之间一个微小的夹角，如图所示。当有光源照射时，由于挡光效应(对刻线密度 50条/mm 的光栅)或光的衍射作用(对刻线密度 100 条/mm 的光栅

4、)，与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带;在两光栅刻线的错开的地方，形成暗带;这些明暗相间的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹的间距与栅距W和两光栅线的夹角(单位为 rad)之间的关系为光栅传感器的结构及工作原理(K 称为放大倍数)。当指示光栅不动，主光栅的刻线与指示光栅刻线之间始终保持夹角，而使主光栅的沿刻线的垂直方向任相对移动时，莫尔条纹将沿光栅刻线方向移动;光栅反向移动，莫尔条纹也反向的移动。主光栅每移动一个栅距 W,莫尔条纹也相应移动一个间距 S。因此通过测量莫尔条纹的移动，就能测量光栅移动的大小和方向，这要比直接对光栅进行测量容易得多。当主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距 W 时，莫尔条纹移动一个条纹间距。当两个光栅刻线夹角 较小时，由上述公式可知，W 一定时，愈小。则 B 愈大，相当于把栅距 W 放大了 1/倍。因此，莫尔条纹的放大倍数相当大，可以实现高灵敏度的位移测量。莫尔条纹是由光栅的许多刻线共同形成的，对刻线误差具有平均效应，能在很大程度上削除由于刻线误差所引起的局部和短周期误差影响，可以达到比光栅本身刻线精度更高的测量精度。因此，计量光栅特别适合于小位移、高精度位移测量。