真空的获得与测量.docx
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1、真空的获得与测量用直观的展示真空的获得与测量系统,掌握三种真空规测量不同的真空度的使用方法。了解涡轮分子泵的结构与使用。真空在日常生活中的应用。针对光线能量、压力用演示的方法说明光压的能量与测量。1、引言真空作为一门单独的学科已显得尤为重要,它与电真空工业、原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学及真空冶金等有着紧密的联系并有着广泛的应用。真空技术的主要环节和基础是真空的获得、真空的测量及真空检漏等。2、实验原理与装备(1) 机械泵:是用来获得真空、改善和维持真空的装置简称为真空泵。获得低真空的独立设备为机械泵, 获得高真空的为分子泵,有机械泵作为前级真空下, 分子泵就能获得高真
2、空。两种泵都纯属机械转动而抽气的金属泵。机械泵结构简单, 主体为圆柱形钢筒定子空腔, 内有一转子, 偏心安置在钢筒定子内旋转, 转速为 350 750 转/ 分。装在转子沟槽内的两个旋片依靠弹簧力和离心力保持与泵体充分接触。定子上有一个与被抽系统相联的进气口和一个单向活塞阀出气口。当转子顺时针转动时, 由进气口进入转子与定子之间部分空间V1 的体积不断扩大, 而出气口与转子、定子间的部分空间V2 体积不断缩小, 前者扩大V1将气体抽入, 后者将气体压缩 V2 将压缩后的气体排出泵外, 达到抽气的目的。一般机械泵上标称 2X ) 8, / 20 说明它是两个串联的双杠, / X0 是旋片式的,
3、/ 80 表示每秒 8 升的抽气体速率。(2) 分子泵:是利用高速旋转的涡轮叶片, 不断对被抽气体分子施以定向的动量和压缩作用, 将气体排除, 是一种纯机械的高速旋转的真空泵。在泵内有一个圆柱形高速旋转的转子, 气体分子从转子上得到一定的动量, 使分子自进气口朝向出气口方向运动, 达到抽气目的。该泵启动平稳迅速, 它具有刹车功能, 可以得到高速旋转的泵在短时间内很快停下来, 工作压强范围宽, 从 101pa 到高真空 10-7pa 都可以正常工作。开启分子泵, 由冷规可以测得从低真空到高真空的数值变化过程, 最终进入高真空由复合冷规测得等数据。由数字毫秒计显示光压旋转仪叶片的旋转速度。由此可以
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