合肥芯碁微电子装备股份有限公司投资者关系活动记录表.docx
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2、地点芯基微装产业园内公司接待人员姓名程卓、方林投资者关系活动主要 内容介绍1、总经理介绍公司产品、技术、开展情况2、投资者交流3、厂房参观交流问题如下:(1)公司掩膜版制版客户类型?掩膜版制版都是用的直写光刻机,可以分为激光直写及电 子束直写光刻机,公司掩膜版的客户类型有晶圆厂制版部 门、掩膜版制造商等。(2)直写光刻技术在先进封装上的应用优势,与客户的合股票简称:芯基微装股票代码:688630编号:2022-002作进展?相较于投影光刻,直写光刻在先进封装优势为灵活、无掩 膜、本钱低,可以解决fan-out技术问题,目前可以用在晶 圆级封装、板级封装等领域,与国内多家头部客户进行工 艺验证。
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