无尘洁净室工程净化原理.pdf

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1、无尘洁净室无尘洁净室一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.9799.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一

2、，是控制带尘的最好净化设备之一，它可以最大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。四，无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微

3、，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。伍.每立方米将小于 0.5 微米粒径的微尘数量控制在3500 个以下，就达到了国际无尘标准的 A 级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000 个以内，这也就是业内俗称的 1K 级别。净化原理净化原理编辑气流初效空气处理空气调节中效空气处理风机加压送风净化送风管道高效送风口洁净室带走尘埃（细菌）回风夹道新风、初效空气处理。重复以上过程，即可达到净化目的。技术参数换气次数：十万级 1

4、015 次/小时；万级 1525 次/小时；千级 5052 次/小时;百级操作台断面风速 0.25-0.35m/s；压差：主车间对相邻洁净房间5Pa；洁净房间对非洁净区10Pa；1/6温度:冬季162；夏季 E 20 50中效高中效 1.0m 1.0m70 E 2090 E 70 80 100亚高效 0.5m99.9 E 95 150国外将超高效过滤器（ULPA）的过滤效率指标规定为对于0.12m 粒子的过滤效率E99.9995%。性能指标性能类别效率（E%）额定风量下的初阻力（Pa）A额定风量下的钠焰效率 99.9 190B额定风量和 20%额定风量下的钠焰效率 99.99 2202/6 9

5、9.99C额定风量和 20%额定风量下的钠焰效率9 250 99.99D额定风量和 20%额定风量下的0.1m 粒子效率9 280关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下：我国标准 GB/T 14295粗效中效高中效亚高效高 效超高效一般通风用洁净室用C2美国 ASHRAE 标准C486802113LL11HCCMM345711H15H16U91LL91MM7HUH20M11UMHU传递窗传递窗1 目的：不耐高温、高压灭菌方法灭菌的物品传人屏障系统的灭菌方法。2 依据：实验动物管理条例(中华人民共和国国家科学技术委员会令第2 号，1988)，动物饲养设施条件要求(中华人民共和国国家标准，2001)

6、。3 操作规程：1、用 0.5%过氧乙酸或 5%碘伏液擦拭待传递的物品。2、打开传递窗外侧门，迅速放置待传递物品，用0.5%过氧乙酸喷雾消毒传递窗，关闭传递窗外侧门。3、开启传递窗内的紫外灯，紫外照射待传递物品不少于15 分钟。4、通知屏障系统内的实验人员或工作人员，打开传递窗内侧门，取出物品风淋室风淋室1、概述：风淋室是洁净厂房和装配式洁净室的设备，用于吹除进入净化厂房的人体和携带物品表面附着的尘埃，同时风淋室也起到气闸的作用，防止未经净化的空气进入洁净区域，是进行人体净化和防止外空气污染洁净区的有效设备。结构：系列风淋室均采用发泡隔热彩色壁板及铝合金构件装备而成，配置离心机风机及初效和高效

7、空气过滤器，具有外型美观、结构紧凑、检修方便、操作简单等特点。3/62、原理：风淋室内的空气由风机的作用经初效过滤器进入静压箱，经高效空气过滤器过滤后，洁净空气从风淋室的喷嘴高速喷出，喷嘴角度可调节，可有效地吹除人特或携带物品表面附着的尘埃，吹下的尘埃再回收进入初效空气过滤器，如此循环可以达到风淋的目的。3、用途及特点:风淋室是操作人员进入洁净室时使用的人身净化装置，它利用高速洁净气流吹淋除掉进入室内人员身上的污物，其喷嘴可调节，以便有效除去人身上的灰尘，并阻止外界污染进入洁净区域。它也可应用于大件货物的吹淋。4、设备组成：主要由室体、照明、过滤系统、风机组、吹嘴、电控等部分组成。FFUFFU

8、 层流罩层流罩FFU 在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：(1)采取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db 以内;(2)电动机采用 DC/EC(电子整流电机)，以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量(功率1/2HP)的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而 DC/EC 电机的效率可达 7580%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。(3)但 FF 瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在250Pa 以内。具体情况下的评价：(1)

9、FFU 用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。(2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用 FFU，当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对 IC 工厂而言 FFU 系统的灵活性是重要的，因此当前IC 工厂对过滤器满布率40%时，采用 FFU 系统已经普遍。原材料和设备原材料和设备除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表 8-4 所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及

10、设备进出用洁净室为洁净室等级1000 或 10,000 级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入35%浓度的 IPA 或丙酮化学品，以增强去污能力，由于 IPA 及丙酮具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。无尘洁净室用品无尘洁净室用品清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍

11、不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦不产生静电或带电性非常，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩4/6材质为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛或脸表面部分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，布质部分则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny

12、l），在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl 手套为佳。（清洁急救网合作工厂伙伴为清洁同行提供无尘车间实地演示）无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约 0.2m过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为23 天，其他区域则为 5 天1 星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用在洁净室中，人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度

13、的影响有多大，这才是最重要的。上海净化工程为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程，有关服装和个人用品方面的要求，供读者参考。至于珠宝首饰，工作人员可以戴结婚和订婚戒指，但最好不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指，因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指，就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品，即便它们一般都是藏在衣服里面，也最好不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。个人物品，例如香烟、钱包、纸巾和纸制品，都要存放在办公桌或者储物柜里，不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可，否则，在

14、洁净室里，衣服口袋只能是空的。在进入洁净室之前，首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套最好每天更换一到两次。大多数更衣室都有干净的一边和污染的一边，洁净室人员应该始终按规定执行。不能穿着鞋套走出更衣室，又穿着同一双鞋套走进来。最好戴蓬松的圆帽。正如前面所说的，头发，包括刘海，必须完全藏在帽子里，不能露出来。只能在洁净室或者更衣室外面把帽子摘掉，也不能在洁净室里脱帽子。在洁净室或者更衣室外面戴过的帽子也不能再次使用了。对于穿着的洁净服，建议每周更换一到两次，或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。必须时刻

15、遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套，必须使用洁净室专用的无粉乳胶手套或者丁腈胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏，如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点，建议改用丁腈胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换，但不能在洁净室里更换，只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套，应该慢慢地把手套从手上退下来。吸尘器系统吸尘器系统5/6洁净室吸尘器是无尘厂房、车间专用的强力真空专用吸尘器，可迅速、便捷、高效地完成清洁工作。特点：超高过滤效果，可有效的除去对呼吸气管造成过敏的有害粉尘，减少呼吸疾病的发生。当你使用专用吸尘器时，可以减少您清洁厂房的次

16、数，因为它不会二次扩散灰尘，并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴，任何角落皆可轻松清洁干净。超强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧，符合人体工学，操作时不会腰酸背痛,减少人体不适。专用吸尘器可专门针对防尘爆及有毒粉尘，如石棉，铅等物质，美国太空总署特别指定使用专用专用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。洁净室吸尘器的主要组成：大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒伸缩杆：增大清扫范围领域。软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到第一过滤系统。集尘袋：洁净室吸尘器的第一过滤系统，也是为最重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和高效过滤器有重要作用。文档可能无法思考全面，请浏览后下载，另外祝您生活愉快，工作顺利，万事如意!6/6