河北省地方标准《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范》编制说明.docx

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1、河北省地方标准电子专用材料单晶硅生长用石英培烟生产技术规范编制说明一、任务来源、计划文件名称、编号2020年8月27日，由廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司申请的地 方标准立项，根据河北省市场监督管理局2020年8月27日文件关 于下达2020年河北省地方标准制修订项目计划（第四批）的通知项 目计划，批准电子专用材料单晶硅生长用石英培埸生产技术规范 的制定，标准立项编号GY202021。二、标准制定的必要性、背景和意义此次制定的电子专用材料单晶硅生长用石英用烟生产技术规范 标准以我公司石英培埸的生产、研发的实践经验为主来编制的，电子 专用单晶硅是实现光伏发电及半导体产业最基础的材料，而高品质、 性

2、能稳定的石英用烟是保障单晶硅有效生长的必要模具。现在市场上 石英年炳的主要问题在于质量良莠不齐、有效使用寿命有限，这就提 高了单晶硅的生产成本。我公司生产工艺的特点是采用伯努利法制堪 工艺技术，可提高增烟有效寿命150小时以上。并按照此标准严格检 验石英培埸的各项指标参数，我公司的石英培埸产品给客户大大降低 了生产成本。我国光伏产业、半导体产业正在飞速发展，属于八大高新技术产 业中的新能源产业，也是我国的战略扶持新兴产业。此标准的制定可 适用于光伏产业链、半导体产业链的基础支持环节的产品生产。根据 我公司多年来成熟的石英培墉的生产实践经验而来，并经过不断的验 证与改进，在实际生产中具有可操作性

3、，实用性。主要内容为石英培 烟的产品标准与工艺、规范。三、工作组简况本标准由廊坊市市场监督管理局提出，廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司负责起草。主要起草人员及承担工作明细表:姓名性别职务/职称工作单位承担的主要工作贾建亮男董事长廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司组长/标准起草贾建恩男生产副总廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司标准验证/技术支持孙艳女行政经理廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司资料查询/成本评估韩云涛男技术主管廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司标准验证/技术支持关海华男大厂回族自治县市场监督管理局标准管理李继东女大厂回族自治县市场监督管理局标准管理四、主要工作内容1、关键技术内容的确定:廊坊赫尔劳斯

4、太阳能光伏有限公司在现有工艺技术和实践经验的 基础上，结合石英培埸拉棒的原理及特点，开发出了电子专用材料单 晶硅专用石英培堪的工艺标准，严格原材料的检验标准，提高了石英 用烟使用寿命和品质，使其满足于单晶硅棒的生长，降低了客户的成 本。在清洗工艺中，结合多年的实践经验，由高压纯水清洗、烘干等 工艺代替了原化学清洗，达到了绿色环保的要求。对工艺完成的环境进行了严格测定，除照度、粉尘、噪声执行国 标外，我公司进行了大量的测量工作，制定了严格的洁净度、温度、 湿度标准要求，以满足各工序的环境要求。2、标准编制过程：2020年9月，由廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司成立标准起草 小组，任务是在公司企业标

5、准Q/HRLS H003-2014的基础上，依据 GB/T1. 1-2009标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则， 起草2021版本的电子专用材料单晶硅生长用石英培埸生产技术规范。2021年6月，进行了现场调研及收集资料；2021年7月，制定本 标准编写大纲；2021年8月编写标准征求意见稿。2021年9-10月，进行标准征求意见及修改、专家审定协同进行。 为了保证石英牛埸工艺的稳定性和标准数据的准确性，起草工作组进 行两次工作会，汇同行业专家的意见，形成了该标准的征求意见稿。 由廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司组织，向江苏晶品新能源有限公 司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会、中国电子材料协

6、会等8家单位广 泛征集意见，根据专家意见修改完善，形成电子专用材料单晶硅生 长用石英培烟生产技术规范送审稿。五、标准编制的原则遵循“科学严谨、适用实际”原则，尊重科学理论，数据严谨推 算，又要结合、适用实际情况。广泛征求、听取各方意见，确保本标 准行之有效。六、技术内容的确定方法和依据1、按照光伏单晶硅（内层1）和电子专用材料单晶硅（内层2）生 长的不同要求，对于原材料石英砂的杂质元素含量，进行了反复的实 验与检测，最终提高了杂质元素含量的标准，确保适应两种单晶硅的 生长对石英牛埸的要求。表1石英砂杂质元素含量注1：锂、钠、钾3种元素之和W2.0。位 置元素名称铝A1钙Ca镁Mg枷Ba辂Cr铜

7、Cu铁Ee银Ni锌Mn锂Li钠Na钾K错Zr钛Ti错Ge磷P硼B内层113.51.20. 10. 10. 10. 10.50. 10. 10.80.80.80.52.02.00. 10. 1内层27.70.80. 050000.2000. 10.20. 101.40.700. 1外 层16.01.20. 10. 10. 10. 10.50. 10. 11.01.01.00.52.02.00. 10. 1注2：杂质元素含量小于或等于表中所示值。3、对工艺完成的环境进行了测定，制定了严格的洁净度、温度、 湿度标准要求，以满足各工序的工艺要求。表2各工序工作洁净度、温度和湿度范围工序名称空气洁净要求

8、温度/相对湿度RH/%烟坯电弧熔制应符合GB50073中规定的N2816-3810-60外表面处理新风初效处理16-3310-80切边倒棱新风初效处理16-3310-80纯水清洗应符合GB50073中规定的N2916-3310-60涂层应符合GB50073中规定的NN720-3810-50七、标准草案征求意见和对征求意见的采纳情况，审定或函定中 有关修改意见的采纳情况。重大分歧意见的处理经过和依据。征求意见8个单位，反馈意见8个单位，累计收集意见1条，采 纳1条，无重大分歧意见，详细情况见征求意见汇总表八、与有关现行法律、政策和标准的关系，预期的经济、社会效 果。本标准制定是依据中华人民共和国

9、标准化法等国家现行法律、 法规和强制性标准，结合地方实际情况制定的地方标准，因此与我国 现行的法规和相关标准协调一致。以电子专用材料单晶硅生长用石英招烟的组成和前期实验研究数 据为基本依据，按照GB/T1. 1-2009标准化工作导则第1部分：标准 的结构和编写规则编写、起草。本标准内容参考了如下文件：引用团体标准T/CEMIA005-2018光 伏单晶硅用石英出烟生产规范。本标准用纯水清洗方法代替了传统方 法化学清洗方法；对原材料石英砂标注了两种要求，其中内层2适用 于电子专用材料单晶硅生长用石英用埸的工艺技术要求，内层1适用 并高于光伏单晶硅生长用石英用烟的工艺技术要求。此标准的编制实施对

10、于保障石英培塌地方产业标准的有效供给， 提升我市石英卅烟行业的生产效率和技术水平，优化产业链，支撑产 业健康快速发展，提高产业发展质量和生态环境，减少光伏行业、半 导体行业对进口材料的依赖，提高国产材料的利用率；发挥标准和优 势企业的引领作用，构建强强联合的产业格局，促进合作共赢，提升 我市石英牛埸行业在全国以及国际市场的知名度和竞争力有重要意义。本标准在我省同行业中具有先进性，对于引领我省电子专用材料单 晶硅生长用石英卅埸产品质量的提高起到非常重要的作用。有效使用 寿命的提高、产品品质的提升、生产成品的降低，对产业链上其他产 品的生产可起到节能降耗、提高劳动效率、绿色环保的效果。可提高 我市石英培烟、电子专用材料单晶硅产业的整体产品水平，为企业和 社会带来可观的经济效益。九、标准实施的建议建议电子专用材料单晶硅生长用石英培烟生产技术规范作为 河北省推荐性地方标准发布实施。十、其他应说明的事项无。廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司2021年11月30日