如何正确选择真空泵.pdf

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1、如何正确选择真空泵选用真空泵时，需要注意以下事项：1、真空泵的工作压强应该知足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有必然的工作压强范围，如：扩散泵为 10-310-7mmHg，在如此宽压强范围内，泵的抽速随压强而转变，其稳固的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因此，泵的工作点应该选在那个范围之内，而不能让它在10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg 下工作，但其工作压强应小于110

2、-5mmHg 为宜。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺进程中产生的全数气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因此，有时选用一种泵不能知足抽气要求，需要几种泵组合起来，相互补充才能知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有必然的抽速，二者组合起来，便会使真空装置取得较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来利用。5、真空设备对油污染的要求。假设设备严格要求无油时，应该选各类无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、

3、低温泵等。若是要求不严格，能够选择有油泵，加上一些防油污染方法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成份。气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒尘埃，有无侵蚀性等。选择真空泵时，需要明白气体成份，针对被抽气体选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒、及侵蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的阻碍。若是环境不许诺有污染，能够选无油真空泵，或把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺进程及环境有无阻碍。假设工艺进程不许诺，应选择无振动的泵或采取防振动方法。9、真空泵的价钱、运转及维修费用。在利用许可的情形之下

4、,应尽可能选用价廉物美的真空泵。附：水环式真空泵的选择一、泵类型的确信泵的类型要紧由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：1.尽可能要求在高效区内，也确实是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。2.应幸免在最大真空度或最大排气压力周围运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳固，易产生振动和噪音。关于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会致使泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。依照以上原那么，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵当选取。若是真空度或排气压力较高，单

5、级泵往往不能知足，或，要求泵在较高真空度情形下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。若是真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。若是只作真空泵用，那么选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和保护，且在高真空情形下抗汽蚀性好。若是仅作较大气量的紧缩机利用，那么选用双作用的泵比较适合。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能取得自动平稳，轴不容易产生疲劳断裂，泵的利用寿命较长。二、依照系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型以后，关于真空泵，还要依照系统所需的气量来选用泵的型号。江边 2020-11-20 1

6、2:50依照微型泵的用途，能够分为三类来讨论：一、若是只是用微型气泵输出紧缩空气简单地说，确实是只用它来打气、充气，泵的抽气口大体不用。这种情形比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001,固然还要参考流量指标等相关技术参数。二、若是是以下几种情形，那么应该选用 PHW600B 或 WAA 系列产品 1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。2、要求微型泵既能抽气又能抽水。3、要紧用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，如此泵才能把低处的水抽上来，不

7、然泵无法抽水乃至损坏。），即希望泵有“自吸”功能。PHW600B 或 WAA 系列产品的优势就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”，“干转”乃至会损坏泵。而 PHW600B 或 WAA 系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。因此，在没有水的情形下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。不管是抽气状态仍是抽水状态，都属于正常工作范围，也就无所谓“干转”损伤。三、若是是用微型泵抽气，情形略微复杂些，大致可从以下两个方面来决定选型

8、(一)、判定微型泵抽气端工况用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。尽管通常老是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要专门注意。简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价钱廉价；严格意义上的微型真空泵能够带大负载（抽气端许诺大阻力，乃至完全堵塞），但价钱稍贵。二者具体区别能够详见我公司网站上“实验数据”中的文章关于微型真空泵与气体采样泵的区别，再也不复述。气体采样泵有：PM 系列（具体型号如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM 系列、VAA 系列、PK 系列、PC

9、 系列、VCA 系列、VCC系列、VCH 系列、PH 系列、FM 系列、FAA 系列、PCF 系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如 VM7002、VAA6005、PC3025 等。关于微型泵抽气端阻力的大小能够用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口许诺最大阻力”Por 值（“进气口 Por”的概念参见 VM 系列详细参数）比较就能够够明白选型是不是适合。通常依照体会采纳简便的方式确信，比如下述几种情形都属于负载较大（即泵的抽气端阻力较大），只能在微型真空泵范围内选型：在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害乃至会阻塞封锁，或管道内孔很小(比如小于2 毫米)；在管路上有

10、节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体（如集成块、周密工件等）；泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。(二)、判定微型泵排气端工况以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，依照这些判定条件已经缩小了选型的范围，但还必需考虑排气端阻力问题，如此才能最终确信可选范围。在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对

11、不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口许诺最大阻力 Por 值”（“排气口 Por”的概念参见 VM 系列详细参数）这一参数确实是标定泵的排气能力，让咱们能够用严格的技术手腕确信选型是不是适当。简单地说，关于排气阻力大的系统，咱们的选型范围是：FM 系列、FAA 系列、PCF 系列；关于排气阻力小的系统，选型范围是：VM 系列、VAA 系列、PK 系列、PC 系列、VCA系列、VCC 系列、VCH 系列、PH 系列。依照以上几个步骤，咱们已经能够确信微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再依照咱们对流量和真空度的要求就能够够确信具体的型号了。注意参数选择要留有余量，专门是流量参数。泵

12、接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此取得的流量小于泵的标称流量。以下是其他与选型相关的问题，请依照利用情形考虑：1、带负载启动问题若是微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，那么要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载 Pis 值，排气口最大启动负载 Pos 值（这两个值的概念参见 VM 系列详细参数）。典型应用事例确实是利用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。能够在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM 系列、VAA 系列、PK 系列、PC系列、VCA 系列、V

13、CC 系列、VCH 系列、PH 系列；能够在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM 系列、FAA 系列、PCF 系列。该性能对制造商的技术水平要求较高。2、微型泵的介质温度问题依照通过泵的介质气体的温度，选择要一般型的仍是要高温型的。3、微型泵的靠得住性问题依照微型泵出故障后产生后果的严峻性而定，完全依照自己的要求。优质品的平均无端障持续运行时刻都大于 1000 小时，有的高到数千小时。专门注意，这项参数是在满负荷、不中断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，若是实际利用不是满载或持续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完满是考验制造商的技术实力，从产品外观上能够看出一些，如采纳特制电机而非一般低价电机、体积相当的情形下重量较重等。依照产品价钱也可略知一二。4、微型泵的电磁干扰问题