测量系统分析基础篇17691.pptx

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1、STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 0Training Course NameTraining Course NameTraining Course NameMeasurement System AnalysisPrepared by XW HuApproved by Jerry WuEffective Date _Nov 0804STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 1课程内容课程内容（基础篇）（基础篇）MSA的重要性的

2、重要性测量系统分析的对象测量系统分析的对象测量系统误差来源测量系统误差来源测量基础术语测量基础术语 测量系统统计特性测量系统统计特性理想的测量系统理想的测量系统测量系统应有的特性测量系统应有的特性测量系统的策划测量系统的策划STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 2课程内容课程内容（方法篇）（方法篇）测量系统研究准备测量系统研究准备计量型分析计量型分析稳定性分析偏倚分析线性分析重复性和再现性分析计数型分析计数型分析风险分析法STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu

3、 ConfidentialPage 3MSA MSA 的重要性的重要性原料人机 法环測量測量結果好不好測量PROCESS如果测量的方式不对，那么好的结果可能被测为坏的结果，坏的结果也可能被测为好的结果，此时便不能得到真正的产品或过程特性。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 4MSA分分析对象析对象nQS-9000 4.11.4n为分析每种类型的测量和试验设备系统的测量结果存在的差异,必须进行适当的统计研究.此要求必须适用于在控制计划中提出的测量系统,并由QA部门定义其适用性.n至少所有影响产品特性的测量系统

4、必须作MSA.STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 5测量误差测量误差y=x+测量值=真值(True Value)+测量误差STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 6测量误差来源测量误差来源STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 7测量误差的来源测量误差的来源n仪器方面(Equipment)：nDiscrimination(分辩力)nPreci

5、sion 精密度(Repeatability 重复性)nAccuracy准确度(Bias偏差)nDamage损坏nDifferences among instruments and fixtures (不同仪器和夹具间的差异)STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 8测量误差的来源测量误差的来源不同检验者的差异(Reproducibility再现性)(Difference in use by inspector)训练技能疲劳无聊眼力舒适检验的速度指导书的误解STATSChipPAC TrainingRev.:A

6、Prepared by:XW Hu ConfidentialPage 9测量误差的来源测量误差的来源不同环境所造成的差异（Differences due to environment）温度湿度振动照明腐蚀污染(油脂)STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 10测量误差的来源测量误差的来源方法方面：(Differences among methods of use)测试方法测试标准材料方面(Material):准备的样本本身有差异收集的样本本身有差异STATSChipPAC TrainingRev.:APrepa

7、red by:XW Hu ConfidentialPage 11测量系统与过程同步改进测量系统与过程同步改进STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 12测量基础术语测量基础术语测量测量(Measurement)：赋值给具体事物以表示它们之间关于特定特性的关系。赋值过程即为测量过程，而赋予的值定义为测量值。量具量具(Gage)：任何用来获得测量结果的装置，经常用来特指用在车间的装置，包括用来测量合格不合格的装置。测量系统测量系统(Measurement System)：用来对被测特性赋值的操作、程序、量具、设备、

8、软件以及操作人员的集合；用来获得测量结果的整个过程。数据数据(Data):一组条件下观察结果的集合，既可以是连续的(一个量值和测量单位),又可以是离散的(属性数据或计数数据如成功失败、好坏、过不通过等统计数据)。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 13测量基础术语测量基础术语标准标准(Standard)用于比较的可接受的基准；用于接受的准则；已知数值，在表明的不确定度界限内，作为真值被接受；基准值。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu Confidenti

9、alPage 14测量基础术语测量基础术语准确度准确度(Accuracy):Accuracy):观测值和可接受基准值之间一致的接近程度。方差分析方差分析(Analysis of Variance):Analysis of Variance):一种经常用于试验设计(DOE)中统计方法(ANOVA)，用于分析多组的计量型数据以便比较方法和分析变异源校准校准(Calibration):Calibration):在规定的条件下，建立测量装置和已知基准值和不确定度的可溯源标准之间的关系的一组操作。校准可能也包括通过调整被比较的测量装置的准确度差异而进行的探测、相关性、报告或消除的步骤。确定示值误差的过程

10、.校准周期校准周期(Calibration Interval):Calibration Interval):两次校准间的规定时间总量或一组条件，在此期间，测量装置的校准参数(示值误差)被认定为有效的。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 15分辨力分辨力(Discrimination)、可读性可读性(Readability)、分辨率分辨率(Resolution)最小的读数单位、刻度限度；由设计决定的固有特性；测量或仪器输出的最小刻度；1:10经验法则（过程变差(6)与公差较小者）。过程变差公差测量基础术语测量

11、基础术语STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 16测量基础术语测量基础术语有效分辨力有效分辨力(Effective Resolution)n定义：考虑整个测量系统变差时的数据分级大小(ndc)。nNdc=1.41x(PV/GRR)n左图：只能表明过程是否正在生产合格零件。一个数据分级STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 17测量基础术语测量基础术语24个数据分级5个或更多个个数据分级有效分辨力有效分辨力(Effective

12、Resolution)A图：只能粗略估计制程。不能用于计量控制。B图：可用于计量控制图建议使用达到5个以上分级数STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 18测量基础术语测量基础术语有效分辨力区分（有效分辨力区分（exampleexample）Spec Limit:100+/-Spec Limit:100+/-10106-10+104个分级数10个分级数STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 19测量基础术语测量基础术语量具量具R

13、&R(Gage R&R):一个测量系统的重复性和再现性的合成变差的估计。GRR变差等于系统内和系统间变差之和。重复性(EV):设备的偏倚再现性(AV):评价者的偏倚交互作用交互作用(Interaction):源于两个或多个重要变量的合成影响或结果，评价人和零件之间具有不可附加性。评价人差别依赖于被测零件。测量系统误差测量系统误差(Measurement System Error):用于量具偏倚、重复性、再现性、稳定性和线性产生的合成变差。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 20测量基础术语测量基础术语零件变

14、差零件变差(Part Variation):与测量系统分析有关，对一个稳定过程零件变差(PV)代表预期的不同零件和不同时间的变差。过程控制过程控制(Process Control):一种运行状态，将测量目的和决定准则应用于实时生产以评估过程稳定性和测量体或评估自然过程变差的性质。测量结果显示过程或者是稳定和”受控”，或者是”不受控”。产品控制产品控制(Product Control):一种运行状态，将测量目的和决定准则应用于评价特性符合某规范。测量结果显示过程或者是”在公差内”或者是”在公差外”。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu Conf

15、identialPage 21测量基础术语测量基础术语回归分析回归分析(Regression Analysis):Regression Analysis):两个或多个变量之间关系的统计研究。确定两个或多个变量间数学关系的一种计算。灵灵敏敏度度(Sensitivity):Sensitivity):导致一个测量装置产生可探测(可辨别)输出信号的最小输入信号。一个仪器应至少和其分辨力单位同样敏感。敏感性是通过固有量具的设计与质量、服务期内维护和操作条件确定的。(灵敏度应与最小分辨率一致.)显著水平显著水平(Significance Level):Significance Level):被选择用来测试

16、随机输出概率的一个统计水平，也同风险有关，表示为风险，代表一个决定出错的概率。通常取值为0.05(5%)的出错概率.把好的误判为不好的风险为风险把不好的误判为好的风险为风险STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 22测量基础术语测量基础术语溯源性溯源性(Traceability)n在商品和服务贸易中溯源性是一个重要概念，溯源到相同或相近的标准的测量比那些没有溯源性的测量更容易被认同。这为减少重新试验、拒收坏的产品、接收好的产品提供了帮助。n溯源性在ISO计量学基本和通用国际术语(VIM)中的定义是”测量的特性或

17、标准值，此标准是规定的基准，通常是国家或国际标准，通过全部规定了不确度的不间断的比较链相联系。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 23测量基础术语测量基础术语國家標准引用標准工作標准生產量具夹量具千分尺CMM量块激光干涉仪引用量具量块比测波长标准干涉比测器STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 24测量基础术语测量基础术语真值真值(True Value):测量过程的目标是零件的”真”值，希望任何单独读数都尽可能地接近这一读值

18、(经济地)。遗憾的是真值永远也不可能知道是肯定的。然而，通过使用一个基于被很好地规定了特性操作定义的”基准”值，使用较高级别分辨率的测量系统的结果，且可溯源到NIST，可以使不确定度减小。因为使用基准作为真值的替代，这些术语通常互换使用。置信区间置信区间(Confidence Interval):期望包括一个参数的真值的值的范围(在希望的概率情况下叫置信水平)。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 25测量基础术语测量基础术语一致性一致性(Consistency):一致性是随时间得到测量变差的区别。它也可以看

19、成重复性随时间的变化。n影响一致性的因素是变差的特殊原因，如：n零件的温度n电子设备的预热要求n设备的磨损STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 26测量基础术语测量基础术语 均匀性均匀性(Uniformity):Uniformity):n均匀性是量具在整个工作量程内变差的区别。它也可被认为是重复性在量程上的均一性(同一性)。不同量程的重复性不同.n影响均匀性的因素包括：n夹紧装置对不同定位只接受较小较大尺寸。n刻度的可读性不好n读数视差STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared b

20、y:XW Hu ConfidentialPage 27测量基础术语测量基础术语n测量不确定度测量不确定度(Measurement Uncertainty):n不确定度是赋值给测量结果的范围，在规定的置信水平内描述为预期包含有真测量结果的范围。测量不确定度通常被描述为一个双向量。简单的表达式：n真测量值=观测到的测量(结果)UnU=扩展不确定度。扩展不确定度是测量过程中合成标准误差Uc，乘以一个代表所希望的置信范围中的正态分布的分布系数(K)。ISO/IEC确定了足以代表正态分布的95%的不确定度的分布系数。通常认为K=2，U=KUc。STATSChipPAC TrainingRev.:APre

21、pared by:XW Hu ConfidentialPage 28测量基础术语测量基础术语n测量不确定度测量不确定度(Measurement Uncertainty):n扩展不确定度 U=kuc公式nK覆盖因子（2-3）nuc 标准合成不确定度测量值分布曲线均值95.45%99.73%+3+3+2+2 真值1STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 29测量基础术语测量基础术语n测量不确定度测量不确定度(Measurement Uncertainty):n合成标准误差Uc包括了在测量过程中变差的所有重要组成部份

22、。在大多数情况下，按着本课程完成的测量系统分析的方法可以用来定量确定测量不确定度的众多来源。简单的表达式被定量表示为：nUc2=2偏倚+2GRR+2稳定性+2一致性+2其它n定期重复评价与测量过程有关的不确定度以确保持续保持所预计的准确度是适宜的。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 30测量基础术语测量基础术语n测量不确定度测量不确定度(Measurement Uncertainty)和和 MSA(Measurement System Analysis)主要主要区别区别:nMSA的重点是了解测量过程，确定在

23、测量过程中的误差总量（），及评估用于生产和过程控制中的测量系统的充分性。MSA促进了解和改进(减少变差)。n不确定度是测量值的一个范围，由置信区间来定义，与测量结果有关并希望包括测量真值。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 31测量基础术语测量基础术语不确定度不确定度(范围范围)和测量和测量(值值)误差区别误差区别:测量值概率分布曲线均值+3+3真值测量误差测量误差不确定度范围不确定度范围*2STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialP

24、age 32测量系统统计特性测量系统统计特性Bias偏差偏差(Accuracy准确性准确性)Repeatability重复性重复性(precision)Reproducibility再现性再现性Linearity线性线性Stability稳定性稳定性STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 33测量系统统计特性测量系统统计特性偏倚偏倚(Bias)Bias)：是测量结果的观测平均值与基准值的差值。真值的取得可以通过采用更高等级的测量设备进行多次测量，取其平均值。基准值觀測平均值偏倚偏倚STATSChipPAC Tr

25、ainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 34测量系统统计特性测量系统统计特性造成过份偏倚的可能原因造成过份偏倚的可能原因仪器需要校准仪器、设备或夹紧装置的磨损磨损或损坏的基准，基准出现误差校准不当或调整基准的使用不当仪器质量差设计或一致性不好线性误差应用错误的量具不同的测量方法设置、安装、夹紧、技术测量错误的特性量具或零件的变形环境温度、湿度、振动、清洁的影响违背假定、在应用常量上出错应用零件尺寸、位置、操作者技能、疲劳、观察错误STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu Confidentia

26、lPage 35测量系统统计特性测量系统统计特性重复性重复性(Repeatability):Repeatability):指由同一个操作人员用同一种量具经多次测量同一个零件的同一特性时获得的测量值变差（四同）重复性STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 36重复重复性性不好的可能原因不好的可能原因测量系统统计特性测量系统统计特性零件(样品)内部：形状、位置、表面加工、锥度、样品一致性。仪器内部：修理、磨损、设备或夹紧装置故障，质量差或维护不当。基准内部：质量、级别、磨损方法内部：在设置、技术、零位调整、夹持、夹

27、紧、点密度的变差评价人内部：技术、职位、缺乏经验、操作技能或培训、感觉、疲劳。环境内部：温度、湿度、振动、亮度、清洁度的短期起伏变化。违背假定：稳定、正确操作仪器设计或方法缺乏稳健性，一致性不好应用错误的量具量具或零件变形，硬度不足应用：零件尺寸、位置、操作者技能、疲劳、观察误差(易读性、视差)STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 37测量系统统计特性测量系统统计特性再现性再现性再现性(Reproducibility):Reproducibility):由不同操作人员，采用相同的测量仪器，测量同一零件的同一特

28、性时测量平均值的变差（三同一异）STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 38测量系统统计特性测量系统统计特性再现性不好的可能潜在原因再现性不好的可能潜在原因零件(样品)之间：使用同样的仪器、同样的操作者和方法时，当测量零件的类型为A,B,C时的均值差。仪器之间：同样的零件、操作者、和环境，使用仪器A,B,C等的均值差标准之间：测量过程中不同的设定标准的平均影响方法之间：改变点密度，手动与自动系统相比，零点调整、夹持或夹紧方法等导致的均值差违背研究中的假定评价人(操作者)之间：评价人A,B,C等的训练、技术、技能

29、和经验不同导致的均值差。对于产品及过程资格以及一台手动测量仪器，推蕮进行此研究。环境之间：在第1,2,3等时间段内测量，由环境循环引起的均值差。这是对较高自动化系统在产品和过程资格中最常见的研究。仪器设计或方法缺乏稳健性操作者训练效果应用零件尺寸、位置、观察误差(易读性、视差)STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 39测量系统统计特性测量系统统计特性稳定性时间1时间2稳定性稳定性(Stability):Stability):是测量系统在某持续时间内测量同一基准或零件的单一特性时获得的测量值总变差。不同时间内偏

30、倚值的变化.STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 40测量系统统计特性测量系统统计特性不稳定的可能原因不稳定的可能原因仪器需要校准，需要减少校准时间间隔仪器、设备或夹紧装置的磨损正常老化或退化缺乏维护通风、动力、液压、过滤器、腐蚀、锈蚀、清洁磨损或损坏的基准，基准出现误差校准不当或调整基准的使用不当仪器质量差设计或一致性不好仪器设计或方法缺乏稳健性不同的测量方法装置、安装、夹紧、技术量具或零件变形环境变化温度、湿度、振动、清洁度违背假定、在应用常量上出错应用零件尺寸、位置、操作者技能、疲劳、观察错误STATS

31、ChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 41测量系统统计特性测量系统统计特性线性线性(Linearity):Linearity):是在量具预期的工作范围内，偏倚值的差值。量程观测平均值基准值观测平均值基准值STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 42观测平均值基准值无偏倚、无线性有偏倚、有线性测量系统统计特性测量系统统计特性基准值=X均值STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu Confid

32、entialPage 43测量系统统计特性测量系统统计特性线性误差的可能原因线性误差的可能原因仪器需要校准，需减少校准时间间隔；仪器、设备或夹紧装置磨损；缺乏维护通风、动力、液压、腐蚀、清洁；基准磨损或已损坏；校准不当或调整基准使用不当；仪器质量差；设计或一致性不好；仪器设计或方法缺乏稳定性；应用了错误的量具；不同的测量方法设置、安装、夹紧、技术；量具或零件随零件尺寸变化、变形；环境影响温度、湿度、震动、清洁度；其它零件尺寸、位置、操作者技能、疲劳、读错。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 44测量系统统计

33、特性测量系统统计特性Case study(Case study(应选用应选用什么类型仪器什么类型仪器)基准值观测平均值基准值观测平均值基准值观测平均值偏倚小,重复性小STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 45理想的测量系统理想的测量系统(Ideal Measurement System):每次使用时，应只产生“正确”的测量结果。每次测量结果总应该与一个标准值相符。一个能产生理想测量结果的测量系统，应具有零方差、零偏倚零方差、零偏倚和所测的任何产产品错误分类为零品错误分类为零概率的统计特性。理想的测量系统理想的

34、测量系统STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 46测量系统测量系统应有的特性应有的特性足够的分辨率和灵敏度足够的分辨率和灵敏度。为了测量的目的，相对于过程变差或规范控制限，测量的增量应该很小。通常所有的十进制或10/1法则，表明仪器的分辨率应把公差(过程变差)分为十份或更多。这个规则是选择量具期望的实际最低起点。测量系统应该是统计受控制的测量系统应该是统计受控制的。这意味着在可重复条件下，测量系统的变差只能是由于普通原因而不是特殊原因造成。这可称为统计稳定性且最好由图形法评价。即稳定性受控.STATSChip

35、PAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 47测量系统测量系统应有的特性应有的特性对产品控制，测量系统的变异性与公差相比必须小于依据特性的公差评价测量系统。对于过程控制，测量系统的变异性应该显示有效的分辨率并与过程变差相比要小。根据6变差和或来自MSA研究的总变差评价测量系统。偏倚、重复性、再现性、线性可接受偏倚、重复性、再现性、线性可接受只有一人操作可不考虑测量范围小可不考虑STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 48测量系统策划测量系统策划典型

36、的进展典型的进展测量系统的设计开发测量系统的设计开发测量系统的制造测量系统的制造测量系统实施（定期校准、统计分析）STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 49测量系统研究准备测量系统研究准备测量系统的评定测量系统的评定 -第一阶段：了解该测量过程并确定该测量系统是否满足我们的需要。主要有二个目的*确定该测量系统是否具有所需要的统计特性，此项必须在使用前进行。*发现哪种环境因素对测量系统有显著的影响，例如温度、湿度等，以决定其使用之空间及环境。-第二阶段:*目的是在验证一个测量系统一旦被认为是可行时，应持续具有恰

37、当的统计特性。*通常用稳定性分析、偏倚分析、R&R分析等方法。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 50测量系统研究准备测量系统研究准备先计划将要使用的方法。例如，通过利用工程决策，直观观察或量具研究决定，是否评价人在校准或使用仪器中产生影响。有些测量系统的再现性(不同人之间)影响可以忽略，例如按按钮，打印出一个数字。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 51测量系统研究准备测量系统研究准备评价人的数量，样品数量及重复读数次

38、数应预先确定评价人的数量，样品数量及重复读数次数应预先确定。在此选择中应考虑的因素如下：尺寸的关键性：关键尺寸需要更多的零件和或试验，原因是量具研究评价所需的置信度。零件结构：大或重的零件可规定较少样品和较多试验。由于其目的是评价整个测量系统，评价人的选择应从日常操作该仪器的人中挑选。样品必须从过程中选取并代表其整个工作范围。有时每一天取一个样本，持续若干天。这样做是有必要的，因为分析中这些零件被认为生产过程中产品变差的全部范围。由于每一零件将被测量若干次，必须对每一零件编号以便识别。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu Confidenti

39、alPage 52测量系统研究准备测量系统研究准备取样的代表性取样的代表性不具代表性的取法具代表性的取法STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 53测量系统研究准备测量系统研究准备 仪器的测量范围,分辨率,灵敏度,校准方面的可执行性,价格等因素应在购买时予以考虑.(SAP)仪器的分辨力应允许至少直接读取特性的预期过程变差的十分之一，例如特性的变差为0.001，仪器应能读取0.0001的变化。.确保测量方法(即评价人和仪器)在按照规定的测量步骤测量特征尺寸。STATSChipPAC TrainingRev.:AP

40、repared by:XW Hu ConfidentialPage 54测量系统研究准备测量系统研究准备测量系统分析执行注意点测量系统分析执行注意点测量应按照随机顺序，以确保整个研究过程中产生的任何漂移或变化将随机分布。评价人不应知道正在检查零件的编号，以避免可能的偏倚。但是进行研究的人应知道正在检查那一零件，并记下数据。在设备读数中，读数应估计到可得到的最接近的数字。如果可能，读数应取至最小刻度的一半。例如，如果最小刻度为0.0001，则每个读数的估计应圆整为0.00005。研究工作应由知其重要性且仔细认真的人员进行。每一位评价人应采用相同方法，包括所有步骤来获得读数。(作业指导书Work

41、Instruction)STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 55测量系统研究准备测量系统研究准备结果分析结果分析位置误差位置误差(Location Error):位置误差通常是通过分析偏倚和线性来确定。一般地，一个测量系统的偏倚或线性的误差若是与零误差差别较明显或是超出量具校准程序确立的最大允许误差，那么它是不可接受的。在这种情况下，应对测量系统重新进行校准或偏差校正以尽可能地减少该误差。宽度误差宽度误差(Width Error):测量系统变异性是否令人满意的准则取决于被测量系统变差所掩盖掉的生产制造过程变

42、异性的百分比或零件公差的百分比。对特定的测量系统最终的接受准则取决于测量系统的环境和目的，而且应该取得顾客的同意。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 56测量系统研究准备测量系统研究准备 对于以分析过程为目的的测量系统，通常单凭经验来确定测量系统的可接受性的规则如下误差误差 t就代表有明显的偏移。n如果t t就代表没有明显的偏移。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 78测量系统分析方法测量系统分析方法决定要分析的测量系统

43、抽取样本，取值参考值请现场测量人员测量15次输入数据到EXCEL表格中计算t值，并判定是否合格，是否是否合格，是否要加补正值要加补正值保留记录偏倚分析的做法偏倚分析的做法n结果判定n如果t t就代表有明显的偏移。n此时就要再看其所受的影响。n我们利用偏差公差，或偏差过程变化范围来了解其受影响的比例，如果比例比较高时,那么就可能仪器要停用或者修理。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 79测量系统分析方法测量系统分析方法决定要分析的测量系统抽取样本，取值参考值请现场测量人员测量15次输入数据到EXCEL表格中计

44、算t值，并判定是否合格，是否要加补正值保留记录保留记录偏倚分析的做法偏倚分析的做法n保留记录n各项的线性分析的记录要保存下来，可以和PPAP档案存放在一起，以有效证明公司的测量仪器其测量能力是足够的。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 80测量系统分析方法测量系统分析方法例例:STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 81测量系统分析方法测量系统分析方法偏倚研究分析偏倚研究分析如果偏倚从统计上非0，寻找以下可能的原因标准或基准

45、值误差，检查标准程序仪器磨损。这在稳定性分析(xbar-chart失控)可以表现出，建议按计划维护或修整。仪器制造尺寸有误差仪器测量了错误的特性（零件变差过大）仪器未得到完善的校准，评审校准程序评价人设备操作不当，评审测量说明书仪器修正运算不正确。n如果测量系统偏倚非 0，应该可以通过硬件、软件或两项同时调整再校准达到0，如果偏倚不能调整到0，也仍然可以通过改变程序(如用偏倚调整每个读数)使用。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 82测量系统分析方法测量系统分析方法决定要分析的测量系统抽取代表制程的45样本

46、每个样品精测，取值参考值请现场测量人员测量12次输入数据到EXCEL表格中计算截距t值，斜率t值是否合格，是否要加补正值或调整保留记录线线性性分分析析的的做做法法STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 83测量系统分析方法测量系统分析方法決定要分析決定要分析的測量系統的測量系統抽取代表制程的45樣本每個樣品精測，取值參考值請現場測量人員測量每一樣本12次輸入數據到EXCEL表格中計算截距t值，斜率t值是否合格，是否要加補正值或調整保留記錄线性线性分析的做法分析的做法n决定要分析的测量系统n由控制计划当中挑选，需

47、要进行分析的仪器。n一般典型包含了产品特性测量仪器以及过程特性测量仪器。n测量风险愈高的仪器要愈优先分析。n线性一般是在制程变异范围比较宽，只做单点的偏差分析，可能担心不足时使用。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 84测量系统分析方法测量系统分析方法线性线性分析的做法分析的做法決定要分析的測量系統抽取代表制程的抽取代表制程的4545樣本樣本每個樣品精測，取值參考值每個樣品精測，取值參考值請現場測量人員測量每一樣本12次輸入數據到EXCEL表格中計算截距t值，斜率t值是否合格，是否要加補正值或調整保留記錄n

48、抽取代表制程变异范围的样品，45个n此时一般由现场当中取出。n最好能覆盖最大值和最小值。n针对取出的样品进行精测n利用更高等级的测量设备进行测量十次，将十次的值进行平均，将此平均值做为参考值。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 85测量系统分析方法测量系统分析方法线性线性分析的做法分析的做法決定要分析的測量系統抽取代表制程的45樣本每個樣品精測，取值參考值請現場測量人員請現場測量人員測量每一樣本測量每一樣本1212次次輸入數據到EXCEL表格中計算截距t值，斜率t值是否合格，是否要加補正值或調整保留記錄n请

49、现场测量人员测量每一样本12次n测量人员应当是能够代表实际测量的人员。n同一样品请测量人员重复测量12次。n记录下测量数据。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 86测量系统分析方法测量系统分析方法线性线性分析的做法分析的做法決定要分析的測量系統抽取代表制程的45樣本每個樣品精測，取值參考值請現場測量人員測量每一樣本12次輸入數據到輸入數據到EXCELEXCEL表格中表格中計算截距t值，斜率t值是否合格，是否要加補正值或調整保留記錄n输入数据到EXCEL表格中n输入已经得到的测量数据。n利用EXCEL的资料分

50、析工具中的回归工具进行相应的计算。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW Hu ConfidentialPage 87测量系统分析方法测量系统分析方法线性线性分析的做法分析的做法決定要分析的測量系統抽取代表制程的45樣本每個樣品精測，取值參考值請現場測量人員測量每一樣本12次輸入數據到EXCEL表格中計算截距計算截距t t值，斜率值，斜率t t值值是否合格，是否要加補正值或調整保留記錄n计算截距t值，斜率t值n利用EXCEL的资料分析工具中的回归工具进行相应的计算。STATSChipPAC TrainingRev.:APrepared by:XW H