CCD传感器学习教程.pptx
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1、CCDCCD究竟是什么?CCDCCD传感器又叫电荷耦合器,它是一种特殊的半导体材料,由大量独立的感光二极管组成,一般按照矩阵形式排列,相当于传统相机的胶卷。1第1页/共20页2第2页/共20页CCDCCD电极的工作原理(1)光电转换。(2)电荷的存储。(3)电荷的转移。(4)电荷的检测。3第3页/共20页CCDCCD电极的工作原理 其中光电转换与电荷的存储是在光电二极管中进行,电荷转移是在CCD移位寄存器中进行,电荷检测是在FD放大器进行。1.光电转换与存储光电转换就是将光信号转换成信号电荷。线阵CCD是由许多光敏像元组成的,每个像元就是一个MOS电容器。4第4页/共20页CCDCCD电极的工
2、作原理 5它是在P型Si衬底的表面上用氧化的办法生成一层厚度约1000埃-1500埃的SiO2,再在表面镀一层金属,在衬底与金属电极间施加偏置电压,就构成了一个MOS电容器。当光照射到MOS电容器上时,光子穿过透明电极及氧化层,进入P型Si衬底,衬底中处于价带的电子将吸收光子的能量而跃迁到导带第5页/共20页CCDCCD电极的工作原理 6光子进入衬底时产生的电子跃迁,形成电子-空穴对。在外加电场的作用下,电子-空穴对分别向电极两端移动,其中少数载流子流入势阱中形成信号电荷。产生信号电荷的数量直接与入射光的强度及曝光时间成正比;另外势阱存储电荷的多少还与输入栅电极的电压有关。第6页/共20页CC
3、DCCD电极的工作原理 72.电荷的转移CCD器件中存储在势阱中的电荷包能随栅极电压的变化作定向移动。第7页/共20页CCDCCD电极的工作原理 8电荷最初存储在偏压为10V的电极(2)下边的深势阱里,其它电极上均加有大于某临界值电压V的较低电压(例如2V)。如果逐渐将电极(3)的电压由2V增加到10V,这时(2)、(3)两个电极下面的势阱具有同样的深度,并合并在一起,原先存储在电极(2)下面的电荷,就在两个电极下面均匀分布,如图(b)所示第8页/共20页CCDCCD电极的工作原理 9然后,再逐渐将电极(2)的电压降到2V,使其势阱深度降低,如图(c)所示,这时电荷全部转移到电极下面的势阱中,
4、深势阱及电荷包向右移动了一个位置。通过将一定规则变化的电压加到CCD各电极上,电极下的电荷包就能沿半导体表面按一定方向移动。第9页/共20页CCDCCD电极的工作原理 10通常把CCD电极分为几组,每一组称为一相,并施加相同的时钟脉冲。CCD内部结构决定其正常工作需要的脉冲。图所示的结构需要三相时钟脉冲(图d)。第10页/共20页CCDCCD电极的工作原理 112.电荷的检测电荷的检测是将转移的信号电荷转换成电信号的动作。实际使用的电荷检测方法有以下两种(1)浮置扩散放大器(2)浮置栅极放大器第11页/共20页CCDCCD电极的工作原理 12信号电荷包在外加驱动脉冲的作用下,在CCD移位寄存器
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