DFB简介学习教程.pptx
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1、FP激光器 FP激光器的谐振腔由镀膜的自然解理面形成的,只能实现静态单模工作。在高速调制或温度和电流变化时,会出现模式跳跃和谱线展宽。第1页/共28页DFB激光器DFB(Distributed Feedback Laser),即分布式反馈激光器,其不同之处是内置了布拉格光栅(Bragg Grating),属于侧面发射的半导体激光器。DFB激光器将布拉格光栅集成到激光器内部的有源层中(也就是增益介质中),在谐振腔内即形成选模结构,可以实现完全单模工作。第2页/共28页第3页/共28页目前,DFB激光器主要以半导体材料为介质,包括锑化镓(GaSb)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、硫化锌(Z
2、nS)等。DFB激光器最大特点是具有非常好的单色性(即光谱纯度),它的线宽普遍可以做到1MHz以内,以及具有非常高的边摸抑制比(SMSR),目前可高达40-50dB以上。第4页/共28页DFB-LD芯片制造1.一次外延生长2.光栅制作3.二次外延生长4.脊波导制作5.欧姆接触、减薄6.解理成条7.端面镀膜8.解理成管芯9.TO-CAN第5页/共28页光栅制作1.全息曝光2.干法或湿法刻蚀第6页/共28页二次外延生长生长:1.低折射率层2.腐蚀停止层3.包层4.帽层:接触层第7页/共28页激光器的纵模F-P腔激光器:多纵模工作,也就是说该激光器只能用于短距离传输。DFB激光器 DFB激光器在高速
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