传感器原理与应用第八章 光电传感器PPT讲稿.ppt
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1、传感器原理与应用第八章 光电传感器第1页,共99页,编辑于2022年,星期三第八章 光电传感器 光电式传感器是一种将被测量通过光量的变化再转换成电量的传感光电式传感器是一种将被测量通过光量的变化再转换成电量的传感光电式传感器是一种将被测量通过光量的变化再转换成电量的传感光电式传感器是一种将被测量通过光量的变化再转换成电量的传感器,它的物理基础是光电效应。具有结构简单、性能可靠、精度高、器,它的物理基础是光电效应。具有结构简单、性能可靠、精度高、器,它的物理基础是光电效应。具有结构简单、性能可靠、精度高、器,它的物理基础是光电效应。具有结构简单、性能可靠、精度高、反应快等优点,在现代测量和自动控
2、制系统中,应用非常广泛,是一反应快等优点,在现代测量和自动控制系统中,应用非常广泛,是一反应快等优点,在现代测量和自动控制系统中,应用非常广泛,是一反应快等优点,在现代测量和自动控制系统中,应用非常广泛,是一种很有发展前途的新型传感器。种很有发展前途的新型传感器。种很有发展前途的新型传感器。种很有发展前途的新型传感器。n n 一般由光源、光学器件、光电元件三部分组成,光源发射出一一般由光源、光学器件、光电元件三部分组成,光源发射出一一般由光源、光学器件、光电元件三部分组成,光源发射出一一般由光源、光学器件、光电元件三部分组成,光源发射出一定光通量的光线,由光电元件接受,在检测时,被测量使光源发
3、射定光通量的光线,由光电元件接受,在检测时,被测量使光源发射定光通量的光线,由光电元件接受,在检测时,被测量使光源发射定光通量的光线,由光电元件接受,在检测时,被测量使光源发射出的光通量变化,因而使接受光通量的光电元件的输出电量也发生出的光通量变化,因而使接受光通量的光电元件的输出电量也发生出的光通量变化,因而使接受光通量的光电元件的输出电量也发生出的光通量变化,因而使接受光通量的光电元件的输出电量也发生变化,实现将被测量转换成电量。输出的电量可以是模拟量,也可变化,实现将被测量转换成电量。输出的电量可以是模拟量,也可变化,实现将被测量转换成电量。输出的电量可以是模拟量,也可变化,实现将被测量
4、转换成电量。输出的电量可以是模拟量,也可以是数字量。以是数字量。以是数字量。以是数字量。第2页,共99页,编辑于2022年,星期三n n光是一种电磁波,不同波长的光分布如图光是一种电磁波,不同波长的光分布如图光是一种电磁波,不同波长的光分布如图光是一种电磁波,不同波长的光分布如图n n这些光的频率(波长)虽然不相同,但都有反射、折射、散射、这些光的频率(波长)虽然不相同,但都有反射、折射、散射、这些光的频率(波长)虽然不相同,但都有反射、折射、散射、这些光的频率(波长)虽然不相同,但都有反射、折射、散射、衍射、干涉和吸收等性质。衍射、干涉和吸收等性质。衍射、干涉和吸收等性质。衍射、干涉和吸收等
5、性质。第3页,共99页,编辑于2022年,星期三光电传感器常用光源有:光电传感器常用光源有:白帜灯光源、气体放电光源(碳灯、低压高压水银灯、钠弧灯、白帜灯光源、气体放电光源(碳灯、低压高压水银灯、钠弧灯、汕弧灯)、气体激光器(氦氖、二氧化碳、氩离子激光器)、固汕弧灯)、气体激光器(氦氖、二氧化碳、氩离子激光器)、固态激光器、半导体激光器、发光二极管等。态激光器、半导体激光器、发光二极管等。第一节第一节 常用光电器件常用光电器件 光是由具有一定能量的粒子组成,根据爱因斯坦光粒子光是由具有一定能量的粒子组成,根据爱因斯坦光粒子学说,学说,每个光子所具有的能量每个光子所具有的能量E E 与其频率与其
6、频率f f 的大小成正比的大小成正比(即(即E E =hfhf,式中,式中h h=6.62610=6.62610-34-34JSJS,为普朗克常数)。,为普朗克常数)。光照射在光照射在物体上可看成一连串具有能量的光子对物体的轰击,物体吸物体上可看成一连串具有能量的光子对物体的轰击,物体吸收光子能量而产生相应的电效应,即光电效应收光子能量而产生相应的电效应,即光电效应。这是实现光。这是实现光电转换的物理基础。光电器件的作用原理是基于一些物质的光电效电转换的物理基础。光电器件的作用原理是基于一些物质的光电效应。应。第4页,共99页,编辑于2022年,星期三 光电效应依其表现形式的不同,通常可分为三
7、大类。光电效应依其表现形式的不同,通常可分为三大类。光电导效应光电导效应光照改变半导体的导电率光照改变半导体的导电率,从而引起半,从而引起半导体电阻值的变化效应,光敏电阻属于这类光电效应器件。导体电阻值的变化效应,光敏电阻属于这类光电效应器件。光生伏特效应光生伏特效应光照改变半导体光照改变半导体PNPN结电场结电场,从而引起,从而引起PNPN结电势的变化效应,故又称结电势的变化效应,故又称PNPN结光电效应,光电池、光敏结光电效应,光电池、光敏晶体管等属于这类光电效应器件。晶体管等属于这类光电效应器件。光电发射效应光电发射效应某些物质(如金属丝)在光的照射下,某些物质(如金属丝)在光的照射下,
8、能从表面向外部发射电子的现象能从表面向外部发射电子的现象,称之为光电发射效应,利,称之为光电发射效应,利用这种效应制作的光电器件有光电管和光电倍增管。用这种效应制作的光电器件有光电管和光电倍增管。光电发射效应发生在物体的表面,因而又称之为光电发射效应发生在物体的表面,因而又称之为外光电效应外光电效应;相应地,光电导效应和光生伏特效应被称为相应地,光电导效应和光生伏特效应被称为内光电效应内光电效应。本。本文下面仅介绍几种常见的内光电效应器件及其应用。文下面仅介绍几种常见的内光电效应器件及其应用。第5页,共99页,编辑于2022年,星期三n n从阴极开始及在每个倍增极间依次加上加速电压,设每极倍从
9、阴极开始及在每个倍增极间依次加上加速电压,设每极倍从阴极开始及在每个倍增极间依次加上加速电压,设每极倍从阴极开始及在每个倍增极间依次加上加速电压,设每极倍增率为增率为增率为增率为 ,经过经过经过经过NN次倍增极后,光电倍增管的光电流倍增到次倍增极后,光电倍增管的光电流倍增到次倍增极后,光电倍增管的光电流倍增到次倍增极后,光电倍增管的光电流倍增到NN。称为二次电子反射比。因此,有非常小的光功率输入称为二次电子反射比。因此,有非常小的光功率输入称为二次电子反射比。因此,有非常小的光功率输入称为二次电子反射比。因此,有非常小的光功率输入可得到相当大的电流。可得到相当大的电流。可得到相当大的电流。可得
10、到相当大的电流。第6页,共99页,编辑于2022年,星期三 半导体光电导效应内部机理如图半导体光电导效应内部机理如图8 81 1所示。所示。一、光敏电阻一、光敏电阻 1 1光敏电阻的光电效应光敏电阻的光电效应 光敏电阻是典型的光电导效应器件。无光照时,其阻值很高;光敏电阻是典型的光电导效应器件。无光照时,其阻值很高;有光照时,其阻值大大下降,光照越强阻值越低;光照停止,又恢有光照时,其阻值大大下降,光照越强阻值越低;光照停止,又恢复高阻状态。复高阻状态。图81 光电导效应能带图第7页,共99页,编辑于2022年,星期三 半导体受光照时,其共价键中的价电子吸收光子能量,由价带穿越共价键中的价电子
11、吸收光子能量,由价带穿越禁带到达导带,成为光生自由电子禁带到达导带,成为光生自由电子,使得半导体中自由电子空穴对增加,导电率提高,电阻值下降。光照停止时,失去光子能量的光生自由电子又重新迭落回价带与空穴复合,自由电子空穴对减少,导电率下降,电阻值提高。图中E Eg g称为禁带宽度称为禁带宽度,价电子吸收的光子能量E Eg时,才能穿越禁带成为自由电子。光照越强、具有能量E的光子数越多,光生自由电子-空穴对越多,电阻值越小。光照停止或光强减小使EEg时,光生自由电子又迭回价带成为价电子,使电阻值增加或恢复高阻状态。n每个光子所具有的能量每个光子所具有的能量E E数学表达式:n E=hf=hc/频率
12、越高,或波长越短,光子所具有的能量就越大。光子所具有的能量就越大。产生自由光生电子的入射光临界波长产生自由光生电子的入射光临界波长0为 满足 EEg 有 0 1242/Eg(nm)Si的禁带宽度Eg为1.2ev,Ge0.75ev,硫化镉cds2.4ev,CdSe1.8ev第8页,共99页,编辑于2022年,星期三n n说明:说明:n n 1 1、光照越强,表明具有、光照越强,表明具有、光照越强,表明具有、光照越强,表明具有hfhf能量的光子数越多,能量的光子数越多,能量的光子数越多,能量的光子数越多,n n 价带电子吸收光子能量的机会越多,成为导价带电子吸收光子能量的机会越多,成为导价带电子吸
13、收光子能量的机会越多,成为导价带电子吸收光子能量的机会越多,成为导 n n 带电子机会越,电导率越大。带电子机会越,电导率越大。带电子机会越,电导率越大。带电子机会越,电导率越大。n n 2 2、空穴在价带内运动参与导电;电子在导带内、空穴在价带内运动参与导电;电子在导带内、空穴在价带内运动参与导电;电子在导带内、空穴在价带内运动参与导电;电子在导带内n n 运动参与导电;运动参与导电;运动参与导电;运动参与导电;n n n n 紫外光光子能量大于红外光电子能量。紫外光光子能量大于红外光电子能量。紫外光光子能量大于红外光电子能量。紫外光光子能量大于红外光电子能量。第9页,共99页,编辑于202
14、2年,星期三 图图8 82 2是光敏电阻光电效应实验电路是光敏电阻光电效应实验电路,当偏压,当偏压U U 一定时,一定时,检流计指示电流检流计指示电流I I 的大小决定于光敏电阻上的光照强度。的大小决定于光敏电阻上的光照强度。图82 光敏电阻光电效应实验电路第10页,共99页,编辑于2022年,星期三 无光照时无光照时,检流计指示的电流很小,此时的电流称之为,检流计指示的电流很小,此时的电流称之为暗电暗电流流;此时光敏电阻的阻值很高,相应称之为;此时光敏电阻的阻值很高,相应称之为暗电阻暗电阻,暗电阻,暗电阻通常为兆欧级。通常为兆欧级。有光照时有光照时,检流计指示的电流较大,此电流称之为,检流计
15、指示的电流较大,此电流称之为亮电流亮电流;此时,光敏电阻的阻值显著减小,相应称之为此时,光敏电阻的阻值显著减小,相应称之为亮电亮电阻阻,亮电阻一般为千欧以内。,亮电阻一般为千欧以内。由光照所产生的自由电子由光照所产生的自由电子空穴流称之为空穴流称之为光电流光电流,显然,显然光光电流是亮电流与暗电流之差电流是亮电流与暗电流之差,由于暗电流很小,在工程分析时,由于暗电流很小,在工程分析时可把亮电流看成光电流。可把亮电流看成光电流。第11页,共99页,编辑于2022年,星期三 2 2光敏电阻种类光敏电阻种类 光敏电阻是一个纯电阻性两端器件,适用于交、直流电路,光敏电阻是一个纯电阻性两端器件,适用于交
16、、直流电路,因而应用广泛,种类很多。对光照敏感的半导体光敏元件都可因而应用广泛,种类很多。对光照敏感的半导体光敏元件都可以制成光敏电阻,目前人类已开发应用的光波频谱范围为以制成光敏电阻,目前人类已开发应用的光波频谱范围为0.1HZ0.1HZ10102121HZHZ,相应的波长为,相应的波长为3103109 9m m0.3Pm0.3Pm。半导体光敏元半导体光敏元件的敏感光波长为纳米波件的敏感光波长为纳米波,按其最佳工作波长范围可分为三类。,按其最佳工作波长范围可分为三类。(1 1)对紫外光敏感元件对紫外光敏感元件 紫外光紫外光是指紫外线(波长是指紫外线(波长=10=10380nm380nm)的内
17、侧光波,)的内侧光波,波长波长约约300300380nm380nm。对这类光敏感的材料有氧化锌(。对这类光敏感的材料有氧化锌(ZnOZnO)、硫化)、硫化锌(锌(ZnSZnS)、硫化镉()、硫化镉(CdSCdS)、硒化镉()、硒化镉(CdSeCdSe)等,这类敏感元)等,这类敏感元件适于作件适于作、射线检测及光电控制电路。射线检测及光电控制电路。第12页,共99页,编辑于2022年,星期三 (2 2)对可见光敏感元件对可见光敏感元件 可见光波长范围约可见光波长范围约380380760nm760nm,对这类光敏感的材料有硒,对这类光敏感的材料有硒(SeSe)、硅()、硅(SiSi)、锗()、锗(
18、GeGe)及硫化铊()及硫化铊(TiSTiS)、硫化镉()、硫化镉(CdSCdS)等,尤其是)等,尤其是TiSTiS光敏元件,它既适用于可见光,也适用于红光敏元件,它既适用于可见光,也适用于红外光。这类敏感元件适用了光电计数、光电耦合、光电控制外光。这类敏感元件适用了光电计数、光电耦合、光电控制等场合。等场合。(3 3)对红外光敏感元件对红外光敏感元件 红外光红外光是红外线(波长是红外线(波长=760=7601101106 6nmnm)的内侧光波,)的内侧光波,波长约波长约7607606000nm6000nm。对这类光敏感的材料有硫化铅(。对这类光敏感的材料有硫化铅(PbSPbS)、硒)、硒化
19、铅(化铅(PbSePbSe)、锑化铟()、锑化铟(InSbInSb)等,这类敏感元件主要用来探)等,这类敏感元件主要用来探测不可见目标。测不可见目标。第13页,共99页,编辑于2022年,星期三图83 部分光敏元件的光谱特性 3 3光敏电阻的基本特性光敏电阻的基本特性 (1)光谱(响应)特性 光光敏敏电电阻阻的的光光谱谱特特性性是是指指光光电电流流对对不不同同波波长长单单色色光光的的相相对对灵灵敏敏度度。图图8 83 3表表示示部部分分光光敏敏元元件件的的光光谱谱特特性性,其其中中硫硫化化锌锌对对波波长长为为300nm300nm左左右右的的紫紫外外光光最最敏敏感感;硫硫化化镉镉光光敏敏波波长长
20、的的峰峰值值在在670nm670nm左左右右;硫硫化化铊铊的的敏敏感感波波长长范范围围很很宽宽,约约3003001400nm1400nm,其其峰峰值值波波长长为为1000nm1000nm左左右右;硫硫化化铅铅具具有有很很宽宽的的敏敏感感波波长长范范围围,其峰值波长约其峰值波长约2300nm2300nm。(。(0.70.7峰值左右为敏感波长峰值范围)峰值左右为敏感波长峰值范围)第14页,共99页,编辑于2022年,星期三 (2 2)光照特性光照特性 光敏电阻的光照特性是指在光敏电阻的光照特性是指在一定的电压下一定的电压下,光电流光电流I I 与光照强度与光照强度E E 的关系的关系。如图。如图8
21、 84 4所示,光敏电阻具有很高所示,光敏电阻具有很高的光照灵敏度,且具有明显的非线性,可作控制元件,不的光照灵敏度,且具有明显的非线性,可作控制元件,不宜作计量元件。宜作计量元件。图84 光敏电阻的光照特性 光照强度(照度)是物体被照明的程度,也即物体表面所得到的光通量与被照面积之比,单位是Ix(l勒克斯是1流明的光通量均匀照射在1平方米面积上所产生的照度)光照强度的测量用照度计。第15页,共99页,编辑于2022年,星期三 (3 3)伏安特性伏安特性 光敏电阻的伏安特性是指在光敏电阻的伏安特性是指在一定强度的光照下一定强度的光照下,光敏光敏电阻的端电压与光电流的关系电阻的端电压与光电流的关
22、系。如图。如图8 85 5所示,伏安特性所示,伏安特性是一个线性关系特性,但不同材料的光敏电阻具有不同的是一个线性关系特性,但不同材料的光敏电阻具有不同的伏安特性,且各类光敏电阻都有最大允许功耗和最大允许伏安特性,且各类光敏电阻都有最大允许功耗和最大允许电压的要求,超过此极限值将会导致元件永久性损坏。电压的要求,超过此极限值将会导致元件永久性损坏。图85 光敏电阻的伏安特性 第16页,共99页,编辑于2022年,星期三 (4(4)频频率特性率特性 频频率特性系指光敏率特性系指光敏电电阻上的阻上的光光电电流流对对入射光入射光调调制制频频率率的响的响应应特性特性。如。如图图8 86 6所示,一般来
23、所示,一般来说说,调调制制频频率率f f 越高,越高,电电流相流相对对灵敏度灵敏度K Kr r 越低,越低,这这反映光敏元件具有一定的惰性,反映光敏元件具有一定的惰性,有的材料光响有的材料光响应时间应时间达几百毫秒。光敏达几百毫秒。光敏电电阻的响阻的响应时间应时间不不但与元件的材料有关,而且但与元件的材料有关,而且还还与光照与光照强强弱有关,光照越弱有关,光照越强强,响响应应的的时间时间越短。越短。图86 光敏电阻的频率特性光照,产生自由电子空穴对;光照停止,电子空穴复合,需要一定时间,第17页,共99页,编辑于2022年,星期三 (5 5)温度特性温度特性 温度特性系指温度特性系指光敏光敏电
24、电阻工作特性受温度的影响阻工作特性受温度的影响。例如。例如温度升高温度升高时时,它的暗,它的暗电电阻减小,即暗阻减小,即暗电电流增加、灵敏度下流增加、灵敏度下降。同降。同时时,温度上升,温度上升还还引起光引起光谱谱特性曲特性曲线线左移,左移,导导致光敏致光敏电电阻敏感波阻敏感波长长减小。减小。图图8 87 7是硫化是硫化铅铅光光谱谱温度特性。温度特性。图87 硫光铅光谱温度特性 第18页,共99页,编辑于2022年,星期三第19页,共99页,编辑于2022年,星期三n n灯光控制器安装在驾驶室仪表板上方。傍晚尾灯亮,光线更灯光控制器安装在驾驶室仪表板上方。傍晚尾灯亮,光线更暗前灯亮。会车时,还
25、具有自动变光功能。暗前灯亮。会车时,还具有自动变光功能。第20页,共99页,编辑于2022年,星期三第21页,共99页,编辑于2022年,星期三 当光照射到PN结上时,如果光子能量足够大,就将在PN结附近激发出大量的电子空穴对。在在PNPN结电场作用下,结电场作用下,N N区的区的光生空穴被拉光生空穴被拉向向P P区,区,P P区的光生电子区的光生电子被拉向被拉向N N区区;其结果在P区聚积正电荷,带正电,在N区聚积负电荷,带负电,即在P区和N区间形成一定伏特数的电位差,称之为光生电势。图88 光电池的光电效应 二、光电池二、光电池 1 1光光电电池的光池的光电电效效应应 光光电电池是典型的光
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