光电检测技术PPT讲稿.ppt
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1、光电检测技术第1页,共62页,编辑于2022年,星期四光电检测器件光电检测器件光子器件光子器件热电器件热电器件真空器件真空器件固体器件固体器件光电管光电管光电倍增管光电倍增管真空摄像管真空摄像管变像管变像管像增强管像增强管 光敏电阻光敏电阻 光电池光电池 光电二极管光电二极管 光电三极管光电三极管 光纤传感器光纤传感器 电荷耦合器件电荷耦合器件CCD热电偶热电偶/热电堆热电堆热辐射计热辐射计/热敏电阻热敏电阻热释电探测器热释电探测器第2页,共62页,编辑于2022年,星期四光子器件光子器件热电器件热电器件响应波长有选择性,一般有响应波长有选择性,一般有截止波长,超过该波长,器截止波长,超过该波
2、长,器件无响应件无响应响应波长无选择性,对可见响应波长无选择性,对可见光到远红外的各种波长的辐光到远红外的各种波长的辐射同样敏感射同样敏感响应快,吸收辐射产生信号响应快,吸收辐射产生信号需要的时间短,一般为纳秒需要的时间短,一般为纳秒到几百微秒到几百微秒 响应慢,一般为几毫秒响应慢,一般为几毫秒第3页,共62页,编辑于2022年,星期四1.器件的结构和工作原理器件的结构和工作原理2.器件的特性参数器件的特性参数3.器件的应用器件的应用本章重点:本章重点:第4页,共62页,编辑于2022年,星期四3.1 3.1 光电检测器件的基本特性参数光电检测器件的基本特性参数3.1.1 3.1.1 响应特性
3、响应特性1.1.响应度响应度响应度响应度:是光电探测器输出信号与输入光功率之间关系光电探测器输出信号与输入光功率之间关系 的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率2.2.光谱响应度:光谱响应度:光谱响应度:光谱响应度:探测器在波长为探测器在波长为的单色光照射下,输出电压或电的单色光照射下,输出电压或电流与入射的单色光功率之比流与入射的单色光功率之比第5页,共62页,编辑于2022年,星期四3 3.积分响应度:积分响应度:积分响应度:积分响应度:检测器对各种波长光连续辐射量的反检测器对各种波长光连续辐射量的反 应程度应程度4.4.响应时间:响应时间:响
4、应时间:响应时间:描述光电探测器对入射光响应快慢的描述光电探测器对入射光响应快慢的 一个参数一个参数5.5.频率响应:频率响应:频率响应:频率响应:光电探测器的响应随入射光的调制频光电探测器的响应随入射光的调制频 率而变化的特性称为频率响应率而变化的特性称为频率响应第6页,共62页,编辑于2022年,星期四3.1.2 3.1.2 光电检测器件的噪声光电检测器件的噪声1.1.热噪声热噪声热噪声热噪声:称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声2.2.散粒噪声:散粒噪声:散粒噪声:散粒噪声:穿越势垒的载流子的随机涨落所造成的噪声穿越势垒的载流子的随
5、机涨落所造成的噪声3.3.产生产生产生产生-复合噪声:复合噪声:复合噪声:复合噪声:载流子的产生率和复合率在某个时间间隔会在平均载流子的产生率和复合率在某个时间间隔会在平均值上下起伏,这种起伏引起的载流子浓度的起伏产生均方噪声电流值上下起伏,这种起伏引起的载流子浓度的起伏产生均方噪声电流 4.1/f 4.1/f噪声:噪声:噪声:噪声:闪烁噪声或低频噪声闪烁噪声或低频噪声第7页,共62页,编辑于2022年,星期四3.1.3 3.1.3 衡量噪声的参数衡量噪声的参数1.1.信噪比(信噪比(信噪比(信噪比(S/NS/N):负载电阻上信号功率与噪声功率之比负载电阻上信号功率与噪声功率之比2.2.等效噪
6、声功率(等效噪声功率(等效噪声功率(等效噪声功率(NEPNEP):):):):信号功率与噪声功率比为信号功率与噪声功率比为1(SNR=1)时,入射)时,入射到探测器件上的辐射通量到探测器件上的辐射通量(单位为瓦单位为瓦)3.3.探测率与归一化探测率探测率与归一化探测率探测率与归一化探测率探测率与归一化探测率:探测率探测率D定义为噪声等效功率的倒数定义为噪声等效功率的倒数4.4.暗电流:暗电流:暗电流:暗电流:光电检测期间仅在加电源时,而没有输入信号和背景光电检测期间仅在加电源时,而没有输入信号和背景 辐射时所流过的电流辐射时所流过的电流第8页,共62页,编辑于2022年,星期四3.1.4 3.
7、1.4 其他参数其他参数1.1.量子效率:量子效率:量子效率:量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数与入射光在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数与入射光 量子数之比量子数之比2.2.2.2.线性度:线性度:线性度:线性度:描述光电探测器输出信号与输入信号保持线性关系的程度描述光电探测器输出信号与输入信号保持线性关系的程度 非线性误差非线性误差:max/(I2 I1)max:实际响应曲线与拟合曲线之间的最大偏差实际响应曲线与拟合曲线之间的最大偏差 I2 和和 I1:分别为线性区中最小和最大响应值分别为线性区中最小和最大响应值3 3.工作温度:工作温度:工作温度:工作温度:光电探测
8、器最佳工作状态时的温度光电探测器最佳工作状态时的温度第9页,共62页,编辑于2022年,星期四3.2 3.2 真空光电探测器件真空光电探测器件3.2.1 3.2.1 光电发射材料光电发射材料1)光电发射材料的类型及其应具备的条件光电发射材料的类型及其应具备的条件 光吸收系数大光吸收系数大光吸收系数大光吸收系数大 光电在在体内传输过程中收到的能量损失小光电在在体内传输过程中收到的能量损失小光电在在体内传输过程中收到的能量损失小光电在在体内传输过程中收到的能量损失小 表面势垒低,表面逸出率大表面势垒低,表面逸出率大表面势垒低,表面逸出率大表面势垒低,表面逸出率大第10页,共62页,编辑于2022年
9、,星期四2)光电光电发射发射阴极材料阴极材料(1)(1)单碱与多碱锑化物光阴极单碱与多碱锑化物光阴极单碱与多碱锑化物光阴极单碱与多碱锑化物光阴极(2)(2)银氧铯与铋银氧铯光阴极银氧铯与铋银氧铯光阴极银氧铯与铋银氧铯光阴极银氧铯与铋银氧铯光阴极(3)(3)紫外光电阴极紫外光电阴极紫外光电阴极紫外光电阴极(4)(4)负电子亲和势负电子亲和势负电子亲和势负电子亲和势图图3-1 3-1 集中光电阴极材料的光谱响应集中光电阴极材料的光谱响应第11页,共62页,编辑于2022年,星期四3.2.2 3.2.2 光电倍增管(光电倍增管(PMTPMT)图图3-23-2 光电倍增管工作原理示意图光电倍增管工作原
10、理示意图1)PMT的基本原理的基本原理光入射窗、光电阴极、电子光学系统、二次发射倍光入射窗、光电阴极、电子光学系统、二次发射倍光入射窗、光电阴极、电子光学系统、二次发射倍光入射窗、光电阴极、电子光学系统、二次发射倍增系统、阳极增系统、阳极增系统、阳极增系统、阳极第12页,共62页,编辑于2022年,星期四2)光电倍增管结构光电倍增管结构(1)PMT的入射窗结构的入射窗结构 端面窗端面窗端面窗端面窗 侧面窗侧面窗侧面窗侧面窗(2)光电阴极光电阴极 半透明型半透明型半透明型半透明型 反射型反射型反射型反射型(3)电子光学系统电子光学系统第13页,共62页,编辑于2022年,星期四(4)倍增级结构倍
11、增级结构 聚集型聚集型聚集型聚集型 非聚集型非聚集型非聚集型非聚集型 常用倍增级材料:常用倍增级材料:锑化铯(锑化铯(锑化铯(锑化铯(CsSbCsSb)材料)材料)材料)材料 氧化的银镁合金材料氧化的银镁合金材料氧化的银镁合金材料氧化的银镁合金材料 铜铜铜铜-铍合金(铍的含量为铍合金(铍的含量为铍合金(铍的含量为铍合金(铍的含量为2%2%)负电子亲和势材料负电子亲和势材料负电子亲和势材料负电子亲和势材料GaPCsGaPCs(5)阳极结构阳极结构 栅网状阳极栅网状阳极栅网状阳极栅网状阳极图图3-3 3-3 光电倍增管结构图光电倍增管结构图(a)(a)百叶窗倍增级百叶窗倍增级 (b)(b)盒栅倍增
12、级盒栅倍增级(c)(c)瓦片倍增级瓦片倍增级 (d)(d)圆形鼠笼圆形鼠笼第14页,共62页,编辑于2022年,星期四3)PMT的基本特性参数的基本特性参数 (1)(1)光谱响应度光谱响应度光谱响应度光谱响应度 (2)(2)放大倍数放大倍数放大倍数放大倍数 (3)(3)暗电流暗电流暗电流暗电流 光电倍增管的暗电流是指光电倍增管的暗电流是指光电倍增管的暗电流是指光电倍增管的暗电流是指无光照无光照无光照无光照时(时(时(时(加有电源加有电源加有电源加有电源),光电),光电),光电),光电 倍增管的输出电流倍增管的输出电流倍增管的输出电流倍增管的输出电流 a.光电阴极和第一倍增级的热电子发射光电阴极
13、和第一倍增级的热电子发射 b.级间漏电流级间漏电流 c.离子和光的反馈作用离子和光的反馈作用 d.场致发射场致发射 e.放射性同位素和宇宙射线的影响放射性同位素和宇宙射线的影响 主要暗电流源第15页,共62页,编辑于2022年,星期四(4)(4)伏安特性伏安特性伏安特性伏安特性 (5)(5)时间特性和频率响应特性时间特性和频率响应特性时间特性和频率响应特性时间特性和频率响应特性;(;(;(;(6 6)PMTPMT的噪声的噪声的噪声的噪声图图3-4 PMT3-4 PMT阳极伏安特性阳极伏安特性321第16页,共62页,编辑于2022年,星期四4)PMT的供电电路的供电电路图图3-5 PMT电阻链
14、分压型供电电路电阻链分压型供电电路第17页,共62页,编辑于2022年,星期四5)光电倍增管的应用)光电倍增管的应用第18页,共62页,编辑于2022年,星期四第19页,共62页,编辑于2022年,星期四第20页,共62页,编辑于2022年,星期四第21页,共62页,编辑于2022年,星期四第22页,共62页,编辑于2022年,星期四3.3 3.3 半导体光电导型检测器件半导体光电导型检测器件 3.3.1 3.3.1 光敏电阻的结构与工作原理光敏电阻的结构与工作原理1)1)光敏电阻的结构光敏电阻的结构 图图3-6 3-6 光敏电阻结构示意图光敏电阻结构示意图(a)(a)梳状结构梳状结构(b)(
15、b)蛇形结构蛇形结构(c)(c)刻线式结构刻线式结构 1-1-光电导材料光电导材料 2-2-电极电极 3-3-衬底材料衬底材料第23页,共62页,编辑于2022年,星期四2)2)光敏电阻的基本工作原理光敏电阻的基本工作原理图图3-7 3-7 光敏电阻原理及符号光敏电阻原理及符号价带价带导带导带电子电子空穴空穴Eg价带价带导带导带电子电子空穴空穴施主施主图图3-8 3-8 本征半导体与杂质半导体本征半导体与杂质半导体第24页,共62页,编辑于2022年,星期四3.3.2 3.3.2 光敏电阻特性参数光敏电阻特性参数1)1)光电导增益光电导增益 2)光电导灵敏度光电导灵敏度图图3-9 光敏电阻的光
16、谱特性光敏电阻的光谱特性第25页,共62页,编辑于2022年,星期四3)光电特性光电特性图图3-10 CdS CdS光敏电阻的光照特性光敏电阻的光照特性什么是欧什么是欧姆接触?姆接触?第26页,共62页,编辑于2022年,星期四4)伏安特性伏安特性图图3-11 光敏电阻的伏安特性光敏电阻的伏安特性第27页,共62页,编辑于2022年,星期四5)温度特性温度特性图图3-12 光敏电阻的温度特性光敏电阻的温度特性第28页,共62页,编辑于2022年,星期四6)频率响应频率响应1.硒硒2.硫化镉硫化镉3.硫化铊硫化铊4.硫化铅硫化铅图图3-13 光敏电阻的频率特性曲线光敏电阻的频率特性曲线第29页,
17、共62页,编辑于2022年,星期四1 1)照明灯自动控制电路)照明灯自动控制电路3.3.3 3.3.3 光敏电阻的应用光敏电阻的应用图图3-14 照明灯自动控制电路照明灯自动控制电路K220V灯常闭CdS第30页,共62页,编辑于2022年,星期四2)火焰探测报警火焰探测报警图图3-15 火焰探测报警器电路图火焰探测报警器电路图第31页,共62页,编辑于2022年,星期四作业题:作业题:1.设某光敏电阻在设某光敏电阻在100lx的光照下的阻值为的光照下的阻值为2k,且,已知,且,已知它在它在90120lx范围内的范围内的=0.9,试求该光敏电阻在,试求该光敏电阻在110lx光照下的阻值?光照下
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