机电一体化教案与.pptx
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1、 检测技术也称为测试技术,研究的主要内容有被测量的测量、原理、测量方法、测量系统和数据处理四个方面。传感与检测是系统的感受器官。传感器是检测技术的关键元件。检测系统的趋势:(1)不断拓展测量范围,努力提高检测精度和可靠性;(2)传感器逐渐向集成化、组合式、数字化方向发展;(3)重视非接触式检测技术研究;(4)检测系统智能化。4.1 概述 第1页/共135页 检测系统的组成 系统中的检测量有电量和非电量。非电量检测系统的环节:(1)把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能,传感器又称为一次仪表。(2)对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处
2、理系统,通常被称为二次仪表。第2页/共135页图 4-1 非电量检测系统的结构形式非电量检测系统的结构形式第3页/共135页 传感器的概念及基本特性 传感器是一种以一定的精确度将被测量转换为与之有确定对应关系的、易于精确处理和测量的某种物理量(如电量)的测量部件或装置。1.传感器的构成 如图示 图4-2 传感器的组成框图第4页/共135页 (1)敏感元件:是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置,其输入、输出间具有确定的数学关系(最好为线性)。(2)转换元件:又称变换器,将非电量转换为电信号的元件。(3)基本转换电路:将电信号量转换成便于测量的电量,如电压、电流、频率等。第5页/共
3、135页 2.传感器的静态特性 (1)线性度 线性度是指传感器输出量与输入量之间的实际曲线偏离拟合曲线的程度。通常希望这个特性(曲线)为线性。但实际的输出与输入特性只能接近线性,与理论直线有偏差,如图示。第6页/共135页 线性度(非线性度误差):式中,L线性度(非线性误差);max最大非线性绝对误差;yFS 输出满度值。(2)灵敏度 传感器在静态标准条件下,输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比称灵敏度,用S0表示。灵敏度是传感器静态特性中的一个重要指标。(4-1)第7页/共135页 (3)迟滞 传感器在正、反行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以满量程输出yFS
4、的百分数表示:式中:Hm输出值在正、反行程间的最大差值。迟滞特性一般用实验方法确定。第8页/共135页 (4)重复特性 传感器在同一条件下,被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时的输出/输入曲线不一致的程度。重复特性误差用满量程输出的百分数表示,即式中,Rm最大重复性误差。重复特性也由实验方法确定,常用绝对误差表示。第9页/共135页 (5)分辨力 传感器能检测到的最小输入增量。(6)漂移 传感器在外部输入不变时输出随时间变化的现象。(7)精确度 表示测量结果和被测的“真值”的靠近程度。常以测量误差 的相对值表示。第10页/共135页 3.传感器的动态特性 动态特性是指传感器测量动态信
5、号时,输出对输入的响应特性。动态特性的表示方法:时域特性、频域特性。图为热电偶的时域动态特性。4、传感器的标定 传感器的标定是指利用高等级的标准器具对传感器的特性 进行刻度,或者说通过试验建立传感器的输入量输出量之间的关系。(1)静态标定:确定静态指标。(2)动态标定:确定传感器的动态特性参数,如时间常数、上升时间、工作频率和频宽等。第11页/共135页 5、传感器的分类 (1)工作原理 电阻原理:如电位计式传感器、应变式传感器;变磁阻原理:如电感式、电涡流式、差动变压式传感器;半导体原理:热敏、光敏、气敏等固态传感器。(2)信号特性 模拟式:输出信号为模拟量,以幅值形式表示输入量的大小,如电
6、感式传感器、电容式传感器等;数字式:输出信号为数字量,便于计算机联用,抗干扰性强,如光栅传感器、光电编码器等,输出的脉冲数量多少表示了输入量的大小。第12页/共135页 (3)电源 有源式:将非电量转换为电量,也称换能器(只转换本身不提供能量),如压电式、热电式、电磁式等;通常与测量电路、放大电路配合使用;无源式:也称能量控制型传感器,必须有辅助电源,被测非电量仅对传感器中的能量起控制或调节作用,如电阻式、电感式、电容式,常用于电桥和谐振电路的测量。(4)输入量类型:压力、位移、流量、速度、加速度等等。第13页/共135页信号传输与处理电路 传感器信号处理电路内容的选择所要考虑的问题主要包括
7、(1)传感器输出信号形式,如是模拟信号还是数字信号,是电压还是电流。(2)传感器输出电路形式,是单端输出还是差动输出。(3)传感器电路的输出能力,是电压还是功率,输出阻抗的大小如何等。(4)传感器的特性,如线性度、信噪比、分辨率。第14页/共135页 信号调理电路类型:阻抗变换输出阻抗很高时 信号放大输出信号微弱时 噪声抑制信号淹没在噪声中 电压/电流转换需要电流输出时 模拟数字转换需要数字输出第15页/共135页 工业过程检测第16页/共135页 产品质量检测 如汽车出厂检验第17页/共135页4.2 位移检测 位移测量包括线位移和角位移。位移传感器有电感式、电容式、感应同步器、光栅式、磁栅
8、式、旋转变压器、光电编码器。其中光栅式和光电编码器为数字式传感器。第18页/共135页模拟式位移传感器 电感式传感器是一种非接触式检测接近测量的传感器。电感式位移传感器基于电磁感应原理,将被测非电量转换为电感量变化的一种结构型传感器。特点:输出功率大,灵敏度高,稳定性好。分类:自感式、互感式、电涡流式 第19页/共135页图4-6 可变磁阻式电感传感器 1、可变磁阻式电感传感器 结构如图示,它主要由线圈、铁心和活动衔铁组成。第20页/共135页 当线圈通以激磁电流时,其自感L与磁路的总磁阻Rm有关,即(4-5)式中,W线圈匝数;Rm总磁阻。如果空气隙较小,而且不考虑磁路的损失,则总磁阻为(4-
9、6)第21页/共135页 铁心的磁阻远小于空气隙的磁阻,则(4-7)将式(4-7)代入式(4-5),得 若A0不变,则L是的单值函数,构成变气隙式电感传感器;若不变,使A0随被测量变化,则构成变截面式电感传感器。(4-8)第22页/共135页 当A0固定不变而改变时,L与成非线性关系,此时传感器的灵敏度为:传感器的灵敏度与空气隙的平方成反比,愈小,灵敏度愈高。S不是常数,所以会出现非线性误差。例如,设间隙变化范围为(0,0+),则灵敏度 当1 MHz)激励电流i0产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈,引起线圈自感L或阻抗Z
10、L的变化。集肤效应:当交变电流通过导体时,电流将趋于导体表面流过的现象,也称趋肤效应或表皮效应。频率越高,集肤效应越明显。第29页/共135页 (2)低频透射式涡流传感器 发射线圈W1和接收线圈W2分别置于被测金属板材料G的上、下方。低频磁场集肤效应小,渗透深,有能量损失。金属板材料G越厚损耗的能量越大,输出电动势u2越小,即u2的大小与G的厚度及材料的性质有关。当用此测量厚度时,激励电流频率不能太高,否则渗透过小,不利于测量。第30页/共135页 涡流传感器特点:结构简单,容易进行非电量测量,灵敏度高,应用范围广,可测位移、振动、厚度等等。第31页/共135页3.互感型差动变压器式电感传感器
11、互感型电感传感器是利用互感系数M的变化来反映被测量的变化,与变压器的工作原理相似,初级线圈输入稳定交流电时,次级线圈输出的电压随被测量的变化而变化。也常称为变压器式传感器,互感系数M的大小与两个线圈相对位置及周围介质的导磁能力等有关,表明了两线圈间的耦合程度。常采用差动式。第32页/共135页图4-12 差动变压器式电感传感器(a)、(b)工作原理;(c)输出特性 差动变压器式传感器主要由线圈、铁心和活动衔铁三部分组成。初、次级线圈的耦合程度随衔铁的移动而变化,即线圈件的互感随被测量位移变化。第33页/共135页 注意:(1)输出的电压是交流电压,用交流表指示时只反应铁心位移的大小不能反应移动
12、的极性;(2)交流电压输出存在一定的零点残余电压。图示为用于小位移的差动相敏检波电路的工作原理。图4-13 差动相敏检波电路的工作原理第34页/共135页 特点:精度高(0.1um),线性变化范围大,稳定性好。第35页/共135页第36页/共135页第37页/共135页第38页/共135页数字式位移传感器数字式位移传感器有光栅、磁栅、感应同步器等,其特点是利用自身的物理特征,使输出信号为脉冲信号,每一个脉冲代表输入的位移当量,对脉冲计数则可计算出位移。1、光栅传感器 光栅传感器是利用莫尔条纹效应实现被测量的测量。测量精度高,分辨率高,广泛用于静态测量和自动化领域中。第39页/共135页 光栅在
13、一块长条形光学玻璃上均居刻上许多宽度相等的刻线,形成透光与不透光相间排列的光学器件。分类:(1)用途:物理光栅和计量光栅,物理光栅是利用光的衍射原理,主要用于光谱分析、光波长的测量;计量光栅利用光的莫尔现象实现位移、速度、振动等测量。(2)光的走向:反射光栅和透射光栅,所用材料分别为玻璃和金属(不锈钢)。(3)形状:长光栅、圆光栅。第40页/共135页 光栅传感器测量系统:结构组成:光源、透镜、光栅副、光电元件。光栅副包括标尺光栅和指示光栅。工作原理:莫尔条纹现象。莫尔条纹:标尺光栅和指示光栅的密度相同,但是长度相差很多,当它们沿刻线成一个很小的角度叠合在一起,由于遮光效应,在光栅上出现明暗相
14、间的条纹,沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列,这些明暗相间的条纹称为莫尔条纹。第41页/共135页图4-16 莫尔条纹示意第42页/共135页 莫尔条纹的特点:位移放大作用。用W表示条纹宽度,P表示栅距,表示光栅条纹间的夹角,则有 例:若P0.01mm,把莫尔条纹的宽度调成10mm,则放大倍数相当于1000倍,即利用光的干涉现象把光栅间距放大1000倍,大大减轻了电子线路的负担。(4-10)第43页/共135页图4-17 光栅测量系统 光栅测量系统的基本构成如图示。图中a,b,c,d是四块光电池,即在一个莫尔条纹间距间安装四个光电元件。光电转换:当两块光栅作相对位移时,光电池上的光强度随莫尔条
15、纹移动而变化,则光电池的输出信号也变化。辨向:a,b,c,d在同一个莫尔条纹间距间,则产生的信号相位彼此差900,经处理可辨别位移方向。第44页/共135页 2、同步感应器 感应同步器是利用电磁感应原理将位移量转换为数字量的高精度检测元件,以脉冲形式输出。工作原理:两个平面形印刷电路绕组的互感随两者的相对位移变化。分类:直线型、圆盘型 特点:较高的分辨率和测量精度,可靠性好,抗干扰性强。第45页/共135页图4-18 感应同步器原理图 (1)直线同步感应器 组成:定尺、滑尺。其上均有均匀节距的绕组,滑尺上有两个绕组,即正弦绕组和余弦绕组。当余弦绕组与定子绕组相位相同时,正弦绕组与定子绕组错开1
16、/4节距。第46页/共135页 (2)圆盘式感应同步器 组成:定子、转子,分别相当于定尺和滑尺;其转子相当于直线感应同步器的滑尺,定子相当于定尺,而且定子中的两个绕组也错开1/4节距。第47页/共135页 信号检测:(1)鉴相式:根据感应电势的相位来鉴别位移量。即当uA=Umsint,uB=Umcost定尺上的绕组由于电磁感应作用将产生与激磁电压同频率的交变感应电势。图示为感应电势幅值与定尺和滑尺相对位置的关系。第48页/共135页 滑尺在定尺上每滑动一个节距,定尺绕组感应电势就变化了一个周期,即 eA=KuAcos式中,K滑尺和定尺的电磁耦合系数;滑尺和定尺相对位移的折算角。若绕组的节距为W
17、,相对位移为l,则 当仅对正弦绕组B施加交流激磁电压UB时,定尺绕组感应电势为 e B=-KuBsin 第49页/共135页 对滑尺上两个绕组同时加激磁电压,则定尺绕组上所感应的总电势为e=e A+eB=KuAcos-KuBsin =KUmsint cos-KUmcostsin =KUm sin(t-)(4-14)可知,感应同步器把滑尺相对定尺的位移l的变化转成感应电势相角的变化。因此,只要测得相角,就可以知道滑尺的相对位移l:(4-15)第50页/共135页 (2)鉴幅式 滑尺的两个绕组上有激磁电压频率和相位相同,但幅值不同的电压uA和uB uA=Umsin1sint uB=Umcos1si
18、nt;1指令位移角。若滑尺绕组与定尺绕组的相对位移角为,则定尺绕组上的感应电势为 e=KuAcos-KuBsin =KUm(sin1cos-cos1sin)sint =KUmsin(1-)sint 当1=时,e=0;当滑尺相对定尺有位移时,感应电动势的幅值增量发生变化,测得e即可测出B的大小。第51页/共135页第52页/共135页4.3 速度、加速度检测 物体的速度有线速度和角速度两种。速度加速度的测量方法:(1)直接测量速度转变为输出信号 (2)通过位移检测换算出速度和加速度 (3)通过测试惯性力换算出加速度 速度测量原理:(1)频率计数法 (2)模拟法 (3)比较法第53页/共135页
19、测速发电机是一种转速测量传感器。在许多自动控制系统中,它被用来测量旋转装置的转速,向控制电路提供与转速大小成正比的信号电压。测速电机有直流测速电机和交流测速电机。直流测速机速度检测 工作原理:电磁感应原理。转子在磁场中旋转时,电枢绕组即产生交变电势,经换向器和电刷转换成与转子速度成正比的直流电势。分类:(1)励磁方式:电磁式、永磁式。常用的是永磁式测速机。(2)电枢的结构:有无槽电枢、有槽电枢、空心杯电枢和圆盘电枢等。第54页/共135页 图 4-22 直流测速机的输出特性 负载电阻RL时输出电压V0与转速n成正比;负载电阻RL小输出电压下降,输出电压与转速之间线性度下降。所以要求精度较高的直
20、流测速机,负载电阻RL应尽可能大。第55页/共135页 直流测速电机特点:输出电压斜率大,无剩余电压,无相位误差,易实现温度补偿;但结构复杂,摩擦转矩大。作用:测速和校正。安装时尽可能直接连于主轴。如在恒速控制系统中,测速发电机将速度转换为电压信号作为反馈信号,达到调节速度的作用。第56页/共135页光电式转速传感器 光电式传感器是将被测量转换为光量的变化,再通过光电元件把光量转化为电信号。它的工作原理是光电效应,即物体吸收光能后转换成电量的变化。第57页/共135页 目前利用的光电效应有三种:(1)外光电效应:物体光电照射下电子溢出现象,如光电管;(2)内光点效应:材料在光的照射下电阻率发生
21、变化的现象,如光敏电阻;(3)光生伏特效应:物体在光照下内部产生电势的现象,如光敏二极管、光电池等。第58页/共135页图 4-23 光电式转速传感器的结构原理图 光电式转速传感器是一种角位移传感器,由装在被测轴(或与被测轴相连接的输入轴)上的带缝隙圆盘、光源、光电器件和指示缝隙盘组成,将光脉冲转换为电脉冲。第59页/共135页 根据测量单位时间内的脉冲数 N,则可测出转速为 (4-19)式中,Z圆盘上的缝隙数;n转速(rmin);t测量时间(s)。一般取Zt=6010m(m0,1,2,)。利用两组缝隙间距W相同,位置相差(i2+14)W(i0,1,2,)的指示缝隙和两个光电器件,就可辨别出圆
22、盘的旋转方向。第60页/共135页加速度传感器 加速度是反映物体在空间运动本质的一个基本物理量,通过测量加速度可以测量物体的运动状态。测量方法:通常采用惯性法,即把惯性型测量装置安装在运动体上进行测量。工作原理:利用惯性质量受加速度所产生的惯性力而造成的各种物理效应,进一步转化成电量,间接度量被测加速度。最常用的有应变式、压电式、电磁感应式等。应变式传感器。第61页/共135页图4-24 应变式加速度传感器 应变式加速度传感器:通过测试惯性力引起弹性敏感元件的变形换算出力的关系。电磁感应式传感器是借助弹性元件在惯性力的作用下,变形位移引起气隙的变化导致的电磁特性。第62页/共135页 压电式加
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