传感器与检测技术的理论基础PPT讲稿.ppt
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1、传感器与检测技术的理论基础第1页,共67页,编辑于2022年,星期四 应变式传感器是电阻式传感器的一种,电阻式传感器主要是使用传应变式传感器是电阻式传感器的一种,电阻式传感器主要是使用传感器阻值的变化来检测被测量。常见的有电位器式电阻传感器、应变片感器阻值的变化来检测被测量。常见的有电位器式电阻传感器、应变片式电阻传感器、热电阻式传感器、固态压阻式传感器、半导体传感器中式电阻传感器、热电阻式传感器、固态压阻式传感器、半导体传感器中的气敏电阻、湿敏电阻。的气敏电阻、湿敏电阻。概述概述概述概述各种电子称各种电子称:第2页,共67页,编辑于2022年,星期四1.1.电位器式电阻传感器电位器式电阻传感
2、器讨论讨论(1 1)电位器式电阻传感器的原理)电位器式电阻传感器的原理(2 2)阶梯特性、阶梯误差和分辨率)阶梯特性、阶梯误差和分辨率(3 3)负载特性和负载误差)负载特性和负载误差1.1.电位器式电阻传感器电位器式电阻传感器 (了解)(了解)2.2.应变片式电阻传感器(重点)应变片式电阻传感器(重点)主要内容:主要内容:第3页,共67页,编辑于2022年,星期四 电阻式应变传感器作为测力的主要传感器,测力范围小到肌肉纤维,电阻式应变传感器作为测力的主要传感器,测力范围小到肌肉纤维,大到登月火箭,精确度可到大到登月火箭,精确度可到 0.010.010.1%0.1%。有拉压式(柱、筒、环元件)、
3、。有拉压式(柱、筒、环元件)、弯曲式、剪切式。弯曲式、剪切式。2.2.电阻式应变传感器电阻式应变传感器 电电阻阻应应变变式式传传感感器器是是利利用用电电阻阻应应变变片片将将应应变变转转换换为为电电阻阻变变化化的的传传感感器器,传传感感器器由由在在弹弹性性元元件件上上粘粘贴贴电电阻阻应应变变敏敏感感元元件件构构成成。当当被被测测物物理理量量作作用用在在弹弹性性元元件件上上时时,弹弹性性元元件件的的变变形形引引起起应应变变敏敏感感元元件件的的阻阻值值变变化化,通通过过转转换换电电路路将将其其转转变变成成电电量量输输出出,电电量量变变化化的的大大小小反反映映了了被被测测物理量的大小。物理量的大小。第
4、4页,共67页,编辑于2022年,星期四应变式传感器特征:应变式传感器特征:不同材料类型:金属应变片、半导体应变片不同材料类型:金属应变片、半导体应变片应用范围:应变力、压力、转矩、位移、加速度;应用范围:应变力、压力、转矩、位移、加速度;主要优点主要优点:精度高,测量范围广、使用寿命长,性能稳定可靠、精度高,测量范围广、使用寿命长,性能稳定可靠、结构简单、尺寸小,重量轻、频率响应特性好,响应时间约为结构简单、尺寸小,重量轻、频率响应特性好,响应时间约为1010-7-7秒、可在各种恶劣条件下工作、应变片种类繁多,价格便宜秒、可在各种恶劣条件下工作、应变片种类繁多,价格便宜第5页,共67页,编辑
5、于2022年,星期四3.1 3.1 3.1 3.1 工作原理工作原理工作原理工作原理 电电阻阻应应变变片片的的工工作作原原理理是是基基于于应应变变效效应应,即即在在导导体体产产生生机机械械变变形时形时,它的电阻值相应发生变化。它的电阻值相应发生变化。如如图图 3 3-1 1 所所示示,一一根根金金属属电电阻阻丝丝,在在其其未未受受力力时时,原原始始电阻值为电阻值为 R=R=当电阻丝受到轴向拉力当电阻丝受到轴向拉力当电阻丝受到轴向拉力当电阻丝受到轴向拉力F F F F作用时,电阻值作用时,电阻值作用时,电阻值作用时,电阻值RRRR的的的的 变化引起电阻的相对变化为变化引起电阻的相对变化为变化引起
6、电阻的相对变化为变化引起电阻的相对变化为:第6页,共67页,编辑于2022年,星期四当当当当电电电电阻阻阻阻丝丝丝丝受受受受到到到到轴轴轴轴向向向向拉拉拉拉力力力力F F F F作作作作用用用用时时时时,金金金金属属属属丝丝丝丝几几几几何何何何尺尺尺尺寸寸寸寸变变变变化化化化引引引引起起起起电电电电阻阻阻阻的的的的相对变化相对变化相对变化相对变化第7页,共67页,编辑于2022年,星期四用应变用应变表示长度相对变化量表示长度相对变化量S/SS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量为圆形电阻丝的截面积相对变化量,即即 由由材材料料力力学学可可知知,在在弹弹性性范范围围内内,金金属属丝丝受受拉拉力力时
7、时,沿沿轴轴向向伸伸长长,沿径向缩短沿径向缩短,那么轴向应变和径向应变的关系可表示为那么轴向应变和径向应变的关系可表示为第8页,共67页,编辑于2022年,星期四可得可得 或或 通通常常把把单单位位应应变变能能引引起起的的电电阻阻值值变变化化称称为为电电阻阻丝丝的的灵灵敏敏度度系系数数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量,其表达式为其表达式为第9页,共67页,编辑于2022年,星期四灵敏度系数受两个因素影响灵敏度系数受两个因素影响:一个是受力后材料几何尺寸的变化一个是受力后材料几何尺寸的变化,即(即(1+21+2);另一个是受力后材料的电阻率发
8、生的变化另一个是受力后材料的电阻率发生的变化,即(即(/)/。对对金金属属材材料料电电阻阻丝丝来来说说,灵灵敏敏度度系系数数表表达达式式中中(1+21+2)的的值值要要比比(/)/)大大得得多多,而而半半导导体体材材料料的的(/)/)项的值比()项的值比(1+21+2)大得多。)大得多。第10页,共67页,编辑于2022年,星期四半导体应变片使用半导体材料制成,其工作原理是基于半半导体应变片使用半导体材料制成,其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。压阻效应是指半导体材料某一轴向受到导体材料的压阻效应。压阻效应是指半导体材料某一轴向受到外力作用时,其电阻率外力作用时,其电阻率发生变化的现象。发生
9、变化的现象。其中:其中:-半导体材料的压阻系数半导体材料的压阻系数 -半导体材料的所受应变力半导体材料的所受应变力 E-E-半导体材料的弹性摸量半导体材料的弹性摸量 -半导体材料的应变半导体材料的应变半导体应变片与金属丝式应变片半导体应变片与金属丝式应变片的比较:的比较:优点:灵敏系数高,可比金属丝高优点:灵敏系数高,可比金属丝高5080倍倍缺点:温度系数大,应变时非线性比缺点:温度系数大,应变时非线性比较严重,应用范围有限。较严重,应用范围有限。第11页,共67页,编辑于2022年,星期四用用应应变变片片测测量量应应变变或或应应力力时时,根根据据上上述述特特点点,在在外外力力作作用用下下,被
10、被测测对对象象产产生生微微小小机机械械变变形形,应应变变片片随随着着发发生生相相同同的的变变化化,同同时时应应变变片片电电阻阻值值也也发发生生相相应应变变化化。当当测测得得应应变变片片电电阻阻值值变变化化量量 RR时时,便便可可得得到到被被测测对对象的应变值。根据应力与应变的关系象的应变值。根据应力与应变的关系,得到应力值得到应力值为为 =E=E 式式中中 :试试件件的的应力应力;试件的应变试件的应变;E E 试件材料的弹性模量。试件材料的弹性模量。由由此此可可知知,应应力力值值正正比比于于应应变变,而而试试件件应应变变正正比比于于电电阻阻值值的的变变化化,所所以以应应力力正正比比于于电电阻阻
11、值值的的变变化化,这这就就是是利利用用应应变变片片测测量量应应变变的的基本原理。基本原理。第12页,共67页,编辑于2022年,星期四3.23.23.23.2应变片的种类、材料及粘贴应变片的种类、材料及粘贴应变片的种类、材料及粘贴应变片的种类、材料及粘贴 电阻应变片的种类电阻应变片的种类 但但常常用用的的应应变变片片可可分分为为两两类类:金金属属电电阻阻应应变变片片和和半半导导体体电电阻阻应应变变片片。其中金属应变片有。其中金属应变片有丝式电阻应变片丝式电阻应变片和和箔式应变片。箔式应变片。金属应变片由敏感栅、金属应变片由敏感栅、基片、基片、覆盖层和引线等部分组成覆盖层和引线等部分组成,如图如
12、图 3 3-2-2 所示。所示。第13页,共67页,编辑于2022年,星期四 敏敏感感栅栅是是应应变变片片的的核核心心部部分分,它它粘粘贴贴在在绝绝缘缘的的基基片片上上,其其上上再再粘粘贴贴起起保保护护作作用用的的覆覆盖盖层层,两两端端焊焊接接引引出出导导线线。金金属属电电阻阻应应变变片片的的敏感栅有丝式、敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。箔式和薄膜式三种。金属电阻应变片的材料要求:详细情况见金属电阻应变片的材料要求:详细情况见P45P45 箔箔式式应应变变片片是是利利用用光光刻刻、腐腐蚀蚀等等工工艺艺制制成成的的一一种种很很薄薄的的金金属属箔箔栅栅,其其厚厚度度一一般般在在0.0030.003
13、0.01mm0.01mm。其其优优点点是是散散热热条条件件好好,允允许许通通过过的的电电流流较较大大,可可制制成成各各种种所所需需的的形形状状,便便于于批批量量生生产产。薄薄膜膜应应变变片片是是采采用用真真空空蒸蒸发发或或真真空空沉沉淀淀等等方方法法在在薄薄的的绝绝缘缘基基片片上上形形成成0.1m0.1m以以下下的的金金属属电阻薄膜的敏感栅电阻薄膜的敏感栅,最后再加上保护层。最后再加上保护层。第14页,共67页,编辑于2022年,星期四3.33.3电阻应变片的特性电阻应变片的特性1.1.弹性敏感元件及其基本特性弹性敏感元件及其基本特性弹性元件的基本特性有:刚度、灵敏度、灵敏系数等。弹性元件的基
14、本特性有:刚度、灵敏度、灵敏系数等。(1)(1)刚度刚度 刚度是弹性元件受外力作用下变形大小的量度,其定义刚度是弹性元件受外力作用下变形大小的量度,其定义为弹性元件在单位变形下所需要的力,用为弹性元件在单位变形下所需要的力,用C C来表示来表示 第15页,共67页,编辑于2022年,星期四(2)(2)灵敏度灵敏度 通常用刚度的倒数来表示弹性元件的特性,称为弹性元件的通常用刚度的倒数来表示弹性元件的特性,称为弹性元件的灵敏度。灵敏度。(3)(3)灵敏系数灵敏系数被测体应变片应变片思考其他特征思考其他特征 有那些?有那些?第16页,共67页,编辑于2022年,星期四 直线电阻丝绕成敏感栅后,虽然长
15、度相同,但应变不同,园弧部分直线电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但应变不同,园弧部分直线电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但应变不同,园弧部分直线电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但应变不同,园弧部分使灵敏系数使灵敏系数使灵敏系数使灵敏系数KKKK下降,这种现象称为下降,这种现象称为下降,这种现象称为下降,这种现象称为横向效应横向效应横向效应横向效应。3.3 3.3 3.3 3.3 金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性2.2.2.2.横向效应横向效应横向效应横向效应 不能满足测量精度要求时不能满足测量精度要求时,应进行必要的修正应进行必要的修正,为
16、了减小横向效为了减小横向效应产生的测量误差应产生的测量误差,现在一般多采用箔式应变片。现在一般多采用箔式应变片。其他:其他:绝缘电阻绝缘电阻和最大电流、应和最大电流、应变片的动态响应变片的动态响应特性特性第17页,共67页,编辑于2022年,星期四讨论:电阻应变片的动态特性讨论:电阻应变片的动态特性阶跃响应:阶跃响应:频率响应:频率响应:应变片所反映的幅值将低于真实应变波,从应变片所反映的幅值将低于真实应变波,从而带来一定的测量误差。而带来一定的测量误差。exl0 x1x2第18页,共67页,编辑于2022年,星期四(1)(1)应变片的温度误差应变片的温度误差由由于于测测量量现现场场环环境境温
17、温度度的的改改变变而而给给测测量量带带来来的的附附加加误误差差,称称为应变片的温度误差。为应变片的温度误差。产生应变片温度误差的主要因素有产生应变片温度误差的主要因素有:电阻温度系数的影响电阻温度系数的影响 试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响3.3 3.3 3.3 3.3 金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性3.3.3.3.应变片的温度误差及补偿应变片的温度误差及补偿 第19页,共67页,编辑于2022年,星期四1)1)电阻温度系数的影响电阻温度系数的影响 敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示:敏感
18、栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示:R Rt t=R=R0 0(1+1+0 0t t)式中式中:R:Rt t温度为温度为 t t 时的电阻值时的电阻值;R R0 0温度为温度为t t 00时的电阻值时的电阻值;0 0金属丝的电阻温度系数金属丝的电阻温度系数;t t温度变化值温度变化值,t=t-t0,t=t-t0。当温度变化当温度变化tt时时,电阻丝电阻的变化值为电阻丝电阻的变化值为 RRt t=R=Rt t-R-R0 0=R=R0 00 0t t 第20页,共67页,编辑于2022年,星期四 2)2)试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响 当当试试
19、件件与与电电阻阻丝丝材材料料的的线线膨膨胀胀系系数数相相同同时时,不不论论环环境境温温度度如如何何变变化化,电阻丝的变形仍和自由状态一样电阻丝的变形仍和自由状态一样,不会产生附加变形。不会产生附加变形。当当试试件件和和电电阻阻丝丝线线膨膨胀胀系系数数不不同同时时,由由于于环环境境温温度度的的变变化化,电电阻阻丝会产生附加变形丝会产生附加变形,从而产生附加电阻。从而产生附加电阻。设设电电阻阻丝丝和和试试件件在在温温度度为为 0 0 时时的的长长度度均均为为L0L0,它它们们的的线线膨膨胀胀系系数分别为数分别为ss和和g,g,若两者不粘贴若两者不粘贴,则它们的长度分别为则它们的长度分别为 L Ls
20、 s=L=L0 0(1+1+s stt)第21页,共67页,编辑于2022年,星期四Lg=L0(1+gt)当当二二者者粘粘贴贴在在一一起起时时,电电阻阻丝丝产产生生的的附附加加变变形形L,L,附附加加应应变变和附加电阻变化和附加电阻变化RR分别为分别为 L=LL=Lg g-Ls=-Ls=(g g-s s)L L0 0t t =L/L=L/L0 0=(g g-s s)t t R R=K=K0 0 R R0 0=K=K0 0 R R0 0(g g-s s)t)t 第22页,共67页,编辑于2022年,星期四可得由于温度变化而引起应变片总电阻相对变化量为可得由于温度变化而引起应变片总电阻相对变化量为
21、折合成附加应变量或虚假的应变折合成附加应变量或虚假的应变t,t,有有第23页,共67页,编辑于2022年,星期四 由由此此可可知知,因因环环境境温温度度变变化化而而引引起起的的附附加加电电阻阻的的相相对对变变化化量量,除除了了与与环环境境温温度度有有关关外外,还还与与应应变变片片自自身身的的性性能能参参数数(K0K0,00,ss)以以及被测试件线膨胀系数及被测试件线膨胀系数gg有关。有关。(2).(2).电阻应变片的温度补偿方法电阻应变片的温度补偿方法 电阻应变片的温度补偿方法通常有:电阻应变片的温度补偿方法通常有:线路补偿法线路补偿法 应变片自补偿应变片自补偿 第24页,共67页,编辑于20
22、22年,星期四(1)(1)线路补偿法线路补偿法 电桥补偿是最常用的且效果较好的线路补偿法。如图所示是电电桥补偿是最常用的且效果较好的线路补偿法。如图所示是电桥补偿法的原理图。电桥输出电压桥补偿法的原理图。电桥输出电压UoUo与桥臂参数的关系为与桥臂参数的关系为 Uo=AUo=A(R R1 1 R R4 4-R-RB B R R3 3)3.3 3.3 3.3 3.3 金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性金属应变片的主要特性3.3.3.3.应变片的温度误差及补偿应变片的温度误差及补偿 第25页,共67页,编辑于2022年,星期四式中式中:A:A由桥臂电阻和电源电压决定的常数
23、。由桥臂电阻和电源电压决定的常数。R R1 1工作应变片;工作应变片;R RB B补偿应变片补偿应变片 由由上上式式可可知知,当当R R3 3和和R R4 4为为常常数数时时,R R1 1和和R RB B对对电电桥桥输输出出电电压压U0U0的的作作用用方方向向相相反反。利利用用这这一一基基本本关关系系可可实实现现对对温温度度的的补补偿偿。测测量量应应变变时时,工工作作应应变变片片R R1 1粘粘贴贴在在被被测测试试件件表表面面上上,补补偿偿应应变变片片R RB B粘粘贴贴在在与与被被测测试试件件材材料料完完全全相相同的补偿块上同的补偿块上,且仅工作应变片承受应变。且仅工作应变片承受应变。当当被
24、被测测试试件件不不承承受受应应变变时时,R R1 1和和R RB B又又处处于于同同一一环环境境温温度度为为 t t 的的温温度场中度场中,调整电桥参数,使之达到平衡调整电桥参数,使之达到平衡,有有Uo=AUo=A(R R1 1R R4 4-R-RB BR R3 3)=0=0第26页,共67页,编辑于2022年,星期四工工程程上上,一一般般按按R R1 1 =R R2 2 =R R3 3 =R R4 4 选选取取桥桥臂臂电电阻阻。当当温温度度升升高高或或降降低低t t=t-tt-t0 0时时,两两个个应应变变片片的的因因温温度度而而引引起起的的电电阻阻变变化化量量相相等等,电电桥桥仍仍处于平衡
25、状态处于平衡状态,即即 U Uo o=A=A(R R1 1+R+R1t1t)R R4 4-(R-(RB B+R+RBtBt)R)R3 3=0=0 若若此此时时被被测测试试件件有有应应变变的的作作用用,则则工工作作应应变变片片电电阻阻R1R1又又有有新新的的增增量量RR1 1=R=R1 1K K,而而补补偿偿片片因因不不承承受受应应变变,故故不不产产生生新新的的增增量量,此此时时电电桥桥输输出电压为出电压为 U Uo o=AR=AR1 1R R4 4K K 由由上上式式可可知知,电电桥桥的的输输出出电电压压UoUo仅仅与与被被测测试试件件的的应应变变有有关关,而而与与环境温度无关。环境温度无关。
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