TFT-LCD工程中英对照表.ppt
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1、TFT-LCD工程中英对照表Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.材料名词材料名词用语用语用语说明用语说明备注备注(Process)Gas(制程)气体,目前大多数种类的气体,多为提供CVD,Sputter及干蚀刻电浆源之用AC-1带静电防止剂(ESD-Preventer),在上光阻机内使用,防止静电产生,破坏玻璃组件Acetone丙酮ACF(Anisotropic Conductive Film)各向异性导电胶 Al(Aluminum)铝Alcohol酒精Al-EtchantAL刻蚀液:成份中含乙
2、酸CH3COOH、磷酸H3PO4及硝酸HNO3,主要用来蚀刻Mo/Al/Mo的沈积层AlNd(Aluminum and Neodymium Alloy)铝和钕的合金以上皆为溅镀机金属靶的材料之一APR Plate:Asahikasei Photosensitive Resin印刷版Ar氩气,制程气体,用来轰击溅镀机上的金属靶或常用为加热设备的热传媒介a-Si(amorphous silicon)非晶硅,TFT沈积层之一AU Ball金球,掺杂与Seal 胶中,用以导通上下基板,取代TRBack Cover背板:构成背光源的主体结构,承载其他部品Back Light Unit背光源:为液晶模块提
3、供光源Bar Mirror条形镜,装于Stage上,用于反射激光干涉仪发出的激光,从而反映出Stage当前的位置BCl3氯化硼,制程气体,在干蚀刻中用以作为蚀刻AlNd的电浆源Bezel金属框架:与背光源卡合,控制模块长和宽的最大尺寸Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Techno
4、logy Management Dept.Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.材料名词材料名词用语用语用语说明用语说明备注备注Panel面板PCB(Printed Circuit Board)印刷电路板PH3磷化氢,制程气体PI ink(polyimide)聚亚酰胺Plasma等离子体Polarizer偏光片Polyfron均压纸,基板压合时使用,用于分隔基板,可使压力均匀分布以及减少杂质所造成的损害PR:Photo Resist光刻胶Prism Sheet棱镜膜:缩小可视角度增加辉度Probe
5、(测试机的)探针Protector Sheet保护膜:保护棱镜膜不被划伤,并具有微弱的扩散作用Reflector Sheet反射膜:为了把透过的光重新向导光板内射入Rubbing cloth配向布,主要分为rayon(尼龙)与cotton(棉)两种,顾名思义,就是用于摩擦的布,用于rubbing机台,使基板产生配向,使用前须先挑除杂质,称为挑布Screw螺丝:将电路板固定于背板上;保证电路板通过背板接地SD:Source driver数据驱动器Seal封框胶,保证TFT 于C/F 贴合,同时是LC 与外界隔绝SF6氟化硫,制程气体,常用的主要干蚀刻电浆源以为提供蚀刻主原料氟的来源Shield
6、Cover屏蔽盖板:保护电路板及元件SiH4硅甲烷制程气体(泄漏有爆炸危险)Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.材料名词材料名词用语用语用语说明用语说明备注备注Silicone Rubber硅质垫片:贴附于塑胶框架上,有弹性,用来放置玻璃面板SiNx(x为为Si与与N的比例的比例)氮化硅,TFT沈积层之一SiON(应写为应写为SiOxNy 因因O,N的比例不一定的比例不一定)氮氧化硅,TFT沈积层之一Spacer 或或 MP(Micro Pearl)隔垫物,功能在于维持CF与TFT两块玻璃间之间
7、隙距离TAB(Tape Automated Bonding)卷带式晶粒接合Tape胶带Target靶Tcon:Timing Controller时序控制器TCP:Tape Carrier Package带载封装 TFT(Thin Film Transistor)薄膜晶体管*注.Thinner稀释剂,Coater单元自身清洁用的化学品TMAH:Tetramethylammonium Hydroxide 四甲基铵氢氧化物,是显影液的主要成分Transfer 或或 Conductive Paste 或或 Ag paste银胶或称导电胶UPW(Ultra-Pure Water)超纯水UV sealan
8、tUV 胶,用于两块玻璃基板组合时假固定用-Butyrolactone-丁内酯,简称液,用于清除APR版上的PICompany ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Aging老化Air shower气浴室Anneal回火Array排列,指在玻璃基板上做TFT的制程Assembly组装Bake烘烤Cellcell 完成后的在制品(货)CJ指高压水洗Cleaning清洗(Cleaner的动作称为Cleaning)Cool冷却Cure烘烤,键结硬化CVD(Chemica
9、l Vapor Deposition)化学气相沉积Deposition沉积Develop显影Dry Etch干刻Dry etching干刻EBR:Edge Bead Removing清除边缘光刻胶 Edge Exposure边缘曝光,指在显影前将玻璃基板边缘光阻较厚的部分再曝光,以防曝光量不足,造成光阻在显影后残留Edge Remover简称ER,指在旋转涂布光阻后,用NBA洗净残留在玻璃边缘的光阻Exposure曝光Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备
10、注备注FA(Failure Analysis)失效分析Gowning room换衣间Grind研磨HB:Hard Bake后烘Heat加热Hold留置在当站制程(如有质量问题时)ICP(Inductive Coupled Plasma)电感偶式电浆蚀刻机Injection注射(LC-Injection:注入液晶)Inspection检验Inspection检视Load进料Load Lock简称简称LL闭锁,为大气进入真空或真空进入大气的媒介Log off除帐Log on登帐Maintenance维修保养Mob:Mobility 迁移率Module模块,指后段组装制程MS指超音波水洗ODF(On
11、e Drop Fill)LC 直接滴注在玻璃基板上,然后完成C/F 与TFT 对合OLB(Outer Lead Bonding)外引线焊接 Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Packing包装PECVD:Plasma Enhanced CVD等离子体增强化学气相沉积PEP(photo engraving process)完成一次黄光制程叫做一个PEPPI Post-bakePI 后烤PI PrebakePI 预烤PI Print,PI coate
12、rPI 印刷PI:Pattern Inspection用于检测各种Pattern不良PM(Preventive Maintenance)预防保养Pre-bake预烘Pre-bake预烤Profile坡度角Request请求,要求Reserve预约Rework重工RIE(Reactive ion etching)反应性离子蚀刻Rinse喷淋Rubbing配向SB:Soft Bake前烘,即涂胶后的烘干设备SC:Spin-Coater旋转涂胶Scrap报废Scribe(1st scribe,2nd scribe)切割(有一次切割及二次切割)Company ConfidentialBOE OT Co
13、pyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Seal Pattern,Seal dispense框胶涂布Seal Pre-bakeSeal 预烤Select选择SMD:Surface Mounted Device表面贴装器件 Soldering焊接Spacer SprayerSpacer 散布Spin旋转(如Spin Dryer:高速旋干器)Spray Pressure(SP)常压喷淋(剥离液)Stability Step稳定步骤Start开始StitchGate层Mask后测试项目,用于检测实际各Shot间相对
14、位置Stock out将Cassette取出Support支援TP:Total PitchGate层Mask后测试项目,用于检测实际各Shot位置与设计值间偏差,为Cell对盒提供数据Transfer传送,运送SB:Soft Bake前烘,即涂胶后的烘干设备SC:Spin-Coater旋转涂胶Scrap报废Scribe(1st scribe,2nd scribe)切割(有一次切割及二次切割)Seal Pattern,Seal dispense框胶涂布Seal Pre-bakeSeal 预烤Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology M
15、anagement Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Select选择SMD:Surface Mounted Device表面贴装器件 Soldering焊接Spacer SprayerSpacer 散布Spin旋转(如Spin Dryer:高速旋干器)Spray Pressure(SP)常压喷淋(剥离液)Stability Step稳定步骤Start开始StitchGate层Mask后测试项目,用于检测实际各Shot间相对位置Stock out将Cassette取出Support支援TP:Total PitchGate层Mask后测试项目,用于检测实际各Shot位置与
16、设计值间偏差,为Cell对盒提供数据Transfer传送,运送Transportation传输Unload卸货Vacuum Anneal真空回火Warning警告Wet Etch湿法蚀刻Yield良率Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注A/A:ATM Arm大气机械手A/K:Air Knife空气刀AGV(Automatic Guided Vehicle)自动搬运车ALSR(Laser Repair)雷射修补机AMEL;AMOT(Film Thic
17、kness)膜厚量测仪(前者简称Sopra,后者简称Nano)AMGI(Particle Counter)微粒子侦测,侦测玻璃表面微粒子数目及大小分布AMOR;AMKL(Pattern Inspection)图案或线路检验设备;主要在检视沈积膜后、曝光后、蚀刻后及去光阻后表面的线路图案检查(前者简称Orbo,后者简称KLA)AMOV(CD/Overlay)量测设备用以测量关键线宽CD,及藉量测Box重迭状况来检视Stepper的精度AMSH(Microscope)高倍显微镜,主要在检视曝光后、蚀刻后及去光阻后表面的线路图案检查(简称Olympus)AMSP(Surface Profiler)表
18、面轮廓检查机,测量线路图案的高低分布状况,亦可藉此求得蚀刻速率(简称KLA-Tencor)AMSR(Sheet Resistance)沈积膜的电阻值测试设备AMVI(Visual Inspection)目视检查机,Array段制程的最后出货前检查ANNI(Anneal Oven)回火设备AOI:Auto Optical Inspection自动光学检测系统AOS:Alignment Optical System光学对位系统APC:Adaptive Pressure Controller压力自适应调节器ATAR(Array Tester)Array Defect的测试设备ATOS(Open/Sh
19、ort Tester)断短路测试机ATTG(TEG Tester or TFT Device Measurement)TFT的电性测试设备Backside-Exposure背面曝光Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Breaker电源开关,继电器Brush清洗机所使用之软刷Bumper保险杠BF:Buffer设备里暂存玻璃的缓冲单元 Cassette装在制品的架子CDS:Coat&Development System涂胶显影系统,是TRACK设备另
20、一种更形象的称谓Chamber反应室(如CVD,Sputter或干蚀刻),槽Charger充电器Chiller热交换器Clean booth洁净工作台Clean lifter天井传送车Clean room洁净室Clean shoes(dust-free shoes,boots)无尘鞋Clean suit(bunny suit,dust-free garment)无尘衣Cleaner清洗机Coater涂胶单元Computer计算机Contact Angle接触角检测机Control box电源控制箱Controller控制器Conveyor输送带Company ConfidentialBOE O
21、T Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Conveyor传送Crane吊车(在Stocker内)DAC:Digital/Analog Converter数模转换器DB:Dehydration BakeCleaner清洗后涂胶前的烘干设备DC-AC:direct current-Alternating Current 直流-交流Developer显影机DPM:Dynamic Pixel Map动态像素示意图DRC:Defect Review Camera不良回测相机EMO:Emergency Machi
22、ne Off设备紧急停止Equipment设备(简称为EQP)Etcher蚀刻机Exposure曝光机FFU(Fan Filter Unit)风扇过滤器FTIR:Fourier Transform Infrared Spectroscopy傅氏转换红外线光谱分析仪GI:Gate Insulator栅绝缘层HEPA(High Efficient Particulate Air)filter高效能粒子空气过滤网Host主机High Pressure(HP)高压喷淋(剥离液)ICP(Inductive Coupled Plasma)电感偶式电浆蚀刻机IMC:Intermediate Cooling中
23、间冷却单元,用于在加热之后对玻璃基板进行自然冷却Laser repair雷射修补Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注L/L:Load Lock真空/大气切换腔LIM(Linear Induction Motor)Carrier线性感应马达传送载具LDO:Low dropout regulator 低压差线性稳压器 LS:Level Shifter电位移转器Magnetic tapeAGV路径所使用的磁条Masking Blade遮光板Matchin
24、g Box匹配器MFC:Mass Flow Controller质量流量控制器MGV(Manual Guided Vehicle)人力搬运车MHU:Mechanical Handling Unit负责在各个Bake单元之间搬送玻璃基板MM:Macro/Micro宏观、微观测试,用于抽测Mask后的产品宏观Mura、ID以及微观Pattern是否合格MPA:Mirror Project Mask Aligner曝光机全称,镜像投影Mask对位仪MUX:Multiplexer多路(复用)器 MVC:Module View Controller模块观察控制器Notebook笔记型计算机(简称为NB)
25、OHS(Overhead Shuttle)天车或称轨道车PE(Plasma Etch)电浆蚀刻机P/C:Process Chamber反应腔 PAOS:Primary Alignment Optical System初次光学对位系统PPID:Process Parameters ID工艺参数地址Pumping Step抽真空步骤 Raised floor(grating floor)高架地板Company ConfidentialBOE OT Copyright 2008Technology Management Dept.工程名词工程名词用语用语用语说明用语说明备注备注Reticle or
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