洁净室耗能分析对比精选文档.ppt
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1、洁净室耗能分析对比本讲稿第一页,共九页1n近年来电子产品高速发展,对生产环境要求越来越高产生了无尘洁净室。FFU系统的灵活性及稳定性,被广泛应用在洁净室里做为洁净度的送风换气循环。洁净室内洁净级别的程度取决于FFU的分布数量,以及过滤器型号高效空气粒子过滤(HEPA)还是超高效过滤(ULPA)没有它们,洁净室只是一个普通的房间而已。洁净等级要求越高,FFU对于空气洁净就越重要。n适合为了满足ISO标准等级5或等级1的环境标准,一个洁净室在每0.6到1.2米的天花板顶就需要安装一个FFU;之后在环境中就会有经过过滤器底部吹出洁净的空气层流以大约每秒0.45米的速度向下吹出(约1000风量/每小时
2、),这样可以在洁净室内保证一个正向压力。该压力阻止污染物通过洁净室的墙壁或窗帘渗透、流入,而且也保证洁净室内人为造成的微粒和工艺设备产生的微粒可以迅速过滤排除出去。本讲稿第二页,共九页2n洁净室设施的气流系统运行大约将会耗去总能耗的50%或更多些,而在ISO 5等级以上的洁净室内,风机占去总能耗的60-80%;因此节能的洁净室设计减少洁净室的运行费用需选择更高效的直流FFU来节省能源与成本。n市面上目前销售的FFU种类很多,各品牌交流1170570的FFU风速0.45m/s时消耗功率在120W300W之间,直流1170570的FFU风速0.45m/s时在50W100W之间;交流11701170
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