传感器与检测技术第谢志萍概要.pptx
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1、3.1 电阻式传感器电阻式传感器3.1.1 电阻式传感器的工作原理电阻式传感器的工作原理金属体都有一定的电阻,电阻值因金属的种类而异。同样的材料,越细或越薄,则电阻值越大。当加有外力时,金属若变细变长,则阻值增加;若变粗变短,则阻值减小。设有一根长度为l,截面积为A,电阻率为 的金属丝,则它的电阻值R可用下式表示:第1页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器3.1.2 电位器式传感器电位器式传感器电位器式传感器通过滑动触点把位移转换为电阻丝的长度变化,从而改变电阻值大小,进而再将这种变化值转换成电压或电流的变化值。第2页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器电位器式传感器一般采用电
2、阻分压电路,将电参量R转换为电压输出给后续电路,如图第3页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器3.1.3 电阻应变式传感器电阻应变式传感器1电阻应变效应导体或半导体材料在外力作用下产生机械变形时,其电阻值也相应发生变化的物理现象,称为电阻应变效应。第4页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器2电阻应变片的结构第5页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器(1)金属电阻应变片。金属电阻应变片有丝式、箔式及薄膜式等结构形式。第6页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器(2)半导体应变片。半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应制成的一种纯电阻性元件。对半导体材料的某一轴向施加
3、一定的载荷而产生应力时,它的电阻率会发生变化,这种物理现象称之为压阻效应。半导体应变片主要有体型、薄膜型和扩散型等三种。第7页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器薄膜型半导体应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的基底上而制成的,其结构示意图如图第8页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器(3)扩散型半导体应变片是将P型杂质扩散到N型硅单晶基底上,形成一层极薄的P型导电层,再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。第9页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器3电阻应变片的粘贴技术(1)应变片的检查与选择。(2)试件的表面处理。(3)底层处理。
4、(4)贴片。(5)固化。(6)粘贴质量检查。(7)引线焊接与组桥连线。第10页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器4电阻应变式传感器的应用(1)应变片直接粘贴在试件上,用来测量工程结构受力后的应力分析或所产生的应变,为结构设计、应力校正或分析结构在使用中产生破坏的原因等提供试验数据,如电阻应变仪。第11页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器(2)将应变片粘贴在弹性元件上,进行标定后作为测量力、压力、位移等物理量的传感器。第12页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器应变式加速度传感器是将质量块相对于基座(被测物体)的移动转换为应变值的变化而得到加速度的。第13页/共126
5、页3.1 电阻式传感器电阻式传感器所示为纱线张力检测装置,检测辊4通过连杆5与悬臂梁2的自由端相连,连杆5同阻尼器6的活塞相连,纱线7通过导线辊3与检测辊4接触。当纱线张力变化时,悬臂梁随之变形,使应变片1的阻值变化,并通过电桥将其转换为电压的变化后输出。1应变片;2悬臂梁;3导线辊;4检测辊;5连杆;6阻尼器;7纱线第14页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器5电阻应变式传感器的测量电路电阻应变片在工作时,将应变片用黏合剂贴在弹性体或试件上,弹性体受外力作用变形所产生的应变就会传递到应变片上,从而使应变片电阻值发生变化,通过测量阻值的变化,就能得知外界被测量的大小。但是,由于金属电阻
6、应变片灵敏系数K值通常都很小,机械应变一般也很小,所以电阻的相对变化是很小的,用一般的测量电阻仪表很难直接测量出来,必须用专门的电路来测量这种微弱的电阻变化。一般采用电桥电路实现微小阻值的转换。第15页/共126页3.1 电阻式传感器电阻式传感器由于温度的变化会引起电阻值的变化,从而造成应变测量结果的误差。而且由温度变化所引起的电阻变化与由应变引起的电阻变化往往具有同等数量级,所以为了保证测量的精确度,一般要采取温度补偿措施,以消除温度变化所造成的误差。如测量时,在被测件变形较大处粘贴两片工作片,在试件变形小或没有变形处粘贴另两片应变片第16页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3.2
7、.1 电容式传感器的工作原理电容式传感器的工作原理设两极板相互覆盖的有效面积为A(单位为m2),两极板间的距离为(单位为m),两极板间介质的介电常数为(单位为Fm-1)。当不考虑边缘电场影响时,其电容量C为:第17页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器1变间隙式电容传感器图中1为固定极板,2为与被测对象相连的活动极板,初始状态时两极板间的距离为d。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时,两极板间的距离发生变化,在极板面积A和介质介电常数不变时,电容量C也相应发生改变。第18页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器实际应用中为了提高传感器的灵敏度,常采用差动式结构,如图第19页/共
8、126页3.2 电容式传感器电容式传感器2变面积式电容传感器第20页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器(a)角位移型(b)齿形极板型(c)圆筒型(d)差动式第21页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3变介质式电容传感器第22页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器介质2插入电容器中一定深度,这种结构相当于两电容器并联。此时总电容为:同样,一般取介质1为空气,设介质全部为空气的电容器的电容为C0由介质2的插入所引起的电容C的相对变化为:第23页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3.2.2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路1运算放大器电路式中,uo为
9、运算放大器输出电压;ui为信号源电压;Cx为传感器电容;C0为固定初始状态电容器电容。第24页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器2双T电桥电路第25页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3调频电路第26页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3.2.3 电容式传感器的应用电容式传感器的应用1电容式压力传感器第27页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器2电容式加速度传感器第28页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器3电容式测厚仪电容式测厚仪主要用于金属带材在轧制过程中厚度的在线检测。第29页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器4电容式物位传感器电容
10、式物位传感器是利用被测介质面的变化引起电容变化的一种变介质型电容传感器。第30页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器所示为电容式料位传感器,用来测量非导电固体散粒的料位。由于固体摩擦力较大,容易“滞留”,故一般不用双层电极,而用电极棒与容器壁组成电容料位传感器的两极。第31页/共126页3.2 电容式传感器电容式传感器5电容式物位开关电容式物位开关的工作原理是:当把探头安装于仓体上时,探极和仓壁分别相当于电容器的两个极板;由于被测物料的介电常数与空气不同,所以仓内物位发生变化时会引起探极对仓壁间的电容量发生变化,当该电容量大于用户的设定值时,限位开关控制的继电器动作,输出一个开关量达到
11、控制(或报警)的目的。第32页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3.3.1 自感式传感器自感式传感器1变间隙型电感传感器第33页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器根据磁路的基本知识,整个磁路的电感为:故变间隙型电感传感器的灵敏度为:第34页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器2变面积型电感传感器变面积型电感式传感器结构如图3.28(b)所示,工作时气隙长度不变,铁芯与衔铁之间相对覆盖面积随被测位移量的变化而改变,从而导致线圈电感发生变化。这类传感器的灵敏度为:第35页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3螺管型电感传感器第36页/共126页3.3 电感式传感
12、器电感式传感器4差动式电感传感器在实际使用中,常采用两个相同的自感式线圈共用一个衔铁,构成差动式电感传感器。这样可以提高传感器的灵敏度,减小测量误差。第37页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器5自感式传感器的测量电路自感式传感器主要利用交流电桥电路把电感的变化转化成电压(或电流)的变化,再送入下一级电路进行放大或处理。由于差动式结构可以提高测量的灵敏度,改善线性度,所以大多数电感式传感器都采用差动结构。其测量用的交流电桥也多采用双臂工作形式,通常将传感器的两组线圈作为电桥的两个工作臂,电桥的平衡臂可以是纯电阻,也可以是变压器的二次侧绕组或紧耦合电感线圈,具体电桥电路见第6章。差动式结
13、构除了可以改善非线性、提高灵敏度外,由于采用差动电桥输出,对外界的抗干扰能力(如温度的变化、电源频率变化等)大为增强。另外,两只线圈铁芯对衔铁的吸引力方向正好相反,在中间位置时,吸力为零,所以铁芯对活动衔铁的电磁吸力也大为减小。第38页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3.3.2 互感式传感器互感式传感器1互感式传感器的工作原理1初级线圈;2、3次级线圈,4衔铁第39页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器所示是差动变压器的典型特性曲线。曲线1为理想输出特性曲线,曲线2为实际输出特性曲线。第40页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器为了减小零点残余电动势,可采取以下方法
14、:(1)尽可能保证传感器几何尺寸、线圈电气参数和磁路的对称。磁性材料要经过处理,消除内部的残余应力。(2)选用合适的测量电路,如采用相敏整流电路,既可判别衔铁移动方向又可改善输出特性,减小零点残余电动势,使其性能均匀稳定。(3)采用补偿线路减小零点残余电动势。第41页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器所示是几种减小零点残余电动势的补偿电路。第42页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器2差动变压器的结构类型第43页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3差动变压器式传感器的测量电路所示是一种用于测量小位移的差动变压器相敏检波电路。第44页/共126页3.3 电感式传感器电
15、感式传感器差动整流电路结构简单,一般不需要调整相位,不考虑零点残余电动势的影响,适用于远距离传输。第45页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3.3.3 电感式传感器的应用电感式传感器的应用1差动变压器式力传感器第46页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器2沉筒式液位计第47页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器3差动变压器式位移传感器1引线电缆;2固定磁筒;3衔铁;4线圈;5测力弹簧;6防转销;7钢球导轨;8测杆;9密封套;10测端;11被测工件;12基准面第48页/共126页3.3 电感式传感器电感式传感器1汽缸;2活塞;3推杆;4被测滚柱;5落料管;6电感测微仪;
16、7钨钢测头;8限位挡板;9电磁翻板;10容器(料斗)第49页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器3.4.1 压电效应压电效应1单晶压电晶体单晶压电晶体各向异性,主要有石英、铌酸锂等。石英晶体有天然与人工之分,是最常用的压电材料之一。第50页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器压电效应由纵向压电效应产生的电荷量q为:第51页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器2多晶压电陶瓷多晶压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶体,主要有极化的铁电陶瓷(钛酸钡)、锆钛酸铅等。钛酸钡是使用最早的压电陶瓷,它具有较高的压电常数,约为石英晶体的50倍。但它的居里点低,约为120,机械强度和温度
17、稳定性都不如石英晶体。第52页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器3新型压电材料新型压电材料主要有有机压电薄膜和压电半导体等。有机压电薄膜是由某些高分子聚合物,经延展拉伸和电场极化后形成的具有压电特性的薄膜,如聚仿氟乙烯、聚氟乙烯等。有机压电薄膜具有柔软、不易破碎、面积大等优点,可制成大面积阵列传感器和机器人触觉传感器。有些材料如硫化锌、氧化锌、硫化钙等,既具有半导体特性又具有压电特性。由于同一材料上兼有压电和半导体两种物理性能,故可以利用压电性能制作敏感元件,又可以利用半导体特性制成电路器件,研制成新型集成压电传感器。第53页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器4等效电路第5
18、4页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器3.4.2 压电式传感器的测量电路压电式传感器的测量电路由于压电式传感器输出的电荷量很小,而且压电元件本身的内阻很大。因此,通常把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器,经过阻抗变换以后,再进行其他处理。第55页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器3.4.3 压电式传感器的应用压电式传感器的应用1压电陶瓷传感器的应用(1)压电式加速度传感器。第56页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器(2)压电式力传感器。第57页/共126页3.4 压电式传感器压电式传感器压电式刀具切削力测量示意图第58页/共126页3.4 压电式传感器压电式
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