QC质量改进成果发布资料模板13582.pptx

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1、XG-C06HRXG-C06HR芯片表面工艺质量改进芯片表面工艺质量改进新光精进新光精进QCQC小组小组发布人：于坤鹏发布人：于坤鹏课题类型：改进型课题类型：改进型1公司概况天津中环新光科技有限公司是天津中环电子信息集团有限公司的全资子公司，公司坐落于天津市西青微电子工业区。公司由中环集团承接天津市科学技术委员会的二十项重大项目之一而成立，于2008年3月底注册。一期工程中环集团投资3000万元人民币，市财政支持1000万人民币；二期工程中环集团投资7000万人民币。公司拥有雄厚的技术实力，技术团队由多名从事LED材料外延的中科院物理研究所外延专家领衔，带领多名博士、硕士进行外延以及芯片技术的

2、研发和生产。公司采用国际先进的美国进口外延炉(MOCVD设备)生产LED外延片。现主要生产红、橙、黄以及黄绿光等各种规格的AlGaInP四元系（2英寸、4英寸）LED外延片和芯片。2主要产品及生产设备3一、团队概况一、团队概况表1小组名称新光精进QC小组成立时间2012年3月本年度注册时间2013年3月小组注册编号XG-QC-130306课题注册时间2013年3月课题注册编号XG-QC-130306课题类型改进型小组人数10人活动时间2013.3-2013.8活动次数2次4姓名职称组内职务组内分工 受TQC教育时间于坤鹏助工组长总策划60小时以上张荣勤高工技术顾问技术指导60小时以上白春玲技师

3、组员具体实施50小时以上芮雅强助工组员具体实施50小时以上张金刚助工组员具体实施 45小时以上崔娜技师组员具体实施45小时以上李家征助工组员具体实施45小时以上张茜技师组员具体实施40小时以上谢宝红技师组员具体实施40小时以上崔美筠技师组员具体实施40小时以上表25二、二、XG-C06HRXG-C06HR表面表面工艺改进课题介绍工艺改进课题介绍XG-C06HRXG-C06HR芯片特征图片芯片特征图片XG-C06HRXG-C06HR芯片表面工艺问题的发现芯片表面工艺问题的发现芯片宏观和芯片宏观和微观图片微观图片XG-C06HRXG-C06HR芯片是中环新光生产的一款特种红芯片是中环新光生产的一款

4、特种红光光LEDLED芯片。业内这种芯片的特点是产出率芯片。业内这种芯片的特点是产出率高，打线粘合度强和功率均衡等。而支撑这高，打线粘合度强和功率均衡等。而支撑这些独有特点的关键之一就是些独有特点的关键之一就是“表面表面”。表面有。表面有划伤或缺失等不良导致产出率低；表面不饱划伤或缺失等不良导致产出率低；表面不饱满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱；满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱；表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀，表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀，从而影响输出光功率的均衡性。由于工艺上从而影响输出光功率的均衡性。由于工艺上的原因，的原因，XG-C06HRXG-C06HR这款产品制

5、作过程中这款产品制作过程中“表表面面”的种种缺陷直接降低了该产品的产品质的种种缺陷直接降低了该产品的产品质量和产出数量。由此产生了本次量和产出数量。由此产生了本次QCQC课题。课题。6表3为了使活动顺利进行，团队制定了周密的活动计划7三、课题的选定过程三、课题的选定过程 要改要改3.1 3.1 选题及选定理由选题及选定理由8综合以上四种要素，无论从哪个评价项目来看，改善“表面不良”都是首当其冲的序号问题点现况说明评价项目总分顺位选定队能力急迫性重要性效果性1载片过程损伤在工件流动过程中，发生断裂和残损等情况，影响产出率。2231822表面不良从图形工艺的开始到产品产出，各个环节都对表面有损伤，

6、每一次损伤都会降低芯片的产出数量。76482513电性不稳成品测试发现部分产品电性不稳定，电压和亮度有较大的波动性，影响同一款产品的稳定性。123173表49四、现状调查四、现状调查序号不良项目不良率百分比累积百分比1 电极不良37400K85%85%2 外延缺陷1760K4%89%3 发光区损伤2200K5%94%4 残留胶体1320K3%97%5 电极发黑440K1%98%6 其他880K2%100%合计44000K100%2013201320132013年年年年2 2 2 2月到月到月到月到3 3 3 3月月月月2000200020002000片工件产出芯片表面不良统计概况片工件产出芯片

7、表面不良统计概况片工件产出芯片表面不良统计概况片工件产出芯片表面不良统计概况表5要改要改要改要改1020132013年年年年2 2月到月到月到月到3 3月月月月100100片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况片工件产出芯片电极不良统计概况要改要改要改要改11五、设定课题改善目标五、设定课题改善目标图图1 1图图图图表表表表数数数数值值值值以以以以1k1k1k1k为为为为单单单单位，位，位，位，1k1k1k1k等等等等于于于于一一一一千千千千颗颗颗颗12六、要因解析六、要因解析6.16.16.16.1工艺流程简介工艺流程简介工艺流程简介工艺流

8、程简介匀胶匀胶显影显影贴膜贴膜合金合金刻蚀刻蚀曝光曝光去胶去胶切割切割镜检镜检图图图图2 2 2 2136.2原因分析电极不良净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极镜检造成划镜检造成划镜检造成划镜检造成划伤伤伤伤取放片方取放片方取放片方取放片方法有问题法有问题法有问题法有问题匀胶台转速异常匀胶台转速异常匀胶台转速异常匀胶台转速异常导致胶膜不均导致胶膜不均导致胶膜不均导致胶膜不均吹干方法不吹干方法不吹干方法不吹干方法不合理合理合理合理入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好工件运输方工件运输方工件运输方工件

9、运输方式错误导致式错误导致式错误导致式错误导致电极划伤电极划伤电极划伤电极划伤试剂溶液有质量试剂溶液有质量试剂溶液有质量试剂溶液有质量问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀问题导致过刻蚀光刻胶质量光刻胶质量光刻胶质量光刻胶质量问题导致掩问题导致掩问题导致掩问题导致掩胶脱落胶脱落胶脱落胶脱落气压轴偏气压轴偏气压轴偏气压轴偏离导致粘离导致粘离导致粘离导致粘胶胶胶胶掩模板损掩模板损掩模板损掩模板损伤导致电伤导致电伤导致电伤导致电极损伤极损伤极损伤极损伤温湿度不均衡导温湿度不均衡导温湿度不均衡导温湿度不均衡导致电极脱落致电极脱落致电极脱落致电极脱落治具不干净导致治具不干净导致治具不干净导致治具不干

10、净导致电极污染电极污染电极污染电极污染压紧面板过硬导压紧面板过硬导压紧面板过硬导压紧面板过硬导致曝光不均致曝光不均致曝光不均致曝光不均图图图图3 3 3 3未按照标准作业未按照标准作业未按照标准作业未按照标准作业指导作业指导作业指导作业指导作业146.36.3要因确认要因确认序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间1净服穿戴不整齐1，回放2013年2-3月间的通道录像，是否在进入车间时已经穿戴整齐；2，回放2013年2-3月间的车间录像，员工是否穿着整洁，戴口罩，戴手套。进入车间钱穿戴整齐，进入工艺间工作时戴口罩和手套，人体裸露面积小于0.025于坤鹏2013年4月2日2入职培训没做好

11、1，调查各相关站别员工入职培训记录和上岗前测评成绩；2，重新测评相关站别员工是否符合上岗条件。1，相关岗位人员入职前进行相关培训并且测评成绩合格；2，实时测评成绩合格于坤鹏2013年4月4日3未按照标准作业指导作业对照各站*站工艺指导书普查各工艺站工作过程。工艺契合度系数a=（工艺动作/工艺要求）90%张金刚2013年4月5日4贴膜机划伤电极回查贴膜后检查记录，检查贴膜机表面是否有破损污染等情况。记录达到98%面积电极合格，贴膜机表面无任何磨损和污染芮雅强2013年4月5日5匀胶台转速异常导致胶膜不均测试匀胶太转速是否按照工艺要求逐步稳定在特定值上。电机启动后5秒内达到4000转/分钟，持续4

12、000转/分钟50秒，最后5秒内降至0转/秒崔娜2013年4月6日15序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个数平均小于2个崔娜2013年4月7日7压紧面板过硬导致曝光不均匀保证工件不被压断的情况下将托盘最大限度与工件压紧，观察工件与光刻板之间是否有缝隙没有任何缝隙白春玲2013年4月8日8气压轴偏离导致粘胶测试气压轴八个固定端子是否平齐八个端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9日9光刻胶质量问题导致掩胶脱落抽取现场光刻胶样本，去相关部门检验粘度=30mPa*s谢宝红2013年

13、4月11日10显影液问题导致显影不完全用现场显影液制备若干硅片试验片，统计不良单片不良颗粒数小于1000颗于坤鹏2013年4月11日11工件运输方式错误导致工件电极划伤检查工件在传输过程中的载体，看是否有对电极接触性的划伤无划伤李家征2013年4月12日16序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个数平均小于2个崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理导致电极变黑检查吹干工艺，看是否有些操作步骤会损伤到工件或吹干过程中有污染残留损伤仅限于定位端电极损伤小于500颗，无任何污染残留崔美筠20

14、13年4月12日13取放片方法有问题检查取片时是否损伤电极或污染电极无损伤，无污染李家征2013年4月13日14镜检造成电极不良及损失检查镜检操作有无对电极的划伤和损失无划伤，无损失谢宝红2013年4月14日15治具不干净导致电极污染检查现场所有在用和备用治具，干净无污染张茜2013年4月15日16温湿度不均衡导致电极脱落调用2013年2-3月温湿度记录，检查是否均符合温湿度标准温度223，相对湿度30%-70%于坤鹏2013年4月16日17要因确认（一）净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐净服穿戴不整齐调用进厂摄像调用进厂摄像调用进厂摄像调用进厂摄像扫描记录，检扫描记录，检扫描记录，检

15、扫描记录，检查净服、防尘查净服、防尘查净服、防尘查净服、防尘鞋、人体裸露鞋、人体裸露鞋、人体裸露鞋、人体裸露面积、口罩、面积、口罩、面积、口罩、面积、口罩、手套是否达到手套是否达到手套是否达到手套是否达到进厂区标准，进厂区标准，进厂区标准，进厂区标准，不符合标准的不符合标准的不符合标准的不符合标准的是否有是否有是否有是否有ALARM,ALARM,ALARM,ALARM,如果有如果有如果有如果有ALARMALARMALARMALARM是否及时制止是否及时制止是否及时制止是否及时制止并处理为并处理为并处理为并处理为OKOKOKOK。图表显示监控严密全部净图表显示监控严密全部净图表显示监控严密全部净

16、图表显示监控严密全部净服穿戴整洁服穿戴整洁服穿戴整洁服穿戴整洁18要因确认（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好基本素基本素基本素基本素质筛选质筛选质筛选质筛选进厂进厂进厂进厂教育教育教育教育方向性方向性方向性方向性岗位培训岗位培训岗位培训岗位培训岗位分配岗位分配岗位分配岗位分配颁发颁发颁发颁发上岗资质上岗资质上岗资质上岗资质上岗工作上岗工作上岗工作上岗工作一级筛选一级筛选一级筛选一级筛选通过通过通过通过二级筛选二级筛选二级筛选二级筛选通过通过通过通过考试考试考试考试合格合格合格合格简历简历简历简历符合符合符合符合1 1 1 1，安全教育，安全教育，安全教育，安全教育2

17、 2 2 2，员工守则，员工守则，员工守则，员工守则3 3 3 3，质量观念，质量观念，质量观念，质量观念4 4 4 4，岗位认知，岗位认知，岗位认知，岗位认知5 5 5 5，职业健康，职业健康，职业健康，职业健康1 1 1 1，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业，匀胶站标准作业2 2 2 2，曝光站标准作业，曝光站标准作业，曝光站标准作业，曝光站标准作业3 3 3 3，贴膜站标准作业，贴膜站标准作业，贴膜站标准作业，贴膜站标准作业4 4 4 4，镜检站标准作业，镜检站标准作业，镜检站标准作业，镜检站标准作业全体全体全体全体员工具备上岗员工具备上岗员工具备上岗员工具备上岗资格资格资

18、格资格测试项目最高成绩最低成绩匀胶10099曝光10097贴膜10098镜检1009819要因确认（三）未按照标准作业指导作业未按照标准作业指导作业未按照标准作业指导作业未按照标准作业指导作业调查各工艺站工作过程与标准作业指导书做对照调查各工艺站工作过程与标准作业指导书做对照调查各工艺站工作过程与标准作业指导书做对照调查各工艺站工作过程与标准作业指导书做对照按照工艺流程逐个签字按照工艺流程逐个签字按照工艺流程逐个签字按照工艺流程逐个签字确认，与作业指导书要确认，与作业指导书要确认，与作业指导书要确认，与作业指导书要求契合度求契合度求契合度求契合度99.8%99.8%99.8%99.8%除员工操

19、作手法有细微差除员工操作手法有细微差除员工操作手法有细微差除员工操作手法有细微差别外，其他部分全部按照别外，其他部分全部按照别外，其他部分全部按照别外，其他部分全部按照标准作业指导书来操作标准作业指导书来操作标准作业指导书来操作标准作业指导书来操作20要因确认（四）贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极贴膜机划伤电极回查贴膜后检查记录，检查贴膜机表面是否有破损污染等情况。大部分工件大部分工件大部分工件大部分工件都有较严重都有较严重都有较严重都有较严重划伤划伤划伤划伤贴膜机表面镀层较严重贴膜机表面镀层较严重贴膜机表面镀层较严重贴膜机表面镀层较严重磨损磨损磨损磨损缺贴膜机图片缺贴膜机图片缺贴膜

20、机图片缺贴膜机图片要因要因21要因确认（五）匀胶台转速异常导致胶膜不均匀胶台转速异常导致胶膜不均三个三个三个三个阶段阶段阶段阶段的参的参的参的参数均数均数均数均处于处于处于处于正常正常正常正常波动波动波动波动状态状态状态状态22要因确认（六）视场序列残缺个数污染个数丢失个数开裂个数正常个数1587674246910713310867347281172555415716111046697123767287698709481167110339976检查掩模板缺陷检查掩模板缺陷检查掩模板缺陷检查掩模板缺陷掩模板掩模板掩模板掩模板28%28%28%28%缺陷缺陷缺陷缺陷要因要因23要因确认（七）压紧面

21、板过硬压紧面板过硬压紧面板过硬压紧面板过硬缺一个图缺一个图缺一个图缺一个图硬接触导致硬接触导致硬接触导致硬接触导致两个面板之间两个面板之间两个面板之间两个面板之间微小缝隙无法微小缝隙无法微小缝隙无法微小缝隙无法调平，从而发生调平，从而发生调平，从而发生调平，从而发生了一侧挤压力了一侧挤压力了一侧挤压力了一侧挤压力过大导致的粘胶，过大导致的粘胶，过大导致的粘胶，过大导致的粘胶，粘胶使电极残缺粘胶使电极残缺粘胶使电极残缺粘胶使电极残缺要因要因24要因确认（八）检测气压轴是否偏离检测气压轴是否偏离检测气压轴是否偏离检测气压轴是否偏离八个端子高度差低于八个端子高度差低于八个端子高度差低于八个端子高度差

22、低于0.02mm0.02mm0.02mm0.02mm，表示气压轴没有偏离，运转良好表示气压轴没有偏离，运转良好表示气压轴没有偏离，运转良好表示气压轴没有偏离，运转良好气压轴工作原理是：气压轴工作原理是：气压轴工作原理是：气压轴工作原理是：采用八个端子之间的采用八个端子之间的采用八个端子之间的采用八个端子之间的互相制约作用，达到互相制约作用，达到互相制约作用，达到互相制约作用，达到微调气压轴水平的效微调气压轴水平的效微调气压轴水平的效微调气压轴水平的效果，八个端子间高度果，八个端子间高度果，八个端子间高度果，八个端子间高度差小于差小于差小于差小于0.02mm0.02mm0.02mm0.02mm表

23、明水表明水表明水表明水平良好，从而判断不平良好，从而判断不平良好，从而判断不平良好，从而判断不会造成曝光粘胶等不会造成曝光粘胶等不会造成曝光粘胶等不会造成曝光粘胶等不良，保证电极完整。良，保证电极完整。良，保证电极完整。良，保证电极完整。25要因确认（九，十）试剂质量问题导致光刻不良试剂质量问题导致光刻不良试剂质量问题导致光刻不良试剂质量问题导致光刻不良第三方机构出示的第三方机构出示的质量检验合格报告质量检验合格报告化学药品试化学药品试剂合格剂合格非要因非要因26要因确认（十一）工件运输方式错误导致划伤工件运输方式错误导致划伤工件运输方式错误导致划伤工件运输方式错误导致划伤缺单个外延划伤图缺单

24、个外延划伤图缺单个外延划伤图缺单个外延划伤图划伤面积达到划伤面积达到了了5.7%5.7%要因要因27要因确认（十二）吹干方法问题导致电极变黑吹干方法问题导致电极变黑吹干方法问题导致电极变黑吹干方法问题导致电极变黑手动氮气手动氮气手动氮气手动氮气吹干吹干吹干吹干28要因确认（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好29要因确认（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好30要因确认（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好31要因确认（二）入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好入职培训没做好32七、活动计划七、活动计划活动活动步骤步骤

25、项目项目负责人负责人活动时间活动时间参加人员参加人员8月月9月月10月月11月月P P数据收集数据收集a全员全员要因分析要因分析bb b把握重要要因把握重要要因c全员全员对策思考对策思考d全员全员D D对策实施对策实施ee eC C效果确认效果确认ff fA A标准化和管理的固化标准化和管理的固化g全员全员成果评价成果评价h全员全员反省及今后计划反省及今后计划i全员全员制订计划常用的制订计划常用的QCQC工具：工具：调查表调查表 简易图表简易图表 系统图系统图 矩阵图矩阵图 PDPC PDPC法法 矢线图矢线图 优选法优选法 正交实验法正交实验法33八、计划实施八、计划实施序号要因措施目标责任

26、人完成日期1234 对即将采取的对策与措施从可行性、经济性、效益性对即将采取的对策与措施从可行性、经济性、效益性等方面进行严格评估与筛选，以确定最佳实施方案、实施等方面进行严格评估与筛选，以确定最佳实施方案、实施周期和相对应负责人周期和相对应负责人34八、计划实施八、计划实施措施实施措施实施1 1措施实施措施实施2 2 实施过程中如出现残留问题实施过程中如出现残留问题或出现的新问题，要重新进行要或出现的新问题，要重新进行要因分析因分析制定对策并实施（按制定对策并实施（按PDCA循环）循环）35九、效果确认九、效果确认改善后数据收集改善后数据收集效果确认常用的效果确认常用的QCQC工具：工具：调

27、查表调查表 简易图表简易图表 排列图排列图 直方图直方图 控制图控制图 散布图散布图采取了一系列的措施之后，通过图采取了一系列的措施之后，通过图表、数据的统计，一目了然。表、数据的统计，一目了然。36九、效果确认九、效果确认改善目标的达成情况改善目标的达成情况改善前改善后 说明：说明：通过图表的使用，改善前后的情况一目了然。通过图表的使用，改善前后的情况一目了然。37九、效果确认九、效果确认有形效果改善前有形效果改善前/后比较后比较38九、效果确认九、效果确认无形效果改善前无形效果改善前/后比较后比较评评 价价自我评价自我评价顾问评价顾问评价着眼点着眼点前前后后前前后后员工士气手法运用熟练改善

28、能力提升品质意识提升积极性团队协调性合 计确 认每一项满分每一项满分每一项满分每一项满分为为为为5 5 5 5分分分分39十、标准化十、标准化问题点原有标准新标准实施日期管理编号负责人改进措施手册化；规格规范化；作业方法标准改进措施手册化；规格规范化；作业方法标准化；制定一套任何人来做，都不会出差错的作化；制定一套任何人来做，都不会出差错的作业安排和作业流程。业安排和作业流程。标准化常用的标准化常用的QCQC工具：工具：调查表调查表 简易图表简易图表 直方图直方图 控制图控制图 40十、标准化十、标准化效果维持效果维持41十一、反省总结及下步工作计划十一、反省总结及下步工作计划项目项目活动内容

29、活动内容活动检讨活动检讨未来努力方向未来努力方向（下步计划）（下步计划）优点优点缺点缺点 将整个实施过程反省总结或改善过程中不顺利的地方持续改善。不将整个实施过程反省总结或改善过程中不顺利的地方持续改善。不要讲空话、大话，针对改善项目横向、纵向制定后期的改善方向要讲空话、大话，针对改善项目横向、纵向制定后期的改善方向,以及以及下一个具体的改善项目下一个具体的改善项目总结及下步计划常用的总结及下步计划常用的QCQC工具：工具：简易图表简易图表 42谢谢观看/欢迎下载BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES.BY FAITH I BY FAITH