第8章-传感器与检测技术的基本知识课件.ppt
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1、第第8 8章章 传感器与检测技术的基本知识传感器与检测技术的基本知识本章学习的主要内容:本章学习的主要内容:8.1 8.1 光栅式传感器光栅式传感器8.2 8.2 光电编码器光电编码器8.3 8.3 磁栅式传感器磁栅式传感器8.4 8.4 感应同步器感应同步器数字传感器在数控机床中的应用数字传感器在数控机床中的应用防护罩内为直线光栅防护罩内为直线光栅光栅扫描头光栅扫描头被加工工件被加工工件切削刀具切削刀具角编码器安装角编码器安装在夹具的端部在夹具的端部8.1 8.1 光栅传感器光栅传感器 光栅式传感器是光电式传感器的一个特殊应用。光栅式传感器是光电式传感器的一个特殊应用。光栅作为光学器件,很早
2、就有光栅作为光学器件,很早就有,物理光栅主要利用物理光栅主要利用光的衍射现象,通常用于光谱分析和光波长测定光的衍射现象,通常用于光谱分析和光波长测定等方面;计量光栅主要利用光栅的莫尔条纹现象,等方面;计量光栅主要利用光栅的莫尔条纹现象,它被广泛应用于位移的精密测量与控制中。它被广泛应用于位移的精密测量与控制中。结构简单结构简单测量精度高测量精度高易于实现自动化和数字化等易于实现自动化和数字化等8.1.1 8.1.1 光栅光栅传感器的类型和特性传感器的类型和特性按用途分:按用途分:直线型:主光栅为直尺形直线型:主光栅为直尺形直线移动直线移动 旋转型:主光栅为圆盘形旋转型:主光栅为圆盘形旋转运动旋
3、转运动按应用需要分:按应用需要分:透射式:光源与光电元件在两侧透射式:光源与光电元件在两侧透射光透射光 反射式:光源与光电元件同一侧反射式:光源与光电元件同一侧反射光反射光透射式光栅结构图透射式光栅结构图1 1反射主光栅反射主光栅2 2指示光栅指示光栅3 3场镜场镜4 4反射镜反射镜5 5聚光镜聚光镜6 6光源光源7 7物镜物镜8 8光电电池。光电电池。该光路适用于黑白反射光栅。该光路适用于黑白反射光栅。(2 2)反射式光栅)反射式光栅反射式光栅结构图反射式光栅结构图光栅传感器实物图光栅传感器实物图扫描头(与移动部件固定)扫描头(与移动部件固定)光栅尺光栅尺可移动电缆可移动电缆8.1.2 8.
4、1.2 传感器的基本特性传感器的基本特性1.1.莫尔条纹莫尔条纹 在日常生活中经常能见到莫尔在日常生活中经常能见到莫尔(Moire)现象。如将两层窗纱、蚊帐、薄)现象。如将两层窗纱、蚊帐、薄绸叠合,就可以看到类似的莫尔条纹。绸叠合,就可以看到类似的莫尔条纹。光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。直线型莫尔直线型莫尔条纹动画演示条纹动画演示旋转型莫尔旋转型莫尔条纹动画演示条纹动画演示2.2.光电转换光电转换 为了进行莫尔条纹读数,在光路系统中为了进行莫尔条纹读数,在光路系统中除了主光栅与指示光栅外,还必须有光源、除了主光栅与指示光栅外,还必须有光源、聚光镜和光电元件
5、等。聚光镜和光电元件等。透射式光栅透射式光栅传感器结构图传感器结构图 当两块光栅相对移动时,光电元件上的当两块光栅相对移动时,光电元件上的光强随莫尔条纹移动而变化。输出波形是一光强随莫尔条纹移动而变化。输出波形是一近似的正弦曲线。近似的正弦曲线。8.1.3 8.1.3 光栅传感器应用技术光栅传感器应用技术1.1.辨向原理辨向原理辨向原理图辨向原理图UZ1UZ2UZ3去加法计数器去加法计数器去减法计数器去减法计数器UZ1UZ2UZ3 脉冲数等于正、反向移动后累加所得的脉冲脉冲数等于正、反向移动后累加所得的脉冲数,根据正负可以辨向。数,根据正负可以辨向。得出:得出:被测物体位移栅距被测物体位移栅距
6、脉冲数脉冲数【例例】先正向移动先正向移动1111个脉冲,而后反向移动个脉冲,而后反向移动5 5个脉个脉冲,再正向移动冲,再正向移动2 2个脉冲,可算出位移个脉冲,可算出位移8 8个栅距。个栅距。2.2.电子细分电子细分(1 1)四陪频细分)四陪频细分 将辨向原理中相隔将辨向原理中相隔B4的两个光电元件的的两个光电元件的输出信号反相,就可以得到输出信号反相,就可以得到4个依次相位差为个依次相位差为/2的信号,即在一个栅距内得到四个计数脉冲的信号,即在一个栅距内得到四个计数脉冲信号,实现所谓四倍频细分。信号,实现所谓四倍频细分。在上述两个光电元件的基础上再增加两在上述两个光电元件的基础上再增加两个
7、光电元件,每两个光电元件间隔个光电元件,每两个光电元件间隔14条纹条纹间距,同样可实现四倍频细分。间距,同样可实现四倍频细分。要得到一条通过点要得到一条通过点5的正弦(或余弦)曲线的正弦(或余弦)曲线 ,则必须在,则必须在 及及 所对所对应的电压间加一电位器,其电阻值应的电压间加一电位器,其电阻值 。第第 个电位器电刷两边的电阻值个电位器电刷两边的电阻值 与与 之比之比由下式确定:由下式确定:48点电位器电桥细分电路点电位器电桥细分电路 由由 ,时使过零比较器电时使过零比较器电平翻转,输出细分信号。平翻转,输出细分信号。使用中,为了克服断电时计数值无法保留,使用中,为了克服断电时计数值无法保留
8、,重新供电后,测量系统不能正常工作的弊病,重新供电后,测量系统不能正常工作的弊病,可以用机械等方法设置绝对零位点。目前通常可以用机械等方法设置绝对零位点。目前通常采用在光栅的测量范围内设置一个固定的绝对采用在光栅的测量范围内设置一个固定的绝对零位参考标志的方法零位参考标志的方法零位光栅,它使光栅零位光栅,它使光栅成为一个准绝对测量系统。成为一个准绝对测量系统。最简单的零位光栅刻线是一条宽度与主光最简单的零位光栅刻线是一条宽度与主光栅栅距相等的透光狭缝栅栅距相等的透光狭缝c,即在主光栅和指,即在主光栅和指示光栅某一侧另行刻制一对互相平行的零位示光栅某一侧另行刻制一对互相平行的零位光栅刻线,与主光
9、栅用同一光源照明,经光光栅刻线,与主光栅用同一光源照明,经光电元件转换后形成绝对零位的输出信号。它电元件转换后形成绝对零位的输出信号。它近似为一个三角波单脉冲。近似为一个三角波单脉冲。3.机床结构和电气连接方式机床结构和电气连接方式8.1.5 8.1.5 光栅传感器的应用实例光栅传感器的应用实例 光栅传感器通常作为测量元件应用于机床光栅传感器通常作为测量元件应用于机床定位、长度和角度的计量仪器中,并用于测定位、长度和角度的计量仪器中,并用于测量速度、加速度、振动等量速度、加速度、振动等。其分辨率高达纳米级,测量速度高达其分辨率高达纳米级,测量速度高达 480m/min;测量长度高达测量长度高达
10、100m以上,可实现以上,可实现动态测量动态测量,易于实现测量及数据处理自动化,易于实现测量及数据处理自动化,具有较强的抗干扰能力。具有较强的抗干扰能力。机床导轨位置检测动画演示8 82 2 磁栅传感器磁栅传感器8 8.2 2 磁栅传感器磁栅传感器8.2.1 8.2.1 磁栅传感器及特性磁栅传感器及特性 磁栅式传感器利用磁栅与磁头的磁作用进磁栅式传感器利用磁栅与磁头的磁作用进行测量的位移传感器。行测量的位移传感器。当需要时,可将原来的磁信号(磁栅)抹当需要时,可将原来的磁信号(磁栅)抹去,重新录制。还可以安装在机床上后再录去,重新录制。还可以安装在机床上后再录制磁信号,这对于消除安装误差和机床
11、本身制磁信号,这对于消除安装误差和机床本身的几何误差,以及提高测量精度都是十分有的几何误差,以及提高测量精度都是十分有利的。利的。磁栅传感器由磁尺(或磁盘)、磁头和检磁栅传感器由磁尺(或磁盘)、磁头和检测电路组成。磁头的作用是把磁尺上的信号转测电路组成。磁头的作用是把磁尺上的信号转换成电信号;此电信号再由检测电路变换和细换成电信号;此电信号再由检测电路变换和细分后进行计数输出。分后进行计数输出。8.2.2 8.2.2 磁栅的结构与工作原理磁栅的结构与工作原理1.1.磁栅磁栅 磁栅是用不导磁的金属,或是用表面涂覆磁栅是用不导磁的金属,或是用表面涂覆有一层抗磁材料的钢材做尺基,在尺基的表有一层抗磁
12、材料的钢材做尺基,在尺基的表面上均匀地涂覆一层磁性薄膜,然后用记录面上均匀地涂覆一层磁性薄膜,然后用记录磁头在磁性薄膜上记录节距为磁头在磁性薄膜上记录节距为W W的正弦波或的正弦波或矩形波。矩形波。磁栅的外形及结构图磁栅的外形及结构图磁尺磁尺静态磁头静态磁头去信号处理去信号处理 电路电路固定孔固定孔2磁栅的类型磁栅的类型长磁栅长磁栅圆磁栅圆磁栅(测量直线位移)(测量直线位移)(测量角位移)测量角位移)尺形尺形带形带形同轴形同轴形1磁头 2磁栅 3屏蔽罩 4基座 5软垫2.2.磁头磁头 根据读出信号方式不同,磁头可分为动态根据读出信号方式不同,磁头可分为动态和静态两种。和静态两种。动态磁头又称速
13、度响应式磁头。它仅有动态磁头又称速度响应式磁头。它仅有一组输出绕组;只有在磁头与磁栅间有连续一组输出绕组;只有在磁头与磁栅间有连续相对运动时才有信号输出。磁头的输出为正相对运动时才有信号输出。磁头的输出为正弦信号,在弦信号,在N、N处达正向峰值,在处达正向峰值,在S、S处处达负向峰值。达负向峰值。动态磁头工作原理动态磁头工作原理 静态磁头又称磁通响应式磁头。它可用静态磁头又称磁通响应式磁头。它可用在磁头与磁栅间无相对运动的测量,它有两在磁头与磁栅间无相对运动的测量,它有两个绕组,一为激磁绕组个绕组,一为激磁绕组W1,另一为输出绕组,另一为输出绕组W2。只有在激磁信号每周期两次过零时,铁心不只有
14、在激磁信号每周期两次过零时,铁心不被饱和,磁栅上的信号磁通才能通过输出绕组被饱和,磁栅上的信号磁通才能通过输出绕组的铁心而产生感应电势。的铁心而产生感应电势。输出电压可用下式表达:输出电压可用下式表达:静态磁头工作原理静态磁头工作原理 在实际应用时,为了增大输出和提高稳定在实际应用时,为了增大输出和提高稳定性,通常采用多间隙静态磁头。性,通常采用多间隙静态磁头。多隙磁通响应式磁头的典型结构多隙磁通响应式磁头的典型结构8.2.3 8.2.3 磁栅传感器应用技术磁栅传感器应用技术 在应用中,一般采用两个多间隙静态磁头在应用中,一般采用两个多间隙静态磁头来读取磁栅上的磁信号,两磁头的间距为(来读取磁
15、栅上的磁信号,两磁头的间距为(n1/4)W(n为正整数),两组磁头激磁信号的相位差为正整数),两组磁头激磁信号的相位差为为 /4。磁栅传感器工作原理动画演示磁栅传感器工作原理动画演示 若激磁绕组加上同相的正弦激磁信号,若激磁绕组加上同相的正弦激磁信号,则两组磁头的输出信号为:则两组磁头的输出信号为:经检波滤除高频载波后可得:经检波滤除高频载波后可得:鉴幅型磁栅传感器的原理框图鉴幅型磁栅传感器的原理框图 和和 是与位移量是与位移量x成比例的信号,经处成比例的信号,经处理即可得到位移量,这便是所谓鉴幅法。理即可得到位移量,这便是所谓鉴幅法。若激磁绕组上所加正弦激磁信号的相位差若激磁绕组上所加正弦激
16、磁信号的相位差为为 /4,或将输出信号移相,或将输出信号移相 /2,则两组磁,则两组磁头的输出信号变为:头的输出信号变为:将将 与与 相加,在相加,在 的条件下,的条件下,鉴相法常用的电路框图鉴相法常用的电路框图8.2.4 8.2.4 磁栅传感器的应用实例磁栅传感器的应用实例ZCB-101鉴相型磁栅数显表的原理框图鉴相型磁栅数显表的原理框图信号航空插头信号航空插头光电编码器外形图光电编码器外形图8 8.3 3 光电编码器光电编码器 拉线式角编码器拉线式角编码器利用线轮,能将直利用线轮,能将直线运动转换成旋转线运动转换成旋转运动。运动。8.3.1 8.3.1 光电编码器的分类及其特性光电编码器的
17、分类及其特性 光电编码器,是一种通过光电转换将输出光电编码器,是一种通过光电转换将输出轴上的机械几何位移量转换成脉冲或数字量轴上的机械几何位移量转换成脉冲或数字量的传感器。的传感器。根据检测原理,编码器可分为光学式、磁根据检测原理,编码器可分为光学式、磁式、感应式和电容式。根据其刻度方法及信式、感应式和电容式。根据其刻度方法及信号输出形式,可分为增量式、绝对式以及混号输出形式,可分为增量式、绝对式以及混合式三种。合式三种。8.3.2 8.3.2 光电编码器的工作原理光电编码器的工作原理 旋转式编码器有两种旋转式编码器有两种增量编码器和增量编码器和绝对编码器。绝对编码器。绝对式光电编码器的结构示
18、意图绝对式光电编码器的结构示意图1 1光源;光源;2 2透镜;透镜;3 3编码盘;编码盘;4 4狭缝;狭缝;5 5光电元件光电元件1.1.绝对编码器绝对编码器 编码器光源产生的光经光学系统形成一编码器光源产生的光经光学系统形成一束平行光投射在码盘上,并与位于码盘另一束平行光投射在码盘上,并与位于码盘另一面成径向排列的光敏元件相耦合。面成径向排列的光敏元件相耦合。码盘上的码道数就是该码盘的数码位数,码盘上的码道数就是该码盘的数码位数,对应每一码道有一个光敏元件。对应每一码道有一个光敏元件。当码盘处于不同位置时各光敏元件根当码盘处于不同位置时各光敏元件根据受光照与否转换输出相应的电平信号。据受光照
19、与否转换输出相应的电平信号。光电编码器大多采用格雷码盘,格雷码光电编码器大多采用格雷码盘,格雷码盘的两个相邻数的码变化只有一位码是不盘的两个相邻数的码变化只有一位码是不同的。同的。格雷码和自然二进制码的比较表格雷码和自然二进制码的比较表绝对式光电编码器原理动画演示绝对式光电编码器原理动画演示工位定位示意图工位定位示意图1 1绝对式编码器绝对式编码器2 2电动机电动机 3 3转轴转轴 4 4转盘转盘 5 5工件工件 6 6刀具刀具 利用光学分解技术可以获得更高的分辨利用光学分解技术可以获得更高的分辨力。如图所示为一个具有光学分解器的力。如图所示为一个具有光学分解器的19位位光电编码器。光电编码器
20、。该编码器的码盘具有该编码器的码盘具有14(位)内码道和(位)内码道和1条专用附加码道。条专用附加码道。附加码道光敏元件输出附加码道光敏元件输出 插值器将输入的正弦信号和余弦信号插值器将输入的正弦信号和余弦信号按不同的系数加在一起,形成数个相移不按不同的系数加在一起,形成数个相移不同的正弦信号输出。同的正弦信号输出。1919位光电编码器的插值器产生位光电编码器的插值器产生1616个正弦个正弦波形。每两个正弦信号之间的相位差为波形。每两个正弦信号之间的相位差为8 8,从而在,从而在4 4位二进制编码器的最低有效位间隔位二进制编码器的最低有效位间隔内产生内产生3232个精确等分点。个精确等分点。2
21、增量编码器增量编码器 增量编码器一般只需三条码道,分别是:增量编码器一般只需三条码道,分别是:用来产生计数脉冲的增量码道(用来产生计数脉冲的增量码道();辨);辨向码道(向码道();给计数系统提供一个初始);给计数系统提供一个初始的零位信号(的零位信号(Z Z)增量编码器的输出波形增量编码器的输出波形(a a)码盘正转时()码盘正转时(b b)码盘反转时)码盘反转时 在正转时,增量计数脉冲波形超前辨向在正转时,增量计数脉冲波形超前辨向脉冲波形脉冲波形/2 2;反转时,增量计数脉冲滞;反转时,增量计数脉冲滞后后/2 2。增量式编码器原理动画演示增量式编码器原理动画演示UZ1UZ2UZ3去加法计数
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