[精选]洁净室设备.pptx
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1、洁净室设备概述11 1 空氣浴塵機空氣浴塵機 2 2 緩衝室緩衝室 3 3 傳遞箱傳遞箱 4 4 衣架及鞋櫃衣架及鞋櫃 5 5 洗手台及烘乾機洗手台及烘乾機 6 6 沖身洗眼機沖身洗眼機無塵室設備2潔淨廠房空間組成分析圖潔淨廠房空間組成分析圖n人員人員n物料物料n人員淨化用室人員淨化用室n1.緩衝室 2.衣櫃及鞋櫃n3.洗手烘乾機 4.三叉管制機.n空氣浴塵室空氣浴塵室A/Sn氣閘室氣閘室A/Ln傳遞箱傳遞箱P/Bn物料淨化化用室物料淨化化用室n空調機房空調機房n輔助室輔助室n1.鍋爐機房 2.超純水站n3.空氣壓縮機房 4.真空幫浦室 5.變電/配電站.n化學區化學區-沖身洗眼機沖身洗眼機n
2、潔淨室潔淨室n一般區一般區n垂直管線間垂直管線間/n水平夾層水平夾層3n空氣浴塵室空氣浴塵室 AIR SHOWERAIR SHOWER 為作業者或物為作業者或物 品進入品進入 CLEAN CLEAN ROOM ROOM 時,用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功時,用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功能。能。n空氣浴塵室空氣浴塵室 AIR SHOWERAIR SHOWER同時具有同時具有 AIR LOCK AIR LOCK 氣鎖功能可以氣鎖功能可以有效控制人員進出作用,並作為不同等級清淨室的緩衝室,達到有效控制人員進出作用,並作為不同等級清淨室的緩衝室,達到防止交叉污染產生。
3、防止交叉污染產生。2.1 空氣浴塵機4n2.法規需求法規需求無無n3.用途與分類用途與分類n 用途用途n 使用於跨越不同潔淨等級區域使用使用於跨越不同潔淨等級區域使用n 分類分類n 1.單座式單座式A/Sn 2.隧道式隧道式A/Sn 3.階梯隧道式階梯隧道式A/S門扇又可分為門扇又可分為1.手拉門式手拉門式A/S2.自動門式自動門式A/S2.1 空氣浴塵機5n4.結構說明結構說明噴氣口噴氣口紅外線感紅外線感知器知器前過濾網前過濾網送風機送風機HEPA主主過濾網過濾網壓差計壓差計2.1 空氣浴塵機6n1.1.前置過濾網前置過濾網PRE-FILTERPRE-FILTERn將尼龍不織布網材裝入鋁框內
4、將尼龍不織布網材裝入鋁框內,其以除去較粗大之塵埃為目的。可用水洗其以除去較粗大之塵埃為目的。可用水洗或真空吸塵器吸塵方式再生使用。或真空吸塵器吸塵方式再生使用。n2.2.主濾網主濾網MAIN FILTERMAIN FILTER-HEPA FILTER-HEPA FILTERn採用高性能過濾網採用高性能過濾網,於於0.3um0.3um以上的粒子以上的粒子,有有99.99%99.99%以上的過濾效率。阻塞以上的過濾效率。阻塞時,需重新更換。時,需重新更換。n3.3.噴氣口噴氣口AIR NOZZLEAIR NOZZLEn將加壓之潔淨空氣經特別設計之噴氣口噴出將加壓之潔淨空氣經特別設計之噴氣口噴出23
5、M23MS S以上的風速,達到粒以上的風速,達到粒子剝離之效果,並可依需求調整吹氣方向,可有效的去除人體衣服上之子剝離之效果,並可依需求調整吹氣方向,可有效的去除人體衣服上之較大微粒子塵埃。較大微粒子塵埃。n4.4.送風機送風機n使用高靜壓送風機使用高靜壓送風機,並採並採2 2極與極與4 4極之變極方式極之變極方式,以供給噴氣及循環時之使用。以供給噴氣及循環時之使用。2 2極運轉時為強力噴氣模式,極運轉時為強力噴氣模式,4 4極運轉時僅做空氣潔淨循環模式。極運轉時僅做空氣潔淨循環模式。2.1 空氣浴塵機7n1.1.控制不同潔淨等級區域人員之進出控制不同潔淨等級區域人員之進出n2.2.排除一定粒
6、徑以上之灰塵粒子排除一定粒徑以上之灰塵粒子n3.3.防止不同潔淨等級區域之交叉污染防止不同潔淨等級區域之交叉污染n4.4.人員更衣室入口的朝向,避開主要經常風向入口。人員更衣室入口的朝向,避開主要經常風向入口。n5.5.進入無塵室間,空氣浴塵室之位置宜適中,以方便人流進出動線。進入無塵室間,空氣浴塵室之位置宜適中,以方便人流進出動線。n6.6.空氣浴塵室旁,應設置側門,供緊急使用。空氣浴塵室旁,應設置側門,供緊急使用。n7.7.單體式空氣浴塵室,自進入單體式空氣浴塵室,自進入A/SA/S且門關閉後,至另一側門扇可開啟之標準程且門關閉後,至另一側門扇可開啟之標準程序,共歷時序,共歷時3030秒。
7、因此,設置台數,須根據通過頻率最高時段之人數,作為秒。因此,設置台數,須根據通過頻率最高時段之人數,作為選取空氣浴塵室尺寸規格之依據。選取空氣浴塵室尺寸規格之依據。n8.8.假设通過頻率最高時段之人數,超過單體式空氣浴塵室之負荷時,則建議假设通過頻率最高時段之人數,超過單體式空氣浴塵室之負荷時,則建議使用隧道式空氣浴塵室,但通道兩側門扇,不建議使用互鎖型式,以利人員使用隧道式空氣浴塵室,但通道兩側門扇,不建議使用互鎖型式,以利人員動線之暢通。動線之暢通。n9.9.隧道式空氣浴塵室之兩側門扇外,建議使用燈號及反射鏡,教育通道兩側隧道式空氣浴塵室之兩側門扇外,建議使用燈號及反射鏡,教育通道兩側人員
8、之進出行為,以防止兩側門扇同時打開,產生交叉污染情形。人員之進出行為,以防止兩側門扇同時打開,產生交叉污染情形。18182.1 空氣浴塵機8nA/SA/S數量計算數量計算A/S型型式式總人數總人數單台單台A/S使用人數使用人數單台單台A/S經過時間經過時間A/S台台數數全部通全部通過時間過時間2人份人份120人人 2人人X 20秒秒 4台台=5分鐘分鐘4人份人份120人人 4人人X 20秒秒 2台台=5分鐘分鐘8人份人份120人人 6人人X 20秒秒 1台台=5分鐘分鐘2.1 空氣浴塵機9n氣密緩衝室氣密緩衝室 AIR LOCK ROOMAIR LOCK ROOM 為作業者或物品離開為作業者或
9、物品離開 CLEAN ROOM CLEAN ROOM 時,利用互鎖功能,以有效控制人員進出時,時,利用互鎖功能,以有效控制人員進出時,防止交叉污染產生。防止交叉污染產生。2.2 緩衝室10用途用途n1.1.使用於跨越不同潔淨等級區域使用,由潔淨等級高至等級使用於跨越不同潔淨等級區域使用,由潔淨等級高至等級低處低處n2.2.利用門扇互鎖之機制,防止氣流的干擾及交叉污染利用門扇互鎖之機制,防止氣流的干擾及交叉污染分類分類n1.1.單座式單座式A/LA/Ln2.2.組合式組合式A/LA/L2.2 緩衝室11n1.1.門扇具有互鎖功能門扇具有互鎖功能n2.2.氣密室氣密室基本設計原則基本設計原則n1.
10、1.控制不同潔淨等級區域人員之進出控制不同潔淨等級區域人員之進出n2.2.防止不同潔淨等級區域之交叉污染防止不同潔淨等級區域之交叉污染n3.3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰,以方便人流離開氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰,以方便人流離開無塵室動線順暢。無塵室動線順暢。2.2 緩衝室12n傳遞箱傳遞箱 PASS BOXPASS BOX 為置於潔淨室隔間牆上之裝置,其功為置於潔淨室隔間牆上之裝置,其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區,其可防止於傳遞物能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區,其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓。品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓。n更
11、可減少作業人員走動時,防止外區塵埃的進入。更可減少作業人員走動時,防止外區塵埃的進入。n傳遞箱傳遞箱PASS BOXPASS BOX的進出口應具有不可同時開啟的聯鎖的進出口應具有不可同時開啟的聯鎖控制,以達到防止交叉污染之功能。控制,以達到防止交叉污染之功能。2.3 傳遞箱13n2.2.法規需求法規需求無無n3.3.用途與分類用途用途與分類用途n1.1.物流使用於跨越不同潔淨等級區域使用物流使用於跨越不同潔淨等級區域使用n2.2.利用門扇互鎖之機制,防止氣流的干擾及交叉污染利用門扇互鎖之機制,防止氣流的干擾及交叉污染n分類分類n1.1.手動式手動式P/BP/Bn2.2.自動式自動式P/BP/B
12、2.3 傳遞箱14n4.結構說明結構說明n1.門扇具有互鎖功能門扇具有互鎖功能n2.氣密室氣密室n5.基本設計原則基本設計原則n1.控制不同潔淨等級區域人員之進出控制不同潔淨等級區域人員之進出n2.防止不同潔淨等級區域之交叉污染防止不同潔淨等級區域之交叉污染n3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰,以方便人流離開無塵氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰,以方便人流離開無塵室動線順暢。室動線順暢。2.3 傳遞箱15n人在進出無塵室間,人往往是最高的汙染源。因此,人出入人在進出無塵室間,人往往是最高的汙染源。因此,人出入無塵室時,穿上包覆全身的無塵衣,則是控制無塵室污染的無塵室時,穿上包覆全身的無塵
13、衣,則是控制無塵室污染的重要指標。重要指標。n為了控制無塵衣的潔淨度,配備衣櫃為了控制無塵衣的潔淨度,配備衣櫃Garment stockerGarment stocker,存,存放無塵服及鞋子,藉以控制無塵室之污染源。放無塵服及鞋子,藉以控制無塵室之污染源。2.4 衣架及鞋櫃16n2.2.法規需求法規需求無無n3.3.用途與分類用途用途與分類用途n1.1.防止無塵衣存放時遭到防止無塵衣存放時遭到n外界汙染外界汙染n2.2.控制無塵衣之潔淨度與控制無塵衣之潔淨度與n乾躁度乾躁度n分類分類n1.1.無塵式衣櫃無塵式衣櫃2.4 衣架及鞋櫃17n4.4.結構說明結構說明n衣櫃由空調過濾設備衣櫃由空調過
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