《多晶硅行业准入条件》测评细则.doc

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1、多晶硅行业准入条件测评细则 中华人民共和国工业和信息化部二一一年九月引 言本测评细则是为配合我国多晶硅行业准入条件的实施，科学、客观、公正、有效地评价多晶硅生产企业是否符合行业准入条件而编制，其包含了多晶硅生产企业应具备的基本准入条件和对应的评价方法。多晶硅行业准入条件测评细则1 范围 本测评细则规定了在中华人民共和国境内从事多晶硅生产（包括改扩建）企业（以下简称“多晶硅生产企业”）行业准入的评价方法。 本测评细则适用于采用不同工艺从事多晶硅生产企业行业准入的评价。2 引用标准下列标准包含的条文，通过在本方法中引用而构成为本方法的条文。在标准出版时所示版本均为有效。所有标准都会被修改，使用本方

2、法的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T4059硅多晶气氛区熔基磷检验方法GB/T4060硅多晶真空区熔基硼检验方法GB/T4061硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB 8978污水综合排放标准GB/T 12348工业企业厂界环境噪声排放标准GB/T 12963硅多晶GB 16297大气污染物综合排放标准GB 18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准GB/T 24001环境管理体系 要求及使

3、用指南GB/T 24574 硅单晶中-族杂质的光致发光测试方法GB/T 24579酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物GB/T24580重掺N型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法GB/T 24581低温傅里叶变换红外光谱法测量硅单晶中、族杂质含量的测试方法GB/T24582 酸萃取 电感耦合等离子体质谱仪测定多晶硅表面金属杂质GB/T 25074太阳能级多晶硅GB/T 28001职业健康安全管理体系 规范GB/T XXXX 光伏电池用硅材料中Fe、Cu、Ni、Cr、Zn金属杂质含量的ICP-MS测量方法SEMI PV1光伏级硅中微量元素的辉光放电质谱测试方法SEMI PV10中子活化

4、INAA分析测试方法SEMI MF 1723 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的标准规程3 术语和定义 下列术语和定义适用于本方法。 3.1 原料单耗原料单耗为生产1kg多晶硅所消耗原料量。3.2 多晶硅还原电耗 还原炉生长1kg多晶硅产品所消耗的电量。3.3 多晶硅综合电耗 生产1kg多晶硅产品所消耗的总电量，包括生产辅助消耗电量。3.4 折合电耗将外购的多晶硅生产用主要原料（氢气、液氯、三氯氢硅）折合成生产消耗的用电量。氢气单位原料折算电耗为5kwh/Nm3h/kg,三氯氢硅单位原料折算电耗为1kwh/kg。3.5还原尾气利用率 还原炉中四氯化硅、氯化氢和氢气的回收利用率。3.6实际产

5、能。 企业 同一厂区内1年生产多晶硅产品的实际生产能力(产量)。3.7水循环利用率水循环利用率是指企业循环用水量占企业总用水量的比值。企业循环用水指企业生产用水中循环利用的水量，包括一水多用和串级使用的水量（含经过处理后回用量），用水总量是指企业厂区用于生产和生活的水量，等于企业用新鲜水与企业循环用水量之和。3.8资本金比例资本金比例是指企业以自有资产投资占总投资的比例。4.现场测评及判定4.1现场核查进行多晶硅行业准入条件的现场测评，核查内容及结论记录在表1中。表1中有一个不符合项，则现场核查不合格。表1现场测评表一、项目建设条件和生产布局序号评价内容评价要点结论测评记录对企业的建设项目中最

6、低资本金比例的要求是否满足项目投资中最低资本金比例不低于30%的要求。o 符合o 不符合对企业布局的要求。是否符合在依法设立的环境条件要求高的区域周边1000米内，不得新建多晶硅项目的要求。o 符合o 不符合二、生产规模与技术装备序号评价内容评价要点结论测评记录2.1 生产规模1.太阳能级多晶硅每期规模是否达到了3000吨/年。2.半导体级太阳能每期规模是否达到了1000吨/年。o 符合o 不符合技术设备1.是否具有先进工艺技术和产污强度小、节能环保的工艺设备以及安全设施。2.主要工段、设备参数应能实现连续流程在线检测。o 符合o 不符合三、资源回收利用及能耗序号评价内容评价要点结论测评记录占

7、地面积要求占地面积是否小于6公顷/千吨。o 符合o 不符合太阳能级多晶硅电耗还原电耗小于80千瓦时/千克，到2011年底前小于60千瓦时/千克；到2011年底前，综合电耗不大于200千瓦时/千克。o 符合o 不符合半导体级多晶硅电耗还原电耗小于100千瓦时/千克，半导体级区熔用多晶硅还原电耗小于120千瓦时/千克。o 符合o 不符合还原尾气利用率还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率是否达到了98.5%、99%、99%。o 符合o 不符合水资源回收利用率水循环利用率95%。o 符合o 不符合四、环境保护序号评价内容评价要点结论测评记录环境评价及环保验收1.依法向有审批权限的环境保护行政主管

8、部门报批环境影响评价文件。2.建设项目配套环境保护设施并依法申请项目竣工环境保护验收，并验收合格。3.现有企业应依法定期实施清洁生产审核，并通过评估验收，两次审核的时间间隔不得超过三年。o 符合o 不符合废气1.尾气及NOx、HF酸雾排放部位均应当配备净化装置，采用溶液吸收法或其他方法对其净化处理。2.是否有地方环保部门出具的废气排放达标证明。o 符合o 不符合废水1.按照规定设置排污口。2. 是否有地方环保部门出具的废水排放达标证明。o 符合o 不符合固体废物是否有地方环保部门出具的固体废物贮存和处置达标证明。o 符合o 不符合4.5 噪声是否有地方环保部门出具的工业企业厂界环境噪声达标证明

9、。o 符合o 不符合五、产品质量序号评价内容评价要点结论测评记录检验管理1.是否有检验机构和专职检验人员，能否独立行使权力。2.是否制定了检验管理制度。o 符合o 不符合产品质量检验1.是否有产品质量检验规定。2.产品质量是否符合标准要求。o 符合o 不符合六、安全卫生和社会责任序号评价内容评价要点结论测评记录遵守法律和安全教育2.是否进行安全生产法、职业病防治法等法律法规的宣贯、培训，并保存记录。o 符合o 不符合安全管理体系1.企业应当有健全的安全生产组织管理体系。2.有职工安全生产培训制度和安全生产检查制度并保存相关记录。o 符合o 不符合危险化学品安全管理1.企业应当遵守危险化学品安全

10、管理条例。2.是否进行危险化学品安全管理条例法律法规的宣贯、培训，并保存记录。o 符合o 不符合职业危害和重大危险源控制1.是否提供了必要的劳动防护品及职业危害防治措施。2.员工的生产操作是否符合安全规范。3.重大危险源是否有检测、评估、监控措施和应急预案，是否配备必要的器材和设备。4.车间、库房等是否配备了消防器材，消防器材是否在有效期内。5.是否对易燃、易爆等危险品进行隔离和防护。o 符合o 不符合员工社会保险是否遵守国家法律法规，依法参加养老、失业、医疗、工伤等保险。o 符合o 不符合4.2评价方法4.2.1 生产企业的设立和布局检查审核多晶硅生产企业提供的省级规划部门批准的项目选址证明

11、和土地部门的用地证明。检查审核多晶硅生产企业提供的资本金和总投资费用证明材料，并计算资本金比例。4.2.2生产规模与技术设备4.2.2.1实际产能检查企业近一年内连续正常三个月的多晶硅产品入库单（必要时调取其它能证明产量的企业生产记录），核定月产量，计算公式为： W平均=(W1+W2+W3)/3(1) 式中： W平均平均月产量，吨/月； W1第一个月产量，吨/月； W2第二个月产量，吨/月； W3第三个月产量，吨/月。 企业的实际产能由下式计算： W= W平均12 (2)式中： W实际产能，吨； 12一年月数，月/年；4.2.2.2技术设备审核企业提供的技术设备清单和运行状态记录，并现场进行核

12、实。4.2.3资源回收利用、能耗及单耗4.2.3.1资源回收利用 采用物料平衡评定法计算还原炉尾气中四氯化硅、氯化氢和氢气的回收利用率，即以某一周期内，对还原炉的进料和多晶硅生产量进行计算，还原炉尾气总量W尾气量的计算公式为： W尾气量=W进料量W多晶硅量(3) 式中： W进料量还原炉的总进料量，公斤； W多晶硅量多晶硅生产量，公斤。a) 四氯化硅回收利用率计量转化炉四氯化硅进料量WSTC，转化炉的转化效率KC的计算公式为： (4)式中：KC转化炉的转化效率，%；KSTC转化炉尾气中四氯化硅的百分含量，%。四氯化硅回收利用率RSTC的计算公式为： (5) 式中：WSTC各炉次沉积反应生成四氯化

13、硅总量，公斤。b) 氯化氢回收利用率计量周期内各炉次生成氯化氢总量WHCl，氯化氢回收利用率RHCl的计算公式为： (6)式中：WHCl尾气回收单元回收的氯化氢总量，公斤。c) 氢气回收利用率氢气回收利用率R计算公式为： (7)式中：Qin周期内补充的新鲜氢气量，千升；Qf月初系统内的循环氢气总量，千升；Qr月末总回收氢气，千升。4.2.3.2能耗对多晶硅生产企业的还原电耗和综合电耗分别进行评定，以自然月为统计评价周期，采集连续三个月的数据计算。a)还原电耗还原电耗按以下公式计算： Xi=Hi/Wi(8)式中：Xi第i个月还原电耗，kwh/kg；Hi第i个月还原用电量，kwh；Wi第i个月多晶

14、硅产量，kg；i1、2、3，月。平均还原电耗按以下公式计算： X平均= （X1+X2+X3）/3 (9)式中：X平均还原电耗，kwh/kg；X1第一个月还原电耗kwh/kg；X2第二个月还原电耗kwh/kg；X3第三个月还原电耗kwh/kg。b)综合电耗综合电耗按以下公式计算： Zi=Z1i+Z2i(10)式中：Zi第i个月综合电耗，kwh/kg；Z1i第i个月生产1千克多晶硅用电量，kwh/kg；Z2i第i个月生产1千克多晶硅用折合用电量，kg/kg；i1、2、3，月。 Z平均= （Z1+Z2+Z3）/3 (11)式中：Z平均综合电耗，kwh/kg；X1第一个月综合电耗kwh/kg；X2第二

15、个月综合电耗kwh/kg；X3第三个月综合电耗kwh/kg。折合电耗计算公式为： Zi2=Li/Wi(12)式中：Li第i个月消耗所有购置原料（如氢气、液氯、三氯氢硅）折合的总的用电量，kwh；4.2.3.3 循环水利用率以自然月为统计评价周期，采集正常生产的连续三个月企业循环水和总用水量数据计算循环水利用率，计算公式为：X=X 循环量/X总量(13)式中：X采集周期内循环水利用率，%；X 循环量采集周期内循环水，m3； W多晶硅采集周期内总用水量，m3。4.2.3.4 原料单耗以自然月为统计评价周期，采集正常生产的连续三个月原料投入量和产品产量数据计算原料单耗，计算公式为：Y原料单耗=W原料

16、/W多晶硅(14)式中：Y原料单耗采集周期内原料的单耗，kg 、m3；W原料采集周期内原料的投入量，kg/ kg 、m3/ k g； W多晶硅采集周期内多晶硅的产量，kg。4.2.4环境保护检查企业属地环境监测机构出具的定期监测报告，审查其大气污染物综合排放、固体废物和污水综合排放是否符合规定要求。4.2.5产品质量4.2.5.1质量管理多晶硅生产企业应当有独立的质量检验机构和专职检验人员，有健全的质量检验管理制度。检验人员应熟悉产品检验规定，具有与工作相适应的质量管理知识和检验技能，专职检验人员应有相关培训证明。4.2.5.2 现场抽样对于现场测评结果合格的多晶硅生产企业进行产品质量的现场抽

17、样，所抽取的样品由现场测评组所在检测机构进行产品质量检验。a) 抽样规则现场评价组抽取样品应在企业有关人员在场的情况下进行。抽取的样品应是企业自产并经检验合格的产品。并填写抽样单（见附件2）一式四份。b)抽样评价组根据台帐对产品进行随机抽样，根据企业生产规模抽取样品数目及数量见表2。生产企业应准备实验室检验的相关样品。表2抽取样品数目及数量产品名称生产规模产品级别每个级别产品抽样个数（个）*抽样数量（量/样品）太阳能级多晶硅6000吨/年以下1级品、2级品、3级品3取1个u形多晶棒制备4个区熔测试棒（2个包括硅芯、2个不包括硅芯），再取包括表面的多晶硅1000g。6000吨/年-10000吨/

18、年510000吨/年以上7半导体级多晶硅2000吨/年以下1级品、2级品、3级品32000吨/年-4000吨/年54000吨/年以上7*样品数量含备份样品量；测试棒需要测评组随机抽样后现场制备。c)样品送达及检验时限要求现场评价组抽取的样品封存后，由企业在5日内将样品寄送达指定检验机构。检验机构应当在收到企业样品之日起20日内完成检验工作，并出具检验报告(格式见附件3)一式四份。产品检验结果，由评价组书面上报工信部相关管理部门。4.2.5.3实验室检验指标及合格判定多晶硅行业准入检验项目、检验方法及判定标准见表3。若检验结果有一项不合格，则利用备份样品对该不合格的项目进行加倍复验。对复验结果仍

19、不合格的产品，应直接判为不合格。对于备份样品复验结果合格的产品判定为合格。 表3 多晶硅产品准入检验项目、检验方法及判定标准产品名称检验项目检验方法判定标准太阳能级多晶硅基磷电阻率和施主杂质浓度GB/T4059、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581GB/T 25074-2010基硼电阻率和受主杂质浓度GB/T4060、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581、GB/T24580少数载流子寿命GB/T1553、SEMI MF1535氧浓度GB/T1557碳浓度GB/T1558基体金属浓度SEMI PV1、GB/T XXXX表

20、面金属浓度GB/T24579、GB/T 24582半导体级多晶硅基磷电阻率和施主杂质浓度GB/T4059、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581GB/T 12963-2009基硼电阻率和受主杂质浓度GB/T4060、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581、GB/T24580少数载流子寿命GB/T1553、SEMI MF1535碳浓度GB/T1558氧浓度GB/T1557基体金属浓度SEMI PV1、SEMI PV10、GB/T XXXX表面金属浓度GB/T24579、GB/T 245825. 多晶硅行业准入条件测评收费根据

21、多晶硅行业准入条件测评细则的要求，多晶硅产品生产企业应委托工业和信息化部指定的第三方检验机构对其进行现场测评及有关参数的实验室检测，相关收费以保障测评工作为主，不以盈利为目的。5.1现场评价费用根据企业生产规模不同准入评价委派专家每组通常不少于2人，现场评价费用见表4。表4多晶硅行业准入测评费用产品名称生产规模派专家人日测评费（万元）太阳能级多晶硅6000吨/年以下56000吨/年-10000吨/年810000吨/年以上104半导体级多晶硅2000T吨/年一下52000吨/年-4000吨/年84000吨/年以上1045.2 检验费多晶硅行业准入检验现场评价组对多晶硅生产企业进行现场检验及实验室

22、检验，检验项目及费用况见表5。 表5准入检验项目及费用序号产品名称准入检验项目检测方法准入评价费用（元）1太阳能级多晶硅基磷电阻率施主杂质浓度P，As，SbGB/T1551 6000GB/T4059 GB/T24574、 GB/T24581基硼电阻率受主杂质浓度B，Al，GaGB/T1551 GB/T4060、GB/T24574、GB/T24581少数载流子寿命GB/T1553、 SEMI MF15351000氧浓度GB/T15571000碳浓度GB/T1558基体金属杂质浓度SEMI PV1、GB/T XXXX5000表面金属杂质浓度GB/T24579、GB/T 2458270002半导体级

23、多晶硅基磷电阻率施主杂质浓度P，As，SbGB/T1551 6000GB/T4059、 GB/T24574、GB/T24581基硼电阻率受主杂质浓度B，Al，GaGB/T1551 GB/T4060、GB/T24574、GB/T24581少数载流子寿命GB/T15531000氧浓度GB/T15571000碳浓度GB/T1558基体金属杂质浓度SEMI PV1 、GB/T XXXX5000表面金属杂质浓度GB/T24579、GB/T 24582 70006准入测评及监督6.1对于申请准入的多晶硅生产企业，应委托工业和信息化部指定的第三方专业检测机构按多晶硅行业准入条件的要求进行现场评价及有关参数的

24、实验室检测。检测机构出具评价报告。6.2已获得多晶硅行业准入的多晶硅生产企业，准入测评周期为5年。每年抽取一定比例的多晶硅生产企业，由工业和信息化部指定的第三方专业检测机构对其定期进行监督检验。7 多晶硅行业准入条件测评人员工作守则7.1遵纪守法，依法行政，保守秘密，诚实守信；7.2 坚持原则，秉公办事，忠于职守，尽职尽责；7.3 服务企业，高效快捷，谦虚谨慎、文明待人；7.4 作风正派，清正廉洁，自警自省，慎权慎欲。附件1多晶硅行业准入条件现场测评记录表 测评日期： 年 月 日 至 年 月 日企业名称（盖章） 生产地址联系人产品名称产品牌号评价依据项目最低资本金比例水循环利用率生产规模太阳能

25、级（吨/年）半导体级（吨/年）准入条件要求30%95%30001000核查结果准入条件要求资 源 回 收单耗四氯化硅%氯化氢%氢气%硅粉kg/kg氯气kg/kg氢气m3/kg三氯氢硅kg/kg9999核查结果项目能 耗准入条件要求太阳能级（千瓦时/千克）半导体级（直拉）（千瓦时/千克）半导体级（区熔）（千瓦时/千克）80100120核查结果类别姓名职务单位名称现场评价组企业代表签字姓名职务备注附件2多晶硅产品抽样单企业情况申请单位名称(盖章)生产地址邮政编码联系人 产品名称执行标准抽样情况牌号产品等级生产日期或批号抽样方式抽样基数抽样日期抽样数量抽样地点抽样人员签字姓 名工作单位企业代表签字职

26、 务封样状态查验情况样品包装状况： 完整 破坏； 样品状况：正常 有擦痕；样品封条：完整破坏； 样品数量：与抽样单一致与抽样单不符。验收人（签字）： 验收日期： 验收单位（盖章）说明 现场测评组织单位(盖章) 年 月 日附件3 报告编号：（CMA章）、（CNAS章） 检 验 报 告产品名称 产品名称 受检单位 (与抽样单上企业名称一致，以集团公司名义申请的应填写所属单位的名称)检验类别 准入评价检验报告日期 (以签发日期为准)检验机构名称注 意 事 项1 检验报告无“检验报告专用章”或检验单位公章无效。2 复制检验报告未重新加盖“检验报告专用章”或检验单位公章无效。3 检验报告无编制、审核、批

27、准人签字无效，无骑缝章无效。4 检验报告涂改无效。5 受检单位对检验报告若有异议，应于接到报告后十五日内向检验单位提出，逾期不予受理。地 址：(检验机构详细地址)邮政编码：联 系 人：电 话：传 真：Email电子信箱: 检验机构检验报告报告编号：XXXXXXXX 共X页 第1页产品名称(按产品抽样单填写)牌 号(按产品抽样单填写)受检单位名称(按产品抽样单填写)产品级别(按产品抽样单填写)受检单位生产地址(按产品抽样单填写)抽样地点(按产品抽样单填写)抽样人员(按产品抽样单填写)产品批号生产日期(按产品抽样单填写)抽样数量(按产品抽样单填写)抽样日期(按产品抽样单填写)到样日期收到样品的日期样品描述(对收到的样品基本情况作简单表述，如：封条是否完好、清楚；样品的形状、完好程度等。)检验项目检验依据(多晶硅行业准入评价方法规定的产品检验依据)检验结论(按照标准对产品进行检验，检验结果均符合/项目不符合该标准规定的（规格等级）要求，判定该样品为合格/不合格。) 检验单位（公章或检验报告专用章）签发日期： 年 月 日备注 检验结果汇总： 共X页 第2页依据标准检验项目计量单位标准值检验值本项结论备 注