工厂如何消除静电与防止静电实践篇.ppt

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1、 静电控制静电控制静电控制静电控制ESD Control 静电的概念静电的概念静电的概念静电的概念ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 *静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余 的电荷（正电荷或负电荷）存在。的电荷（正电荷或负电荷）存在。静电产生有三种方法：静电产生有三种方法：N摩擦摩擦N相接触的两个物体发生分离相接触的两个物体发生分离N静电感应产生静电静电感应产生静电Page 1 静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释静电产生的物理解释结果：带结果：带正

2、正的静电荷的静电荷结果：带结果：带负负的静电荷的静电荷相接触的两个相接触的两个物体发生分离物体发生分离ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识Page 2ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 什么是什么是什么是什么是ESDESD？ESD ESD 就是静就是静就是静就是静 电电电电 泄泄泄泄 放放放放 （Electronic Static DischargeElectronic Static Discharge）带有静电的物体靠近

3、或接触另一物带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之间存在电势差，就体，只要它们之间存在电势差，就会发生静电荷传递。这种静电荷传会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为递过程我们称之为静电泄放静电泄放。当这。当这种静电荷传递的过程强度足够大，种静电荷传递的过程强度足够大，大到可以损坏我们的产品，我们就大到可以损坏我们的产品，我们就称之为称之为ESD事件事件。Page 3任何物体都可以产生静电任何物体都可以产生静电！Everything can be come Charged！ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础

4、知识基础知识 什么物体可以产生静电什么物体可以产生静电什么物体可以产生静电什么物体可以产生静电？在在我们的工作区域所有物体都可以产生静电我们的工作区域所有物体都可以产生静电!手推车，椅子，机械手，粘胶带，周转箱和其它物料输送物品手推车，椅子，机械手，粘胶带，周转箱和其它物料输送物品人体，手套，净化室用抹布，净化室用太空服，普通衣服人体，手套，净化室用抹布，净化室用太空服，普通衣服工作台表面，工作台表面，CRT电脑显示器，手动工具，纸，笔记本，文件夹，笔电脑显示器，手动工具，纸，笔记本，文件夹，笔墙壁，地板，酒精瓶，墙壁，地板，酒精瓶，ESD 包装，非包装，非ESD 包装包装 等等都可以产生静电

5、。等等都可以产生静电。Page 4ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 什么样的材料是防静电材料？什么样的材料是防静电材料？什么样的材料是防静电材料？什么样的材料是防静电材料？对于硬盘产品生产，表面电阻小于对于硬盘产品生产，表面电阻小于1x109Ohms 的材料是理想的的材料是理想的ESD材料。材料。3.Insulator 绝缘材料绝缘材料2.Dissipative 静电消耗材料静电消耗材料1.Conductive 导体材料导体材料105 Ohms/1011 Ohms/1 产生静电少产生静电少 2 静电可以通

6、过接地消除静电可以通过接地消除 （但消除速度很快）（但消除速度很快）3 可以接收的可以接收的ESD材料材料1 产生静电较少产生静电较少 2 静电可以通过接地消除静电可以通过接地消除 （消除速度适中）（消除速度适中）3 理想的理想的ESD材料材料1 产生静电很多产生静电很多 2 静电不能通过接地消除静电不能通过接地消除 （消除速度特别慢）（消除速度特别慢）3 非非ESD材料材料Page 5ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 ESDESD的危害的危害的危害的危害Page 6人体对大于人体对大于3000V的静电才

7、有感觉！的静电才有感觉！但是但是磁头磁头PCB/PCC电路板电路板梳头发梳头发撕贴胶带撕贴胶带走路走路对于对于ESD我们应该统一认识，并加以提高我们应该统一认识，并加以提高ESD ESD ESD ESD 是是是是 隐隐隐隐 藏藏藏藏 的的的的 敌敌敌敌 人人人人ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 ESD ESD 是隐藏的敌人是隐藏的敌人是隐藏的敌人是隐藏的敌人Page 7听到听到5000V感觉到感觉到3000V看到看到8000V电子元件电子元件受损受损100-500V针对我们的针对我们的Arm产品产品,安全

8、静电电压是安全静电电压是 100V!ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 ESD ESD 如何损害我们的产品如何损害我们的产品如何损害我们的产品如何损害我们的产品大量的静电荷在存在电势差的大量的静电荷在存在电势差的物体物体（人或机器）与（人或机器）与产品产品之间之间快速快速传递，短时间内产生很大的电流（远远超过产品可以承传递，短时间内产生很大的电流（远远超过产品可以承受的电流）重则损毁电路，造成产品不能使用；轻则使电路受的电流）重则损毁电路，造成产品不能使用；轻则使电路过热受到损伤，影响产品的寿命和可靠性。过

9、热受到损伤，影响产品的寿命和可靠性。被被ESD损毁的产品损毁的产品Page 8使电子元件受损的使电子元件受损的潜在缺陷潜在缺陷占占90%在厂内很难被发现在厂内很难被发现电子元件电子元件即时失效即时失效只占只占10%在厂内可被发现在厂内可被发现ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 决定静电产生多少的因素决定静电产生多少的因素决定静电产生多少的因素决定静电产生多少的因素决定静电产生多少的因素主要有：决定静电产生多少的因素主要有：1 材料的导电性能材料的导电性能：导电材料和静电消耗材料产生比较少的静电，绝缘材料产生

10、很多的静电。：导电材料和静电消耗材料产生比较少的静电，绝缘材料产生很多的静电。2 环境相对湿度环境相对湿度对静电的产生有很大的影响，相对湿度大（空气潮湿）静电产生就少，对静电的产生有很大的影响，相对湿度大（空气潮湿）静电产生就少，ESD的的 问题就少。反之，相对湿度小问题就少。反之，相对湿度小ESD的问题就多。的问题就多。3 ESD地板地板，ESD安全的鞋安全的鞋（包括太空服）及（包括太空服）及腕带腕带 的使用对于降低人体产生的静电也是非常的使用对于降低人体产生的静电也是非常 有效的。另外在地板上有效的。另外在地板上走动走动比比不走动不走动产生更多的静电。产生更多的静电。1 在地在地 毯上走路

11、毯上走路2 穿普通鞋在穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用腕带）地板上走路（不使用腕带）3 穿穿ESD安全的鞋在安全的鞋在ESD地板上（使用腕带地板上（使用腕带）5 摩擦绝缘材料摩擦绝缘材料35000V 8000V 1500V10000V 4000V 200V50V 10V 0V环境相对湿度环境相对湿度10-20%RH 40-50%RH 70-90%RH4000V 1500V 300VPage 9ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 ESD ESD 如何损害我们的产品如何损害我们的产品如何损害我们的产品如何损害

12、我们的产品ESD 损坏的方式损坏的方式直接的方式直接的方式间接的方式间接的方式1.金属（小电阻）接触金属（小电阻）接触带静电的物体接触产品带静电的物体接触产品(HBM)物体接触带静电的产品物体接触带静电的产品(CDM)2.电路电路热拔插热拔插带电测试带电测试静电感应静电感应不直接接触不直接接触电磁干扰（电磁干扰（EMI）不直接接触不直接接触Page 10 降降 低低 成成 本本 提提 高高 产产 品品 质质 量量 客客 户户 满满 意意 增增 加加 利利 润润ESD Basic KnowledgeESD Basic Knowledge ESDESD基础知识基础知识基础知识基础知识 ESD ES

13、D 防护的好处防护的好处防护的好处防护的好处Page 11ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制我们如何控制我们如何控制我们如何控制我们如何控制ESDESD？Three fundamental principles三个基本的控制原理三个基本的控制原理-Ground/Bond all conductors(为所有导体进行接地处理。为所有导体进行接地处理。注意：人也是导体）注意：人也是导体）-Control Charges on Nonconductors(控制容易产生较多静电绝缘材料控制容易产生较多静电绝缘材料）-Use protective packagin

14、g for transit and storage(在产品运输和存贮过程中使用在产品运输和存贮过程中使用ESD防护包装防护包装）ESD 控制控制 =Man(人人)+Machine(机机)+Material(料料)+Method(法法)+Environment(环环)Man(人人)-手腕带手腕带，ESD鞋鞋，ESD椅子椅子,衣服衣服 Machine(机机 )-接地接地，控制静电电流控制静电电流-消除消除/屏蔽屏蔽 电磁干扰和交流电场电磁干扰和交流电场Material(材料材料)-使用导体材料使用导体材料-尽量使用静电消耗材料尽量使用静电消耗材料-使用使用 ESD地板，地板，ESD桌垫桌垫-不用或

15、尽量少用绝缘材料不用或尽量少用绝缘材料Method(方法方法)-预防预防（创建创建ESD安全的环境）安全的环境）-保护保护（保护对（保护对ESD敏感的产品或零部件，避免金属小敏感的产品或零部件，避免金属小 电阻接触电阻接触）-屏蔽屏蔽（对非（对非ESD安全的物品进行法拉第或距离屏蔽安全的物品进行法拉第或距离屏蔽）-消除消除（通过接地，离子化消除产生的静电）（通过接地，离子化消除产生的静电）Environment(环境环境 )-温度温度/湿度控制湿度控制-局部使用离子风机局部使用离子风机-员工员工 ESD培训培训-管理管理Page 12ESD ControlESD Control ESDESD控

16、制控制控制控制 ESD ESD安全区域和安全区域和安全区域和安全区域和ESDESD风险等级风险等级风险等级风险等级 -处理对处理对ESD敏感的产品必须在敏感的产品必须在ESD安全区域（安全区域（ESD Safe Area)内进行。内进行。-在在ESD安全区域处理对安全区域处理对ESD敏感的产品，必须依照敏感的产品，必须依照ESD安全处理程序进行。安全处理程序进行。-没有进行必要的没有进行必要的ESD防护，不允许进入防护，不允许进入ESD安全区域。安全区域。ESD敏感产品的处理工序依照产品的特点和可能敏感产品的处理工序依照产品的特点和可能 造成的造成的ESD损坏划分为四个损坏划分为四个ESD风险

17、等级：风险等级：1A 级级 -特别高的特别高的ESD风险风险1 级级 -很高的很高的ESD风险风险2 级级 -较高的较高的ESD风险风险 （以上级别只用行磁头和硬盘生产工序）以上级别只用行磁头和硬盘生产工序）3 级级 -高的高的ESD风险风险（硬盘生产（硬盘生产Drive Top Cover安装到位以后安装到位以后 工序工序PCCA/Hook up Die/IC 安装，焊接及通电测试工序）安装，焊接及通电测试工序）4 级级 -中等的中等的ESD风险风险（PCCA，Hook up 一般工序）一般工序）Page 13静电防护安全区域静电防护安全区域（ESD Safe Area)ESD Contro

18、lESD Control ESDESD控制控制控制控制 ESD ESD控制控制控制控制-接地接地接地接地两种可用的接地系统两种可用的接地系统LNE产品产品ESD垫子垫子机器或夹具机器或夹具ESD腕带腕带ESD地板地板ESD鞋鞋工作台工作台ESD净化服净化服LNE产品产品ESD垫子垫子机器或夹具机器或夹具ESD腕带腕带ESD鞋鞋工作台工作台ESD净化服净化服ESD接地铜排接地铜排ESD地板地板Page 14ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制 ESD ESD控制控制控制控制-接地接地接地接地产品产品ESD垫子垫子机器或夹具机器或夹具ESD腕带腕带ESD鞋鞋工

19、作台工作台ESD净化服净化服ESD地板地板1.人体通过人体通过ESD净化服、净化服、ESD鞋及鞋及ESD地板接地接地电阻通常在地板接地接地电阻通常在 1x10e8 1x10e9欧姆欧姆,这时人体这时人体的静电电位在的静电电位在500V以下。以下。2.人体通过人体通过ESD腕带接地，接地电腕带接地，接地电阻可以确保在阻可以确保在 1x106 1x107欧姆，可以确保人体的静电电位欧姆，可以确保人体的静电电位在在10V以下。以下。3.机器或夹具等金属物体通过接地机器或夹具等金属物体通过接地线接地，接地电阻通常小于线接地，接地电阻通常小于10欧欧姆，可以将机器或夹具等金属物姆，可以将机器或夹具等金属

20、物体上产生的静电随时导向大地，体上产生的静电随时导向大地，减少静电对产品的危害。减少静电对产品的危害。Page 15针对我们的针对我们的Arm产品产品,安全静电电压是安全静电电压是 60%最大风速。最大风速。高度高度18-24 Inch产品区域产品区域Page 19ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制 ESD ESD控制应该做到控制应该做到控制应该做到控制应该做到1）在在ESD安全的工位处理对安全的工位处理对ESD敏感产品。敏感产品。2）在处理对在处理对ESD敏感产品之前戴上腕带，防静电手套。敏感产品之前戴上腕带，防静电手套。3）对所有金属设备和工具进行接

21、地处理。对所有金属设备和工具进行接地处理。4）让让ESD敏感产品与绝缘材料最少保持敏感产品与绝缘材料最少保持12英寸（约英寸（约30公分）的距离。公分）的距离。（如果对产品进行了保护如：产品放在（如果对产品进行了保护如：产品放在ESD包内，放在包内，放在 盖上盖子的盖上盖子的ESD 安全安全 物料盒内；如果对绝缘材料进行了屏蔽或使用了离子风机，物料盒内；如果对绝缘材料进行了屏蔽或使用了离子风机，ESD敏感产品与敏感产品与 绝缘材料之间不受这个距离的限制。）绝缘材料之间不受这个距离的限制。）5）总是保持工作区域干净整洁，拿走不必要的物料，特别是拿走不是生产必需总是保持工作区域干净整洁，拿走不必要

22、的物料，特别是拿走不是生产必需 的普通塑料制品，纸制品及个人物品。的普通塑料制品，纸制品及个人物品。6）对对ESD敏感产品可能接触的设备部件，敏感产品可能接触的设备部件，测量设备接地，确保牢固有效安全。测量设备接地，确保牢固有效安全。7）不要用金属物体接触对不要用金属物体接触对ESD敏感产品的暴露的输入电路，减少对敏感产品的暴露的输入电路，减少对ESD敏感产敏感产 品不必要的接触。品不必要的接触。8）服从服从ESD敏感区域，敏感区域，ESD安全纪律要求。安全纪律要求。9）如果你对如果你对ESD有不清楚的可以联系本地有不清楚的可以联系本地ESD控制部门。控制部门。Page 20ESD Contr

23、olESD Control ESDESD控制控制控制控制ESDESD公式公式公式公式Q+M=ESD“Q”:在产品或零部件在产品或零部件，工具或其它物体（包括人体）上的工具或其它物体（包括人体）上的 静电荷静电荷 （通常是由于摩擦或者是静电感应产生的）（通常是由于摩擦或者是静电感应产生的）“M”:与产品或零部件暴露的输入电路进行小电阻的与产品或零部件暴露的输入电路进行小电阻的金属联接。金属联接。“ESD”:短时间内的大电流损坏产品或零部件，造成短时间内的大电流损坏产品或零部件，造成 ESD损坏损坏1.没有没有金属联接金属联接:Q+M=ESD 没有没有ESD损坏损坏2.没有没有静电荷静电荷 :Q+

24、M=ESD 没有没有ESD损坏损坏3.没有没有静电荷静电荷和没有和没有金属联接金属联接:Q+M=ESD 没有没有ESD损坏损坏用这个公式来帮我们理解如何解决用这个公式来帮我们理解如何解决ESD问题问题Page 21ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制ESDESD公式公式公式公式消除金属联接（消除金属联接（M）:Q+M=NO ESD 避免金属联接的方法：避免金属联接的方法：设计工具，使暴露的电路不能接触工具的金属表面设计工具，使暴露的电路不能接触工具的金属表面在工具的表面使用在工具的表面使用ESD消耗材料（消耗材料（ESD垫子等）垫子等）暴露的暴露的电路电路

25、好好好好不好不好Page 22ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制ESDESD公式公式公式公式 为导体进行可靠的接地为导体进行可靠的接地（对固定金属导体：接地电阻（对固定金属导体：接地电阻 10 ohms,对移动导对移动导 体，体，ESD材料或不可以接地的导体：接地电阻材料或不可以接地的导体：接地电阻 1X109 欧姆。）欧姆。）减少或消除摩擦、撕粘胶带等等所有可以产生静电的操作。减少或消除摩擦、撕粘胶带等等所有可以产生静电的操作。如有必要，使用离子风机消除绝缘材料上的静电。如有必要，使用离子风机消除绝缘材料上的静电。从工位上拿走不是生产必须的绝缘材料。从

26、工位上拿走不是生产必须的绝缘材料。对于生产工艺必须的绝缘材料和对于生产工艺必须的绝缘材料和ESD敏感的产品，保持安全距离（敏感的产品，保持安全距离（12英寸英寸 以上）。以上）。减少或消除静电荷减少或消除静电荷（Q）:Q+M=NO ESDPage 23ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制ESDESD公式公式公式公式 很多人首先试着只是控制很多人首先试着只是控制 Q(静电荷静电荷)但消除但消除M(金属联接金属联接)通常是最廉价的，最容易的，从长期来说也通常是最廉价的，最容易的，从长期来说也 是最有效的解决办法。是最有效的解决办法。聪明的做法是把控制聪明的做法

27、是把控制 Q(静电荷静电荷)和消除和消除M(金属联接金属联接)结合起来结合起来这取决于在每个工艺过程中哪一种方法最容易，最廉价。这取决于在每个工艺过程中哪一种方法最容易，最廉价。你必须不断改善和优化你的工艺过程，否则你必须不断改善和优化你的工艺过程，否则ESD的问题将继续困的问题将继续困 惑着你惑着你!Q+M=ESDPage 24ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制电子元器件与电子元器件与电子元器件与电子元器件与 鸡蛋鸡蛋鸡蛋鸡蛋 ESD ESD 控制思路控制思路控制思路控制思路 电子元器件就像鸡蛋，电子元器件对电子元器件就像鸡蛋，电子元器件对ESD十分敏

28、感就像鸡蛋从高处落下很容易摔坏。十分敏感就像鸡蛋从高处落下很容易摔坏。电子元器件带有静电就像一个被举高的鸡蛋电子元器件带有静电就像一个被举高的鸡蛋 不是高度摔破了鸡蛋，而是高度的突然改变（摔下鸡蛋）摔破了鸡蛋。不是高度摔破了鸡蛋，而是高度的突然改变（摔下鸡蛋）摔破了鸡蛋。不是高的静电电压损坏了电子元器件，而是静电电压的突然改变损坏电子元器件不是高的静电电压损坏了电子元器件，而是静电电压的突然改变损坏电子元器件。金属联接金属联接造成的静电电压的突然改变等同从高处摔下鸡蛋。造成的静电电压的突然改变等同从高处摔下鸡蛋。如果超过这一高度摔下如果超过这一高度摔下(静电泄放静电泄放)鸡蛋鸡蛋(电子元器件电

29、子元器件)将被摔破将被摔破(损坏损坏)高度（静电高度（静电荷的多少）荷的多少）搬运鸡蛋搬运鸡蛋(电子元器件电子元器件)越过障碍物，越过障碍物，如何保证鸡蛋如何保证鸡蛋(电子元器件电子元器件)不被摔破不被摔破(损坏损坏)？Page 25ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制电子元器件与电子元器件与电子元器件与电子元器件与 鸡蛋鸡蛋鸡蛋鸡蛋 ESD ESD 控制思路控制思路控制思路控制思路第一种解决方法第一种解决方法降低降低障碍物的高度，障碍物的高度，相当于传统的相当于传统的 ESD 控制思路控制思路 只是控制静电荷和电压，去除绝缘材料、使用接地、离子风机等等只

30、是控制静电荷和电压，去除绝缘材料、使用接地、离子风机等等如果超过这一高度摔下如果超过这一高度摔下(静电泄放静电泄放)鸡蛋鸡蛋(电子元器件电子元器件)将被摔破将被摔破(损坏损坏)高度（静电高度（静电荷的多少）荷的多少）Page 26ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制电子元器件与电子元器件与电子元器件与电子元器件与 鸡蛋鸡蛋鸡蛋鸡蛋 ESD ESD 控制思路控制思路控制思路控制思路第二种解决方法第二种解决方法在在地板上靠近障碍物地方垫上地板上靠近障碍物地方垫上软垫子软垫子防止鸡蛋被摔破防止鸡蛋被摔破在在工作表面上垫上工作表面上垫上 ESD垫子垫子或或 ESD

31、薄膜薄膜（静电消耗材料），防止电子元器件（静电消耗材料），防止电子元器件暴露的电路直接接触金属表面。暴露的电路直接接触金属表面。高度（静电高度（静电荷的多少）荷的多少）超过这一高度摔到超过这一高度摔到没有垫子的地面没有垫子的地面鸡蛋将被摔破鸡蛋将被摔破超过这一高度摔到超过这一高度摔到垫有垫子的地面垫有垫子的地面鸡蛋将被摔破鸡蛋将被摔破Page 27ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制电子元器件与电子元器件与电子元器件与电子元器件与 鸡蛋鸡蛋鸡蛋鸡蛋 ESD ESD 控制思路控制思路控制思路控制思路Page 28第三种解决方法第三种解决方法为为鸡蛋穿上防摔的

32、软套鸡蛋穿上防摔的软套。为为电子元器件增加电子元器件增加 ESD 防护：防护：使用使用 ESD屏蔽袋，设置分流和限流电阻等屏蔽袋，设置分流和限流电阻等 等。等。高度（静电高度（静电荷的多少）荷的多少）超过这一高度摔到地面，超过这一高度摔到地面，穿上防摔软套穿上防摔软套的鸡蛋将被摔破的鸡蛋将被摔破超过这一高度摔到地面，超过这一高度摔到地面，没有没有防摔软套防摔软套的鸡蛋将被摔破的鸡蛋将被摔破Faraday Cage 法拉第笼法拉第笼具有法拉第笼作用的具有法拉第笼作用的ESD屏屏蔽袋，蔽袋，ESD Tray(注意：只注意：只有封闭或盖好才会有法拉第有封闭或盖好才会有法拉第笼屏蔽防护作用）笼屏蔽防护

33、作用）ESD ControlESD Control ESDESD控制控制控制控制电子元器件与电子元器件与电子元器件与电子元器件与 鸡蛋鸡蛋鸡蛋鸡蛋 ESD ESD 控制思路控制思路控制思路控制思路高度（静电高度（静电荷的多少）荷的多少）第四种解决方法第四种解决方法让让鸡蛋停在高处不摔下鸡蛋停在高处不摔下电子元器件仍然带上静电荷，但是不泄放，当然不会损坏电子元器件但电子元器件仍然带上静电荷，但是不泄放，当然不会损坏电子元器件但风险依然存在，有可能在下一工序就会发生静电泄放，损坏电子元器件风险依然存在，有可能在下一工序就会发生静电泄放，损坏电子元器件-这不是一种好的这不是一种好的ESD解决办法。解

34、决办法。如果超过这一高度摔下如果超过这一高度摔下(静电泄放静电泄放)鸡蛋鸡蛋(电子元器件电子元器件)将被摔破将被摔破(损坏损坏)也许我们还有其它的解决办法？也许我们还有其它的解决办法？Page 29ESD Control工厂实践篇工厂实践篇Page 30ESD Control（一）（一）Wrist strap 及及monitor 的使用、维护的使用、维护Fuji 494 双线腕带监测器双线腕带监测器Fuji 99 单线腕带监测器单线腕带监测器双线腕带双线腕带1设施部定期（一般至少三个月一设施部定期（一般至少三个月一次）对监测器进行次）对监测器进行PM。更换易更换易损件，校准监测器，确保正常工损

35、件，校准监测器，确保正常工作。作。2QA对监测器插孔定期（一般为对监测器插孔定期（一般为一个月一次）进行接地测试，确一个月一次）进行接地测试，确保接地良好。保接地良好。3生产部在使用过程中出现任何问生产部在使用过程中出现任何问题及时通知到设施部进行修理。题及时通知到设施部进行修理。经确认是腕带损坏的及时由主管经确认是腕带损坏的及时由主管或领班更换腕带。或领班更换腕带。4QA对使用及执行情况进行核查。对使用及执行情况进行核查。Page 31ESD Control（二）电烙铁的接地（二）电烙铁的接地 确保烙铁焊头接地良好确保烙铁焊头接地良好Fuji 300 防静电电烙铁防静电电烙铁有防静电标志有防

36、静电标志不管是防静电电烙铁还是普通电烙铁，必须定期不管是防静电电烙铁还是普通电烙铁，必须定期测试烙铁焊头对地电阻测试烙铁焊头对地电阻(R)。标准：标准：R 100 ohms (普通电子企业）普通电子企业）烙铁焊头烙铁焊头Page 32ESD ControlPage 33（三）显微镜的接地（三）显微镜的接地仅对夹具进行接地，没有固定到显微镜仅对夹具进行接地，没有固定到显微镜底座上，显微镜机体接地不良。底座上，显微镜机体接地不良。由于显微镜机体和底座被油漆由于显微镜机体和底座被油漆覆盖，所以应另接覆盖，所以应另接接地线接地线接地，接地，确保接地良好。确保接地良好。显微镜标准：对地电阻显微镜标准：对

37、地电阻 1x10e9 ohms接地线松脱接地线松脱ESD ControlPage 34（四）工作台工具（四）工作台工具/设备的接地设备的接地接地良好接地良好接地良好接地良好所有用于生产或所有用于生产或检验的工作台面。检验的工作台面。接地标准接地标准：对地对地电阻电阻 10 ohms接地线松脱接地线松脱移动的部分增加接地，确保接地良好移动的部分增加接地，确保接地良好接地线松脱接地线松脱ESD Control注意：注意：类似以上两种放置在工作台上的工具类似以上两种放置在工作台上的工具/设备，设备，由于它们的底脚是绝缘的塑料，必须确认它由于它们的底脚是绝缘的塑料，必须确认它 们的接地电阻（有些可以通

38、过电源线地线接们的接地电阻（有些可以通过电源线地线接 地）如果接地不良，必须另外接地线。地）如果接地不良，必须另外接地线。标准：对地电阻标准：对地电阻 10 ohms底脚是绝缘的塑料底脚是绝缘的塑料Page 35ESD Control类似图示的可移动设备（还包括类似图示的可移动设备（还包括 Oven 等），它们的底脚轮等），它们的底脚轮子是绝缘的塑料，必须确认它们的子是绝缘的塑料，必须确认它们的外壳，工作台外壳，工作台和和与产品接与产品接触的夹具触的夹具的接地电阻（有些可以通过电源线地线接地）如果的接地电阻（有些可以通过电源线地线接地）如果接地不良，必须另外接地线。接地不良，必须另外接地线。标

39、准标准：外壳，工作台和与产品接触的固定的金属夹具：外壳，工作台和与产品接触的固定的金属夹具 10 ohms 与产品接触的活动的夹具，与产品接触的活动的夹具，ESD材料材料 1 x 10 E 9 ohms夹具夹具台面台面外壳外壳Page 36ESD Control确保确保外壳，与产品接触的流水线和夹具外壳，与产品接触的流水线和夹具的接地的接地良好。（外壳测试点是外壳上暴露的螺丝）良好。（外壳测试点是外壳上暴露的螺丝）标准：外壳、流水线线体标准：外壳、流水线线体 10 ohms流水线线体流水线线体夹具夹具外壳外壳流水线线体流水线线体外壳外壳外壳外壳Page 37ESD Control流水线线体流水

40、线线体通过延长通过延长拖线板接拖线板接地必须确地必须确认接地良认接地良好。好。Page 38确认外壳及流水线金属传送带对地电阻确认外壳及流水线金属传送带对地电阻确认工作台接地，确认工作台接地，ESD椅子性能椅子性能流水线传送带流水线传送带ESD ControlPage 39（五）手推车的接地（五）手推车的接地 确保有接地链条并与地面接触良好确保有接地链条并与地面接触良好没有接地链条没有接地链条有接地链条，接地可以接受有接地链条，接地可以接受接地链条没有接触接地链条没有接触ESD的地面的地面尽管使用接地链条接地不尽管使用接地链条接地不是一种十分理想的手推车是一种十分理想的手推车接地方式（有些公司

41、接地方式（有些公司 使用使用ESD的车轮接地）。但有的车轮接地）。但有接地链条，链条与地面接接地链条，链条与地面接触良好是触良好是Belton对手推车对手推车最基本的要求。最基本的要求。ESD ControlPage 40（六）货架的接地（六）货架的接地-底脚不能用塑料底脚底脚不能用塑料底脚不用塑料底脚不用塑料底脚-OK货架接地电阻：货架接地电阻：1x10E12 ohms标准：标准：1.四只底脚不能用四只底脚不能用塑料底脚塑料底脚2.货架接地电阻：货架接地电阻：1x10E9 ohms用塑料底脚用塑料底脚 接地不良接地不良ESD ControlPage 41用金属紧固塞用金属紧固塞-OK金属紧固

42、塞金属紧固塞使用最低标准：如图使用最低标准：如图（此最低标准适用于拼接式手推车）（此最低标准适用于拼接式手推车）用接地线联接要确用接地线联接要确认联接良好认联接良好（七）货架的接地（七）货架的接地 -搁板与柱子联接的紧固塞搁板与柱子联接的紧固塞金属紧固塞金属紧固塞ESD ControlPage 42（八）使用（八）使用ESD防护防护ESD垫子垫子-OKESD 材料夹具材料夹具对对CRT显示器显示器进行距离防护进行距离防护ESD Control（九）（九）ESD材料与非材料与非ESD材料材料ESD 屏蔽袋屏蔽袋 ESD OKESD Tray ESD OKESD材料：材料：SR 1x10 E11

43、ohmsPE 袋袋 非非ESD材料材料非非ESD材料材料 Tray不是生产工艺必须的绝缘材料（非不是生产工艺必须的绝缘材料（非ESD材料）必材料）必须从工作台上拿走，与产品区域保持至少须从工作台上拿走，与产品区域保持至少12英寸英寸（30CM）以上距离。以上距离。注意注意：PE袋只能用来对盖上盖子的袋只能用来对盖上盖子的ESD Tray进行外包装，非进行外包装，非ESD 材料材料 Tray只能用来包装对只能用来包装对ESD不敏感的元器件。不敏感的元器件。Page 43ESD ControlPage 44普通纸、计算器、普通胶带普通纸、计算器、普通胶带 非非ESD材料材料干的抹布、干的棉签和棉花

44、棒干的抹布、干的棉签和棉花棒 非非ESD材料材料1.抹布、棉签和棉花棒只有湿的抹布、棉签和棉花棒只有湿的（沾（沾IPA后）才可以使用后）才可以使用.2.不用的抹布、棉签和棉花棒必须不用的抹布、棉签和棉花棒必须放在金属物料盒内。（不允许放放在金属物料盒内。（不允许放在工作台上）。在工作台上）。3.用过的抹布、棉签和棉花棒必须用过的抹布、棉签和棉花棒必须及时放进拉圾桶内（不允许放在及时放进拉圾桶内（不允许放在工作台上）。工作台上）。不是生产工艺必须的绝缘材料不是生产工艺必须的绝缘材料（非（非ESD材料）必须从工作台材料）必须从工作台上拿走，与产品区域保持至少上拿走，与产品区域保持至少12英寸（英寸

45、（30CM）以上距离。以上距离。绝缘材料（非绝缘材料（非ESD材料）：材料）：-普通塑料橡胶制品（如计算器、普通胶带等普通塑料橡胶制品（如计算器、普通胶带等）-普通纸制品普通纸制品-棉制品、抹布棉制品、抹布-普通玻璃制品等等普通玻璃制品等等ESD ControlPage 45撕贴胶带会产生很高的静电。胶带的使用同时有撕贴胶带会产生很高的静电。胶带的使用同时有ESD和和Contamination的的问题，因此必须严格控制，不是生产工艺必须的胶带必须从工作台上拿走，问题，因此必须严格控制，不是生产工艺必须的胶带必须从工作台上拿走，严禁使用胶带来固定物体或电气维修。严禁使用胶带来固定物体或电气维修。

46、ESD ControlPage 46远远超过远远超过24 Inch高度高度18-24 Inch（十）十）Ionizer(离子风机）的正确使用离子风机）的正确使用风扇很脏风扇很脏不但有不但有Contamation 的的问题，影响离子问题，影响离子产生，同时由于产生，同时由于有大量有大量 Particle 存在，反而会带存在，反而会带来来ESD 问题。问题。-应定期（每周）应定期（每周）用用IPA对风扇和发对风扇和发射针进行清洁。射针进行清洁。（工程部（工程部/设施部设施部执行，执行，QA核查）核查）有维护标签，但一要对风机校有维护标签，但一要对风机校准，二要进行清洁维护。准，二要进行清洁维护。指示灯亮（表示在工作）打到指示灯亮（表示在工作）打到60%最大风速。最大风速。ESD ControlPage 47不用的或用过的抹布不用的或用过的抹布不允许放在工作台上不允许放在工作台上（十一）工作台面十一）工作台面脏的夹具脏的夹具每班应在吃饭前和下班前进行每班应在吃饭前和下班前进行两次工位（工作台面和夹具）两次工位（工作台面和夹具）清洁，每次必须清洁干净。清洁，每次必须清洁干净。工作台面或夹具抽检不合格工作台面或夹具抽检不合格