单晶制绒工艺培训精.ppt
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1、单晶制绒工艺培训第1页,本讲稿共13页绒面的作用 为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,工业生工业生产中通常采用碱与醇的混合溶液对产中通常采用碱与醇的混合溶液对(100)(100)晶面的晶面的单晶硅片的各项异性腐蚀在表面形成类似“金字塔”状的绒面,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。第2页,本讲稿共13页理想质量的绒面 对于既可获得低的表对于既可获得低的表面反射率面反射率,又有利于太阳能电又有利于太阳能电池的后续制作工艺绒面池的后续制作工艺绒面,应该应该是金字塔大小均匀是金字塔大小均匀,单体尺寸单体尺寸在在10201020微米之间微米之
2、间,相邻金字塔相邻金字塔之间没有空隙之间没有空隙,即覆盖率达到即覆盖率达到100%100%。如图如图!第3页,本讲稿共13页控制理想绒面的形成因素 理想质量的绒面的形成,受到了诸多因素的影响,例如原材料的特性、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。为了维持生产良好的可从复性,并获得高的生产效率,要求我们比较透彻的了解绒面的形成机理,控制对制绒过程影响较大的因素,在较短的时间内形成质量较好的金字塔容面.第4页,本讲稿共13页绒面生长的原理 在高温下在高温下,硅与碱发生如下的化学反应硅与碱发生如下的化学反应:Si+2OHSi+2OH-+H+H2 2O=SiOO=SiO3 3+2H+2H2
3、2 对于晶体硅对于晶体硅,由于各个晶面的原子密度不同由于各个晶面的原子密度不同,与碱进行反应的速度差别很大与碱进行反应的速度差别很大,也就是我们通常说的也就是我们通常说的(110)(110)面面(111)(111)面的腐蚀从而面的腐蚀从而在表面形成类似“金字塔”状的绒面。第5页,本讲稿共13页绒面生长的基本参数 用氢氧化钠加乙醇用氢氧化钠加乙醇,在在80-8380-83度之间度之间,时间时间30-4030-40minmin左左右右,根据原材料的特性来配根据原材料的特性来配液就可以做出质量较好的容液就可以做出质量较好的容面。面。第6页,本讲稿共13页氢氧化钠的含量对绒面的影响 经经过过相相同同时
4、时间间的的生生长长,氢氢氧氧化化钠钠的的浓浓度度越越高高,晶晶字字塔塔的的体体积积越越大大。而而制制绒绒液液的的腐腐蚀蚀性性随随氢氢氧氧化化钠钠溶溶液液浓浓度度变变化化而而变变化化得得比比较较显显著著,浓浓度度高高的的氢氢氧氧化化钠钠溶溶液液与与硅硅进进行行化化学学反反应应的的速速度度加加快快,反反应应相相同同时时间间后后,金金字字塔塔的的体体积积更更大大。当当氢氢氧氧化化钠钠的的浓浓度度超超过过了了一一定定的的界界限限,溶溶液液的的腐腐蚀蚀力力度度过过强强,绒绒面面会会越越来来越越差差,直直至至出出现现类类似似“抛抛光光“的的效效果果。相相比比于于乙乙醇醇,有有利利于于绒绒面面生生长长的的氢
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