气体输送系统安全培训教材.pptx

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1、1气体输送系统平安 2气体输送系统平安气体输送系统平安After this training,you will be able to:l了解半导体/电子行业气体种类及特性l了解低温气体的危害及防护l了解如何确保气体输送系统平安l了解如何正确操作钢瓶l了解gas-handling设备及其功能l了解系统输送系统的部件及其功能l了解gas cabinet和VMB/P3设计准则设计准则l气体输送系统的三大设计准则 Safety Process Control 工艺操作（流量、压力等）Purity Control 纯度操作（纯度/颗粒度）4气体分类一根据气体储存形式不同，分为：1.Bulk Gas 大宗

2、气体（特指Ar,N2,O2,He,H2）2.Specialty Gas 特种气体(SiH4,NH3,CF4,etc.)3.Compressed Dry Air枯燥压缩空气5 气体分类一大宗气体l Bulk Gas 大宗气体-N2/Ar/O2l 通常半导体工厂，厂务N2/Ar/O2以液态储存在槽罐内6气体分类一大宗气体l 低温液体在常压下沸点低于-240oF(-115oC)l 例如O2液化温度(-297 oF)(-183oC)Ar液化温度(-302 oF)(-186oC)N2液化温度(-320 oF)(-196oC)oC=(oF-32)*5/97气体分类一大宗气体l低温液体危险性低温蒸气扩散l低

3、温液体可能引起冻伤8气体分类一大宗气体l低温气体的其它危险低温可能会引起周围物品的损伤危险危危险险包包括括l 过冷l 过大的体积膨胀l 雾9气体分类一大宗气体低温引起的破裂10膨 胀 率1 1气体分类一大宗气体l低温危险防护 提供排风系统 正确操作气瓶 正确的系统设计 适当的个人防护设备12气体分类一大宗气体l Bulk Gas 大宗气体-H2/Hel 由于H2和He的液化温度极低，加之自然界游离态气体极少，故H2和He一般以高压气态形式储存在钢瓶内（国外使用液态储存），并且以钢瓶组供给l H2常用电解水得到，He从矿石中提炼得到（绝大局部产自）l H2液化温度(-423 oF)(-253oC

4、),He液化温度(-452 oF)(-269oC)l 绝对零度为-273oC13气体分类一特种气体什么是Specialty Gas特种气体l 大宗气体&CDA以外的气体l 空气中极稀有气体（如Xe 氙气）l 不存在空气中，人工合成之气体（如AsH3砷烷）l 特殊用途之超高纯气体（又称电子级气体）14气体分类二根据气体危险性，气体分为：1.不可燃气体(N2,SF6,NF3等)2.可燃性气体(H2,SiH4,CH4等)3.氧化性气体(O2,N2O等)4.毒性气体(AsH3,PH3等）5.腐蚀性气体(Cl2,DCS等）15气体分类二常常见见危危险险符符号号不可燃性等级 可燃性等级 氧化性等级 毒性等级 腐蚀性等级16气体分类二不不可可燃燃气气体体l 常见不可燃气体种类（通常指类似的惰性气体）l 不可燃气体之危险性窒息性 取代肺中的氧气压强 单位面积所承受的压力能量 气体在状态转变过程中产 生的能量