DRCLVS及后仿真学习.pptx

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1、一：概述二：验证工具简介三：Diva的使用方法和规则文件的介绍四：Calibre的使用方法和规则文件的介绍五：演示1/1102023/5/5 目录目录第1页/共111页第一页，编辑于星期五：十七点 十四分。芯片设计流程2/110概述验证工具介绍DivaCalibre演示2023/5/5schematiclayoutPre-simDRCLVSPost-sim第2页/共111页第二页，编辑于星期五：十七点 十四分。DRC3/110概述验证工具介绍DivaCalibre演示2023/5/5DRC（Design Rules Check），用来检查版图设计与工艺规则的一致性。基本设计规则包括各层的宽度、

2、相同层次之间的间距及不同层次之间的间距、包含关系等。设计规则的规定是根据工艺变化而变化的。在特殊的设计需求下，设计规则允许部分的弹性。但是设计人员需掌握违背规则对电路的影响。（一般不能违反）第3页/共111页第三页，编辑于星期五：十七点 十四分。具体的设计规则5/109概述验证工具介绍DivaCalibre演示2023/5/5 N WELL(TB):a.N-well width for interconnect 2.5b.N-well width for resistor 4.0c.N-well spacing with different potential 4.0d.N-well spac

3、ing with same potential 1.4e.Overlap from N-well to N+inside N-well 0.4f.Space from N-well to N+outside N-well 2.1g.Overlap from N-well to P+inside N-well 1.3h.Space from N-well to P+outside N-well 0.8第4页/共111页第四页，编辑于星期五：十七点 十四分。LVS编辑好的版图通过设计规则检查后，可能还存在错误，这些错误不是由于违反了设计规则，而可能是与电路图不一致导致的。由于版图中少连了一根连线对

4、整个芯片来说都是致命的，所以必须要通过LVS（Layout Versus Schematic）检查。实际上就是将从版图中提取出的电路网表，与电路图中的网表文件进行比较。5/110概述验证工具介绍DivaCalibre演示2023/5/5第5页/共111页第五页，编辑于星期五：十七点 十四分。后仿真提取版图中的寄生参数并将其代入电路中进行仿真，这就是我们所说的后仿真（Post-simulation）。6/110概述验证工具介绍DivaCalibre演示2023/5/5第6页/共111页第六页，编辑于星期五：十七点 十四分。7/110验证工具介绍DivaCalibre演示概述 验证工具2023/5

5、/5Assura Diva DraculaHerculesCalibre第7页/共111页第七页，编辑于星期五：十七点 十四分。8/110DivaCalibre演示Diva简介DRC文件编写规则EXT文件编写规则LVS文件编写规则验证工具介绍概述 Diva工具介绍2023/5/5第8页/共111页第八页，编辑于星期五：十七点 十四分。9/110DivaCalibre演示 Diva是Cadence软件中的验证工具集，用它可以处理物理版图和准备好的电气数据，从而进行版图和电路图的对比。Diva工具集包括以下部分：版图设计规则检查（iDRC）版图参数提取（iLPE）寄生电阻提取（iPRE）电气规则检

6、查（iERC）版图与线路图比较程序（iLVS）验证工具介绍概述 Diva简介2023/5/5第9页/共111页第九页，编辑于星期五：十七点 十四分。10/110DivaCalibre演示Diva的各个组件之间是互相联系的，有时候一个组件的执行要依赖另一个组件先执行。例如：要执行LVS就要先执行EXTRACT（版图参数提取）等。运行Diva前，需要准备好规则验证文件。可以把这些文件放置在任何目录下。这些规则文件有各自的规定名称，如：做DRC规则文件应以divaDRC.rul命名，版图参数提取文件以divaEXT.rul命名。LVS规则文件应以divaLVS.rul命名。验证工具介绍概述 Diva

7、简介（续）2023/5/5第10页/共111页第十页，编辑于星期五：十七点 十四分。11/110DivaCalibre演示1、首先需要根据工艺来制订版图设计规则验证工具介绍概述 DRC规则文件的编写2023/5/5第11页/共111页第十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。12/110DivaCalibre演示2、编写相应的DRC规则检查文件 一个完整DRC规则文件通常包括：层次处理命令（用于生成规则文件中所要应用到的层次，可以是原始层，也可以是衍生层）规则检查及错误输出必要的注释 注释符为/*/验证工具介绍概述 DRC文件编写规则2023/5/5第12页/共111页第十二页，编辑于星期五：十

8、七点 十四分。13/110DivaCalibre演示逻辑命令 geomAnd geomOr关系命令 geomInside geomStraddle geomCoincident尺寸命令 geomSize验证工具介绍概述 常用层次处理命令2023/5/5第13页/共111页第十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。14/110DivaCalibre演示输出两个不同层次或边界之间的交叠部分，一般存在两个输入层以及一个输出层。例：ngate=geomAnd(ndiff poly)验证工具介绍概述 逻辑命令geomAnd2023/5/5第14页/共111页第十四页，编辑于星期五：十七点 十四分。15/1

9、10DivaCalibre演示输出所有的输入层，这些层次将会被合并成为一个新层次。例：nwell=geomOr(nwell DNW)验证工具介绍概述 逻辑命令geomOr2023/5/5第15页/共111页第十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。16/110DivaCalibre演示输出完全处于第二输入层中的第一输入层，两层可以内切。例：ptap=geomInside(pdiff pw)验证工具介绍概述 关系命令geomInside2023/5/5第16页/共111页第十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。17/110DivaCalibre演示输出为有部分面积被第二输入层所覆盖的第一输入层。例

10、：codepoly1=geomStraddle(poly1 romcode)验证工具介绍概述 关系命令geomStraddle2023/5/5第17页/共111页第十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。18/110DivaCalibre演示输出与第二输入层内切的第一输入层。例：ngate=geomCoincident(ngate poly)验证工具介绍概述 关系命令geomCoincident2023/5/5第18页/共111页第十八页，编辑于星期五：十七点 十四分。19/110DivaCalibre演示按输入的数值扩张或者收缩输入层。其中正值表示扩张，负值表示收缩，一般只有一个输入层。例：p

11、ads=geomSize(pad 5.0)验证工具介绍概述 尺寸命令geomSize2023/5/5第19页/共111页第十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。20/110DivaCalibre演示在设计规则检查中，主要的语句就是drc()，outlayer=drc(inlayer1 inlayer2 function)outlayer 表示输出层，如果给出了输出层，则通过drc规则检查出的错误图形就保存在该输出层中。inlayer1和inlayer2代表要处理的版图层次。有些规则规定的只是对单一层次的要求。比如接触孔的宽度，那么可以只有inlayer1。而有些规则定义的是两个层次之间的关系，

12、比如接触孔和金属之间的距离，那么drc语句中需要有两个输入层。验证工具介绍概述 DRC规则语句2023/5/5第20页/共111页第二十页，编辑于星期五：十七点 十四分。21/110DivaCalibre演示function中 定 义 了 实 际 检 查 的 规 则，关 键 字 有sep（sepration，不同图形之间的间距），width（图形的宽度），enc（enclosure，露 头），ovlp（overlap，覆 盖），area（图形面积），notch（凹槽的宽度）。验证工具介绍概述 DRC规则语句（续1）2023/5/5第21页/共111页第二十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。2

13、2/110DivaCalibre演示例：drc(nwell widthextractor第39页/共111页第三十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。40/110DivaCalibre演示验证工具介绍概述 EXT运行结果2023/5/5从版图中提取出了9个nmos管从版图中提取出了9个pmos管从版图中提取出了47个电阻没有错误第40页/共111页第四十页，编辑于星期五：十七点 十四分。41/110DivaCalibre演示验证工具介绍概述 提取出的电路连线图2023/5/5第41页/共111页第四十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。42/110DivaCalibre演示验证工具介绍概述 运

14、行Diva中的LVS工具2023/5/5选择要比较的电路图所在的位置选择版图中提取出的需要比较的网表指定LVS规则文件路径Verify-LVS第42页/共111页第四十二页，编辑于星期五：十七点 十四分。43/110DivaCalibre演示验证工具介绍概述 LVS运行结果2023/5/5错误LVS未通过错误第43页/共111页第四十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。44/110DivaCalibre演示验证工具介绍概述 LVS错误显示方法2023/5/5单击 Error Display则能看到版图与电路图不一致的地方。第44页/共111页第四十四页，编辑于星期五：十七点 十四分。45/11

15、0DivaCalibre演示在实际芯片中，由于工艺上的或是其他的一些不可避免的因素的影响，会产生一些寄生的元件。比如说，寄生电容、寄生电阻等等。而这些寄生元件又往往会对我们的电路特性带来负面的影响，所以我们必须充分考虑，并且定量仿真其带来的影响。这个仿真称为后仿真。后仿真就是提取版图中的寄生参数并将其带入电路中进行仿真。后仿真的结果才是最接近实际芯片性能的仿真结果。验证工具介绍概述 后仿真2023/5/5第45页/共111页第四十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。46/110DivaCalibre演示在后仿真前也需要进行版图提取。相比于LVS前的版图提取，这里的版图提取，不仅要提取出电路本身

16、含有的器件，还要提取出寄生器件（寄生电阻和寄生电容等）。所以，同样需要一个版图提取文件，这个文件中的提取方法与LVS中的提取方法相同。验证工具介绍概述 寄生参数提取2023/5/5第46页/共111页第四十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。47/110DivaCalibre演示measureResistance 语句measureParasitic语句saveParasitic语句验证工具介绍概述 寄生参数提取语句2023/5/5第47页/共111页第四十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。48/110DivaCalibre演示measureResistance 语句用来从互联层中提取寄生电

17、阻-电容网络。measureResistance语 句 处 理 的 层 次 必 须 是 在geomConnect语 句 中 被 定 义 的 连 接 层，并 且 必 须 在geomConnect语句之后使用该语句。res_metal1=measureResistance(metal1“res ivpcell EXT csmc”0.05“r”(ignoreselect checks这里给出rule file中所有的rule，可以选择某些rule不做check对 于 rule file定 义 的groups，也可选择某些group不做check下方窗口显示rule的解释验证工具介绍概述Diva202

18、3/5/5第59页/共111页第五十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。60/110Calibre演示 DRC运行步骤（续4）Run control，可选择是否在本地服务器上运行DRC，一般选择默认值。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第60页/共111页第六十页，编辑于星期五：十七点 十四分。61/110Calibre演示 DRC运行步骤（续5）验证工具介绍概述Diva2023/5/5点击 Run DRC来执行DRC检测第61页/共111页第六十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。62/110Calibre演示 DRC运行结果显示DRC规则检测中检测出 的 违 反 DRC rule的e

19、rrorClick坐 标，可 在layout view中 显 示 出 error的 地方违反rule的解释验证工具介绍概述Diva2023/5/5第62页/共111页第六十二页，编辑于星期五：十七点 十四分。63/110Calibre演示 DRC运行报告将error更正后，重新run DRC，直到没有error为止。也可以看summary report中，rule check result statistics栏有没有违反的地方。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第63页/共111页第六十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。64/110Calibre演示 注意事项在版图中Nwell需要打

20、孔接电源，衬底需要打孔接地电源和地需要打标签，用标签层验证工具介绍概述Diva2023/5/5第64页/共111页第六十四页，编辑于星期五：十七点 十四分。65/110Calibre演示 其他规则文件Design for manufacturability(DFM)可制造性设计 可将其视为一种加强的DRCAnenna Ratio Effect Generic Prevention 防止天线效应设计 可将其视为一种和density有关的DRC 验证工具介绍概述Diva2023/5/5第65页/共111页第六十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。66/110Calibre演示 天线效应跳线法(可以

21、向上或者向下跳)加 入 保 护 二 极管验证工具介绍概述Diva2023/5/5During the fabrication process,metal and poly interconnect paths can act like antennas and build up electrical charge.Charges of sufficient magnitude may find a path to ground by arcing from poly through the oxide layer to the well in a gate region,thereby dam

22、aging or destroying the gate.第66页/共111页第六十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。67/110Calibre演示 LVS检查检查版图与电路图的一致性执行LVS前应先完成DRCTape-out（流片）之前LVS结果应该是Error-freeLVS的正确性依赖于TEXTlabel的正确对应验证工具介绍概述Diva2023/5/5第67页/共111页第六十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。68/110Calibre演示 Calibre中LVS的执行流程验证工具介绍概述Diva2023/5/5第68页/共111页第六十八页，编辑于星期五：十七点 十四分。69/1

23、10Calibre演示 LVS运行步骤验证工具介绍概述Diva2023/5/5第69页/共111页第六十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。70/110Calibre演示 LVS运行步骤（续1）验证工具介绍概述Diva2023/5/5输入Calibre LVS的rule files输入运行 Calibre LVS的文件夹可指定run Hierarchical 或Flat模式，layout与source的形式选择Layout vs Netlist版图的输入源输入layout file，或导入layout view使其自动生成。第70页/共111页第七十页，编辑于星期五：十七点 十四分。71/11

24、0Calibre演示 LVS运行步骤（续2）验证工具介绍概述Diva2023/5/5电路图的输入源输入.net格式的文件，或从Schematic viewer import，通常采用导入的方法。这里需要注意model name 的一致性。第71页/共111页第七十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。72/110Calibre演示 LVS运行步骤（续3）验证工具介绍概述Diva2023/5/5指定LVS Result的文件名run完 LVS后 立 即 检 视report建立SVDB database并在run完LVS后 开 启 RVE来查看error第72页/共111页第七十二页，编辑于星期五：

25、十七点 十四分。73/110Calibre演示 LVS运行步骤（续4）验证工具介绍概述Diva2023/5/5第73页/共111页第七十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。74/110Calibre演示 LVS运行结果验证工具介绍概述Diva2023/5/5设置好后点击Run LVS，如果出现错误，则需要返回Layout或者Schematic中进行修改。例如：修改连线、端口、器件参数等。第74页/共111页第七十四页，编辑于星期五：十七点 十四分。75/110Calibre演示 LVS运行结果（续1）验证工具介绍概述Diva2023/5/5LVS report 开始会记录使 用 的layout

26、 netlist，source netlist，rule file，run directory与calibre的版本。若有error会在report开头有个X符号，否则为笑脸第75页/共111页第七十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。77/110Calibre演示 LVS运行结果（续2）layout的net比source的多，说明layout中有开路情况Layout的net比source的少，说明layout中有短路情况验证工具介绍概述Diva2023/5/5第76页/共111页第七十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。77/110Calibre演示 LVS运行结果（续2）layout的ne

27、t比source的多，说明layout中有一处开路Layout的net比source的少，说明layout中有一处短路验证工具介绍概述Diva2023/5/5第77页/共111页第七十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。78/110Calibre演示 LVS运行结果（续3）一般错误都可以在RVE window中被找到，并被修改正确有时候一个错误会导致许多错误，所以需要耐心，信心验证工具介绍概述Diva2023/5/5第78页/共111页第七十八页，编辑于星期五：十七点 十四分。79/110Calibre演示 LVS运行结果（续4）修正error后，重新run LVS，在report上出现笑脸符

28、号代表LVS check完全正确，RVE也将显示Design Match验证工具介绍概述Diva2023/5/5第79页/共111页第七十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。80/110Calibre演示 带IO PAD的LVSIO PAD通常由Foundrt 提供，其内部主要是ESD和压焊块。为了避免核心电路（Core）与IO PAD开路，有必要进行带IO PAD的LVS。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第80页/共111页第八十页，编辑于星期五：十七点 十四分。81/110Calibre演示 生成IO PAD symbol的方法两种方式：直接在symbol视窗下制作，完成后生成相应

29、的schematic。先 在schematic下 添 加正确的pins，完成后生成相应的symbol。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第81页/共111页第八十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。82/110Calibre演示 加入IO symbol在schematic中添加需要的IO symbol。注意给PAD供电的电源 以 及 他 们 的 port name。不要忘记数字部分与模拟部分中间用于隔离的PDIODEX的symbol。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第82页/共111页第八十二页，编辑于星期五：十七点 十四分。83/110Calibre演示 未加IO netlis

30、t的LVS结果Run LVS时出现很多错误，这是因为symbol只带有输入、输 出 的 关 系，内 部netlist为 空，因 此 需 要 添 加io的netlist。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第83页/共111页第八十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。84/110Calibre演示 添加IO netlist的方法将IO的.sp文件中相应的IO PAD的netlist复制到LVS中生成的source的netlist中，即在电路图的网表中添加好了IO的netlist。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第84页/共111页第八十四页，编辑于星期五：十七点 十四分。85/110

31、Calibre演示 添加IO netlist后的LVS结果逐条检查这些出错信息，发现均为IO内部出错，而IO为Foundry提供的标准单元，一般不推荐用户进行改动。所以，此时可以认为带IO的LVS已经完成。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第85页/共111页第八十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。86/110Calibre演示 后仿真步骤1.导入寄生参数提取规则文件进行寄生参数提取。2.由于后仿真时没有视图，所以需要建立一个具有spectre属性的视图，用于在后仿真时替代前仿真中的symbol。3.修改spectre的CDF参数，建立 spectre与calibre生成文件之间的联系

32、。4.在仿真model中调用PEX生成的主文件即可进行后仿真。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第86页/共111页第八十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。87/110Calibre演示 Calibre中寄生参数提取流程验证工具介绍概述Diva2023/5/5第87页/共111页第八十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。88/110Calibre演示 寄生器件类型验证工具介绍概述Diva2023/5/5Capacitance 两导体间存在电荷Resistance 会限制流过导体的电流Inductance 电流流经导体时产生的磁场效应第88页/共111页第八十八页，编辑于星期五：十七点

33、十四分。89/110Calibre演示 寄生参数提取步骤验证工具介绍概述Diva2023/5/5第89页/共111页第八十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。90/110Calibre演示 寄生参数提取步骤（续1）输 入Calibre PEX的rule files输入运行 Calibre PEX的文件夹验证工具介绍概述Diva2023/5/5输入layout file，或导入layout view使其自动生成第90页/共111页第九十页，编辑于星期五：十七点 十四分。91/110Calibre演示 寄生参数提取步骤（续2）提取类型选择晶体管级、寄生电阻以及电容、无电感Netlist选 择 生

34、成 的 格 式 为spectre，name从layout来，与layout保持一致完成PEX后自动打开netlist file验证工具介绍概述Diva2023/5/5第91页/共111页第九十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。92/110Calibre演示 寄生参数提取步骤（续3）执行寄生参数提取后会生成三个文件，其中*.netlist是主 文 件，包 含 版 图 本 身 的 元 件，在 主 文 件 中 有 两 个include语句，将两个寄生参数文件包含进来。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第92页/共111页第九十二页，编辑于星期五：十七点 十四分。93/110Calibre演示

35、 使用Calibre的小技巧Common to DRC/LVS/PEX验证工具介绍概述Diva2023/5/5保存runset file后可在下次调用时自动添加设置，方便使用。第93页/共111页第九十三页，编辑于星期五：十七点 十四分。94/110Calibre演示 使用Calibre的小技巧（续）（二）Common to DRC/LVS/PEX验证工具介绍概述Diva2023/5/5Set separate run directory for every DRC/LVS/PEX,avoid mistake due to multiple running第94页/共111页第九十四页，编辑于

36、星期五：十七点 十四分。95/110Calibre演示 Symbol视图的生成Choose the location of symbol pins验证工具介绍概述Diva2023/5/5第95页/共111页第九十五页，编辑于星期五：十七点 十四分。96/110Calibre演示 Spectre 视图的生成（续）打开修改后的symbol视图，Design-Save asView Name 修 改 为spectrepost simulation时调用这个spectre视图进行仿真验证工具介绍概述Diva2023/5/5第96页/共111页第九十六页，编辑于星期五：十七点 十四分。97/110Cal

37、ibre演示 CDF参数The Component Description Format(CDF)描述各个组件和组件库的参数和属性参数。CDF允许您创建和描述自己的组件。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第97页/共111页第九十七页，编辑于星期五：十七点 十四分。98/110Calibre演示 修改CDF参数Every time you create a new symbol，its CDF parameters will be auto-created。So deleting the old CDF is advised before filling the new重启后需重新设置验

38、证工具介绍概述Diva2023/5/5第98页/共111页第九十八页，编辑于星期五：十七点 十四分。99/110Calibre演示 修改CDF参数（续1）在Component Parameters中选择Add，在弹出的对话框中，name项填写model，prompt项填写Model Name，defvalue项写上cell的名字（whole），点击OK保存。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第99页/共111页第九十九页，编辑于星期五：十七点 十四分。100/110Calibre演示 修改CDF参数（续2）打开Calibre PEX生成的.netlist文件，model项填写当前cell

39、的名称。在下方的Simulation Information中的spectre栏填写端口名称。特别注意，端口名称的内容和顺序必须和*.netlist文件中的完全一致。验证工具介绍概述Diva2023/5/5第100页/共111页第一百页，编辑于星期五：十七点 十四分。101/110Calibre演示 后仿真电路图验证工具介绍概述Diva2023/5/5第101页/共111页第一百零一页，编辑于星期五：十七点 十四分。102/110Calibre演示 后仿真模型设置验证工具介绍概述Diva2023/5/5第102页/共111页第一百零二页，编辑于星期五：十七点 十四分。103/110Calibr

40、e演示验证工具介绍概述Diva 演示2023/5/5Diva演示Calibre演示第103页/共111页第一百零三页，编辑于星期五：十七点 十四分。104/110 作业画好版图（该版图与上节课的版图一致），通过DRC以及LVS检查，给出前仿，后仿结果。2023/5/5第104页/共111页第一百零四页，编辑于星期五：十七点 十四分。105/111 TEL:0571-87953116 Thanks for your time!第105页/共111页第一百零五页，编辑于星期五：十七点 十四分。106/110面积为0.165*0.118mm2=0.01947mm22023/5/5 参考答案采用CSM

41、C 0.5 m工艺绘制的版图：第106页/共111页第一百零六页，编辑于星期五：十七点 十四分。107/1102023/5/5 参考答案（续1）DRC：无错误第107页/共111页第一百零七页，编辑于星期五：十七点 十四分。108/1102023/5/5 参考答案（续2）LVS：无错误第108页/共111页第一百零八页，编辑于星期五：十七点 十四分。109/1102023/5/5 参考答案（续3）前仿真结果：前仿真频率（30.780KHz）第109页/共111页第一百零九页，编辑于星期五：十七点 十四分。110/1102023/5/5 参考答案（续4）后仿真结果：后仿真频率（31.437KHz）第110页/共111页第一百一十页，编辑于星期五：十七点 十四分。2023/5/5111/110感谢您的观看。第111页/共111页第一百一十一页，编辑于星期五：十七点 十四分。