机械装配技术(第三版)10无尘室基本知识电子课件.ppt
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1、机械装配技术(第三版)10 无尘室基本知识电子课件10.无尘室基本知识10.1 概述 无尘室(Cleanroom),亦称为洁净室或净化室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在某一需求范围内所特别设计的房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其室内均能维持所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。无尘室的主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。无尘室用于集成电路(芯片)的生产、高价值设备的装配等方面,同时也用在医院,如器官移植等。
2、无尘室有不同的等级,通常是根据每立方英尺(28升)空气中所含尘粒的数目而定的。我们将无尘室外等级分类如下:等级100000:每立方英尺最多含有100000个0.5微米及以上的颗粒。等级10000:每立方英尺最多含有10000个0.5微米及以上的颗粒。等级100:每立方英尺最多含有100个0.5微米及以上的颗粒。等级1:每立方英尺最多含有1个0.5微米的颗粒。10.2 无尘室防的污染与控制措施无尘室污染的来源是人、材料及各种活动。()人是无尘室中最大的污染源人是无尘室中最大的污染源,因为人类在不断的新陈代谢,皮肤的最外一层总是在不断地脱落,并被新的一层所替代是一个自然的过程,而已脱落的皮肤细胞就
3、会从人体上掉落下来。平均来说,一个人每天大约要掉落出20亿个尘粒(皮屑微粒)。为尽量防止这些皮屑微粒污染无尘室,每个在无尘室中工作的人员都务必要穿着无尘衣。当有人员进入无尘室时,污染的程度会大大地提高。人们在静止时,每分钟身上可掉出几十万颗肉眼看不见的微粒。如果人们稍做适当的运动,该数目会上升到每分钟大约一百万颗。因此,人们不时地进出无尘室就会是污染的最大原因之一。无尘室24小时微粒数曲线图()无尘室内禁用的材料 有一些材料是不能够在无尘室内使用的,原因是这些物品或材料引起太多的尘埃,以致无法维持无尘室的灰尘等级。在小于100000灰尘等级的室内,禁止存在的材料包括纸类、棉类、碳类、草类、石灰
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