第4章 微光像增强器电子课件光电子器件(第3版)高教版.ppt
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1、第第4章章 微光像增强器微光像增强器v光电成像器件分类光电成像器件分类v按器件结构分为按器件结构分为:像管、真空摄像管、固体成像器件像管、真空摄像管、固体成像器件 等;等;v按灵敏范围可分为:可见光、红外、紫外、按灵敏范围可分为:可见光、红外、紫外、X射线成像射线成像器件。器件。v像管像管包括变像管和像增强器。包括变像管和像增强器。v变像管变像管是把非可见光,如红外、紫外、是把非可见光,如红外、紫外、X射线等图像转射线等图像转化成可见光图像,如红外变像管、紫外变像管。化成可见光图像,如红外变像管、紫外变像管。v像增强器像增强器,主要是指把微弱的可见光图像增强亮度,主要是指把微弱的可见光图像增强
2、亮度,变成人眼可以观察到的图像,也称为微光管。变成人眼可以观察到的图像,也称为微光管。v由于红外变像管和像增强器能用于夜视条件下的光电由于红外变像管和像增强器能用于夜视条件下的光电成像,属于夜视器件。成像,属于夜视器件。v近的物体,在可见光区,有足够照度的物体我们的近的物体,在可见光区,有足够照度的物体我们的眼睛可以看见,但限于人眼的特性,遥远的物体或眼睛可以看见,但限于人眼的特性,遥远的物体或很小的物体或光线很弱很暗的环境,我们的眼睛就很小的物体或光线很弱很暗的环境,我们的眼睛就不能观察,于是出现了各种成像器件。不能观察,于是出现了各种成像器件。v如如:光学望远镜,主要用于光学望远镜,主要用
3、于放大视角放大视角,用于小物体,用于小物体或直视遥远的物体进行放大,提高对物体的分辨力,或直视遥远的物体进行放大,提高对物体的分辨力,但这些也只有在光线足够强时才能应用,而且其光但这些也只有在光线足够强时才能应用,而且其光线不能被阻挡,它们不能观察遥远的被阻挡着的物线不能被阻挡,它们不能观察遥远的被阻挡着的物体,在很暗的环境中不能观察和成像。体,在很暗的环境中不能观察和成像。v如如:像管能在像管能在暗环境暗环境中,把人眼不能中,把人眼不能观察观察到的物体到的物体转换成可见光图像,转换成可见光图像,v如如:摄像管能把各种图像信号转化成电信号,记录、摄像管能把各种图像信号转化成电信号,记录、贮存传
4、输给贮存传输给很远的距离观察,能随时供人们观赏。很远的距离观察,能随时供人们观赏。v光电成像器件极大地扩大了人的视野,扩展了人眼光电成像器件极大地扩大了人的视野,扩展了人眼的视力范围,丰富了人们的生活。光电成像器件在的视力范围,丰富了人们的生活。光电成像器件在光电技术中占有非常重要的地位。光电技术中占有非常重要的地位。光电探测器和光电成像器件的比较光电探测器和光电成像器件的比较v光电探测器和光电成像器件都是基于光电转换原理,光电探测器和光电成像器件都是基于光电转换原理,二者均是把光信号转化成电信号二者均是把光信号转化成电信号.v但前者一般用于点探测或多点探测,但前者一般用于点探测或多点探测,v
5、而后者能够提供空间上的二维图像,不仅要求有高而后者能够提供空间上的二维图像,不仅要求有高的灵敏度、低噪声,而且要有高的空间信息分辨率,的灵敏度、低噪声,而且要有高的空间信息分辨率,其结构复杂,涉及许多电子扫描、成像、聚焦和荧其结构复杂,涉及许多电子扫描、成像、聚焦和荧光屏发光等新的问题。光屏发光等新的问题。4.1 像管的基本原理和结构像管的基本原理和结构像管结构示意图像管结构示意图 1物镜;物镜;2光电阴极;光电阴极;3电子透镜;电子透镜;4荧光屏;荧光屏;5目镜目镜 结构有三部分组成:光电阴极、电子光学系统、荧光屏结构有三部分组成:光电阴极、电子光学系统、荧光屏 v像管本身应能起到像管本身应
6、能起到光谱变换、增强亮度和成像作用。光谱变换、增强亮度和成像作用。v1.光谱变换之一光谱变换之一:光电阴极完成光电阴极完成 光光-电子图象电子图象;v2.电子成像电子成像:电子光学系统类似于光学透镜,能使电子成像,电子光学系统类似于光学透镜,能使电子成像,将光电阴极发出的电子图像呈现在荧光屏上将光电阴极发出的电子图像呈现在荧光屏上;v3.增强亮度增强亮度:由于电子光学系统上加有高电压,能使电子加由于电子光学系统上加有高电压,能使电子加速,电子能获得能量,以高速轰击荧光屏,使之发射出比入速,电子能获得能量,以高速轰击荧光屏,使之发射出比入射光强得多的光能量。射光强得多的光能量。v光谱变换之二光谱
7、变换之二:荧光屏荧光屏 完成完成 电子电子-光光.v这样像管就完成了光谱变换、成像和增强亮度的功能。这样像管就完成了光谱变换、成像和增强亮度的功能。1物镜;物镜;2光电阴光电阴极;极;3电子透镜;电子透镜;4荧光屏;荧光屏;5目镜目镜 4.1.1 光电阴极光电阴极光电阴极光谱响应曲线 4.1.2 电子光学系统电子光学系统v像管中电子光学系统的任务有两个:加速光电子;使像管中电子光学系统的任务有两个:加速光电子;使光电子成像在像面上。光电子成像在像面上。v它具有与光学透镜相似的性质,能运用几何光学中类它具有与光学透镜相似的性质,能运用几何光学中类似的方法进行物象处理。因此把能使电子流聚焦成像似的
8、方法进行物象处理。因此把能使电子流聚焦成像的电子光学系统称为的电子光学系统称为电子透镜电子透镜。v电子透镜电子透镜分为分为静电透镜静电透镜和和磁透镜磁透镜两类。两类。v静电透镜静电透镜按是否聚焦可分为按是否聚焦可分为:聚焦型和非聚焦型聚焦型和非聚焦型。静电。静电电子光学系统,靠静电场来使光电子加速,聚焦成像。电子光学系统,靠静电场来使光电子加速,聚焦成像。v磁透镜磁透镜即电磁复合系统,靠静电场的加速和磁场来完即电磁复合系统,靠静电场的加速和磁场来完成聚焦成像。成聚焦成像。1非聚焦型电子光学系统非聚焦型电子光学系统 即近贴型即近贴型 C阴极阴极,A阳极;阳极;电子落点高度的计算电子落点高度的计算
9、v设从物点设从物点O发出的任意电子,其初发射发出的任意电子,其初发射角为角为 ,分别表示电子初能分别表示电子初能及其在及其在r和和z方面上的能量的分量方面上的能量的分量(eV)。v则该电子的轨迹就是抛物线:则该电子的轨迹就是抛物线:v v在该电子到达阳极时,其落点的径向高在该电子到达阳极时,其落点的径向高度为:度为:v v 在近贴聚焦像管中一般在近贴聚焦像管中一般U ,则得则得v v因为因为所以所以全色电子束的最大弥散圆半全色电子束的最大弥散圆半径的计算径的计算v考虑到电子的初角度分布,可考虑到电子的初角度分布,可得单能电子束的最大得单能电子束的最大弥散圆斑弥散圆斑的半径的半径v v因为光电子
10、不仅有角度分布,因为光电子不仅有角度分布,还有初能量分布,若最大初电还有初能量分布,若最大初电能为能为 ,则得全色电子束的最则得全色电子束的最大弥散圆半径为大弥散圆半径为v从此式可以看出,阴极与阳极从此式可以看出,阴极与阳极之间的电位差之间的电位差U越大,弥散圆越大,弥散圆斑越小,最大初电位及极间距斑越小,最大初电位及极间距离离l越小,弥散圆斑也越小。越小,弥散圆斑也越小。通常,极间距离通常,极间距离l总是很小,如小于总是很小,如小于1mm,而,而U却很大,如却很大,如3-7KV,极间距离越小,电位差越高,极间距离越小,电位差越高,图像越清晰,近贴型在像管中仍得到广泛应用。图像越清晰,近贴型在
11、像管中仍得到广泛应用。2静电聚焦静电聚焦电子光学系统电子光学系统(1)等径双圆筒结构等径双圆筒结构 等径双圆筒透镜等径双圆筒透镜成像原理成像原理:静电聚焦电子光学系统,即静电聚焦电子光学系统,即静电透镜,通常由轴对称静静电透镜,通常由轴对称静电场所形成,在几个具有轴电场所形成,在几个具有轴对称几何形状的金属导体电对称几何形状的金属导体电极上加以不同的电位,就可极上加以不同的电位,就可以形成轴对称电场。以形成轴对称电场。会聚大于发散会聚大于发散:形成凸透镜形成凸透镜v由于会聚部分处在轴向速度相对较慢的低电位空由于会聚部分处在轴向速度相对较慢的低电位空间,电子受到径向电场会聚作用时间较长,因而间,
12、电子受到径向电场会聚作用时间较长,因而会聚作用较强。而在发散空间的电子轴向速度较会聚作用较强。而在发散空间的电子轴向速度较大,发散作用弱,故总的透镜作用仍然是会聚的。大,发散作用弱,故总的透镜作用仍然是会聚的。v经过透镜区,到达等位区,以直线运动打在荧光经过透镜区,到达等位区,以直线运动打在荧光屏上,由于电子透镜成像作用,使阴极面上的物屏上,由于电子透镜成像作用,使阴极面上的物在屏上成一倒像。在电位变化空间,透镜相当于在屏上成一倒像。在电位变化空间,透镜相当于一个凸透镜。一个凸透镜。(2)不等径的双圆筒)不等径的双圆筒由于有孔兰,可有效地控制系统的发散作用,阻止电子射由于有孔兰,可有效地控制系
13、统的发散作用,阻止电子射到屏上,也可以减小荧光屏发光对阴极的光反馈,从而降到屏上,也可以减小荧光屏发光对阴极的光反馈,从而降低背景干扰和噪声。在平面阴极象管中,几何象差比较严低背景干扰和噪声。在平面阴极象管中,几何象差比较严重,边缘象质较差。重,边缘象质较差。(3)双球面系统v特点:特点:v电场分布,尤其是阴极附近电场的分布,球面性很好,因电场分布,尤其是阴极附近电场的分布,球面性很好,因此,每一条主轨迹都是轴对称,其邻近轨迹是旋转对称的,此,每一条主轨迹都是轴对称,其邻近轨迹是旋转对称的,因而像散较小。所谓像散,指电子透镜随射线方向不同而因而像散较小。所谓像散,指电子透镜随射线方向不同而产生
14、的像差。产生的像差。v采用曲面荧光屏后,场曲的影响大为减小,因而像质在整采用曲面荧光屏后,场曲的影响大为减小,因而像质在整个像面上比较均匀。所谓场曲:由于轴外场折射率与近轴个像面上比较均匀。所谓场曲:由于轴外场折射率与近轴场折射率不同而引起的像差。场折射率不同而引起的像差。v采用曲面屏,也使畸变大大下降,但有可能出现桶形畸变,采用曲面屏,也使畸变大大下降,但有可能出现桶形畸变,但是考虑到图像亮度的均匀性,宁肯采用较大的屏面曲率但是考虑到图像亮度的均匀性,宁肯采用较大的屏面曲率半径,保留较小的枕形畸变。半径,保留较小的枕形畸变。v阴极面上的电场强度,从轴上到轴外基本上保持不变,且阴极面上的电场强
15、度,从轴上到轴外基本上保持不变,且略有提高,这样使得色差的影响在像面上比较均匀。略有提高,这样使得色差的影响在像面上比较均匀。4.1.3 荧光屏荧光屏荧光屏将电子动能转换成光能。高能量电子打在荧光屏荧光屏将电子动能转换成光能。高能量电子打在荧光屏上,荧光屏发光。上,荧光屏发光。v像管对荧光屏的主要要求是:像管对荧光屏的主要要求是:v荧光屏应该具有高的转换效率;荧光屏应该具有高的转换效率;v能产生足够的光亮度;能产生足够的光亮度;v发射光谱要同眼睛,或与之相耦合的下一级光电阴发射光谱要同眼睛,或与之相耦合的下一级光电阴极的光谱响应相一致;极的光谱响应相一致;荧光屏发光材料主要特性有:光谱特性、发
16、光效率。荧光屏发光材料主要特性有:光谱特性、发光效率。发光效率的定义发光效率的定义v所谓发光效率,指轰击荧光屏的电子流能量引起的所谓发光效率,指轰击荧光屏的电子流能量引起的荧光屏的发光强度,单位为荧光屏的发光强度,单位为lm/W。这个数值是表征。这个数值是表征荧光粉发光的强度的一个重要参量,它与光谱特性荧光粉发光的强度的一个重要参量,它与光谱特性对多级像管亮度增益作用很大。对多级像管亮度增益作用很大。荧光屏光谱发射特性荧光屏光谱发射特性 v荧光粉材料有:荧光粉材料有:vZnS:Ag(P11),ZnS:Cu(P31),(Zn,Cd)S:Ag(P20)等等,几种典型的荧光屏光谱效率如图等等,几种典
17、型的荧光屏光谱效率如图.v像管中常用的荧光粉像管中常用的荧光粉P20,发光颜色为黄绿光,峰,发光颜色为黄绿光,峰值波长值波长0.56m,余辉时间,余辉时间0.05-2ms,粉的粒度控制,粉的粒度控制在在3.5m,以保证屏的分辨率。,以保证屏的分辨率。v荧光粉材料的电阻率很高,通常在荧光粉材料的电阻率很高,通常在10101014cm,介于绝缘体和半导体之间,介于绝缘体和半导体之间.v当它受到光电子轰击时,会积累负电荷,电压下降,当它受到光电子轰击时,会积累负电荷,电压下降,影响阳极及屏的电位。影响阳极及屏的电位。v为此,在屏上蒸铝,能引走积累的负电荷;同时铝为此,在屏上蒸铝,能引走积累的负电荷;
18、同时铝还有反射光作用,使光出射强度增加。还有反射光作用,使光出射强度增加。v不过蒸铝后,电子通过铝膜后能量有损失。铝膜越不过蒸铝后,电子通过铝膜后能量有损失。铝膜越厚,电子能量损失越大;电子能量越小,损失能量厚,电子能量损失越大;电子能量越小,损失能量越大。因此,在满足引走电荷作用下,尽量减少膜越大。因此,在满足引走电荷作用下,尽量减少膜厚度,厚度,v像管不仅是辐射探测器件,而且还是成像器件。像管不仅是辐射探测器件,而且还是成像器件。v作为作为辐射探测器件辐射探测器件,它必须具有高的量子效率和信,它必须具有高的量子效率和信息放大能力,以便给出足够的亮度,其特性通常采息放大能力,以便给出足够的亮
19、度,其特性通常采用光电阴极灵敏度和整管亮度增益来描述;用光电阴极灵敏度和整管亮度增益来描述;v作为作为成像器件成像器件,它必须具有小的图像几何失真,合,它必须具有小的图像几何失真,合适的几何放大率,尽可能小的亮度扩散能力,以提适的几何放大率,尽可能小的亮度扩散能力,以提供足够的视角和对比,对这些特性通常用畸变、放供足够的视角和对比,对这些特性通常用畸变、放大率、调制传递函数、分辨率、对比损失来描述。大率、调制传递函数、分辨率、对比损失来描述。v作为两者综合性能则用观察灵敏阈以及信噪比等参作为两者综合性能则用观察灵敏阈以及信噪比等参量来描述。量来描述。4.2 像管主要特性分析像管主要特性分析4.
20、2.1 像管的光谱响应特性像管的光谱响应特性v像管的光谱响应特性实际上就是第一光电阴极的光像管的光谱响应特性实际上就是第一光电阴极的光谱响应特性,研究像管的光谱响应特性有两大作用:谱响应特性,研究像管的光谱响应特性有两大作用:v决定光电阴极光电流决定光电阴极光电流:光电流影响着灵敏度,提高光电流影响着灵敏度,提高光电流有利于减小背景噪声,提高像管的亮度,提光电流有利于减小背景噪声,提高像管的亮度,提高探测率,提高像管可探测的最小辐射能力。高探测率,提高像管可探测的最小辐射能力。v提供目标与背景之间的光电子图像的对比提供目标与背景之间的光电子图像的对比:初始对初始对比决定了输出信噪比,是影响像管
21、极限鉴别能力的比决定了输出信噪比,是影响像管极限鉴别能力的关键。关键。1光电阴极积分灵敏度光电阴极积分灵敏度光电流光电流 光谱匹配系数光谱匹配系数 根据响应率或灵敏度定义根据响应率或灵敏度定义单位辐射所产生的光电流单位辐射所产生的光电流:入射辐射通量入射辐射通量 光电流光电流 单位单位R(安安/瓦,瓦,A/W)2积分灵敏度的换算积分灵敏度的换算(1)以光辐射量表示的积分灵敏度以光辐射量表示的积分灵敏度R 因为辐射通量因为辐射通量 与光通量与光通量 有有K光视效能,单位光视效能,单位lm/wR(安安/瓦,瓦,A/W),(安安/流明,流明,A/lm)(2)光电阴极对光源光电阴极对光源1的积分灵敏度
22、可以换算成对光源的积分灵敏度可以换算成对光源2的积分的积分 灵敏度灵敏度因为因为 分别为光阴极与光源分别为光阴极与光源1和和2的光谱匹配系数的光谱匹配系数.将将代入代入,得得 K1,K2分别为光源分别为光源1和和2的光视效能的光视效能;R1,R2分别为光阴极对光源分别为光阴极对光源1和和2的积分灵敏度的积分灵敏度(A/lm)v初始对比度系指阴极面发射的光电子图像的对比,初始对比度系指阴极面发射的光电子图像的对比,常以光电子发射密度来计算。由于目标与背景的辐常以光电子发射密度来计算。由于目标与背景的辐射及反射性质不同,它们提供给光电阴极的光谱也射及反射性质不同,它们提供给光电阴极的光谱也不相同,
23、与阴极作用之后,产生的电子密度分布也不相同,与阴极作用之后,产生的电子密度分布也不相同,因而在目标和背景的成像区域产生不同的不相同,因而在目标和背景的成像区域产生不同的光电流密度。光电流密度。3像管的光谱响应与对比度像管的光谱响应与对比度光源经目标光源经目标1和目标和目标2反射之后,在阴极面上所产生的光电流密度反射之后,在阴极面上所产生的光电流密度分别为分别为I1及及I2,则它们之间的初始对比度为:,则它们之间的初始对比度为:晴朗星光和月光晴朗星光和月光 典型目标的反射光谱曲线典型目标的反射光谱曲线光源的辐射分布光源的辐射分布 1-绿色草木绿色草木 2-暗绿色漆暗绿色漆 S20和和S25两种光
24、电两种光电阴极的光谱响应曲线阴极的光谱响应曲线 晴朗星光下绿色晴朗星光下绿色草木和暗绿色漆在草木和暗绿色漆在S-25阴极上光电阴极上光电流的比较流的比较 月光下绿色草木和暗月光下绿色草木和暗绿色漆在绿色漆在S-25阴极上光阴极上光电流的比较电流的比较晴朗星光下绿色晴朗星光下绿色草木和暗绿色漆草木和暗绿色漆在在S-20阴极上光阴极上光电流的比较电流的比较而而S-25和和S-20阴极的光谱响应在短波区相差不多,阴极的光谱响应在短波区相差不多,而在长波区而在长波区(0.6m以上以上),S-25的光谱响应比的光谱响应比S-20大得多,如图大得多,如图4-11(c)。与。与S-20阴极相比,阴极相比,S
25、-25阴极在长波区的较大响应,能使目标和背景的辐阴极在长波区的较大响应,能使目标和背景的辐射之差有效地变为电流之差,因而能得到大的对射之差有效地变为电流之差,因而能得到大的对比,如图比,如图4-12(a),(b)所示。所示。(1)以草木为背景,涂有暗绿色漆的目标,在星光或月以草木为背景,涂有暗绿色漆的目标,在星光或月光照射下,对于其反射光的接收,光照射下,对于其反射光的接收,S-25阴极所提供阴极所提供的初始对比总是高于的初始对比总是高于S-20阴极,如图阴极,如图4-12(a)和和(b)。绿色草木及暗绿色漆在短波。绿色草木及暗绿色漆在短波0.6m以下相差不大,以下相差不大,而在长波区的反差能
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