2023年【经典】真空知识超详细知识汇总全面汇总归纳1.pdf

《2023年【经典】真空知识超详细知识汇总全面汇总归纳1.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《2023年【经典】真空知识超详细知识汇总全面汇总归纳1.pdf（4页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、学习必备 欢迎下载 真空知识总结 真空度的划分 1 粗真空 （RV）105-103Pa 常用的真空度侧量仪表 弹性真空表 U型管真空计 放电能电离真空计 振膜式真空计 常用真空泵 往复式真空泵 水蒸汽喷射泵 水环泵 2 低真空（LV）103torr=133*103Pa=1.33Pa 103-10-1Pa 常用的真空度侧量仪表 热导式真空表 压缩式真空计 放电能电离真空计 振膜式真空计 薄膜式真空计 放电管真空指示仪表 常用真空泵 旋片式真空泵 定片式机械泵 滑阀泵 油增压泵 机械增压泵 学习必备 欢迎下载 吸附泵 3 高真空 （HV）10-1-10-6Pa 常用的真空度侧量仪表 电离真空计 冷

2、阴极电离真空计 常用真空泵 油扩散泵 涡轮分子泵 4 超高真空 （UHV）10-6-10-9Pa 常用的真空度侧量仪表 B-A电离真空计 常用真空泵 钛离子泵 加冷阱扩散泵 5 极高真空 （和 HV）10-9Pa 常用的真空度侧量仪表 冷阴极磁控电离真空计 热阴极磁控电离真空计 改进 B-A电离真空计 常用真空泵 低温泵 真空计放电能电离真空计振膜式真空计薄膜式真空计放电管真空指示仪真空泵油扩散泵涡轮分子泵超高真空常用的真空度侧量仪表电离真空计欢迎下载真空泵的主要工作参数起始压力前置低压力或预置真空是真空学习必备 欢迎下载 真空泵的主要工作参数 1 起始压力（前置低压力或预置真空）是真空泵启动

3、或正产工作时的最高压力，油封旋转机械泵可以在大气压下启动，而罗茨风机必须在 102-103Pa 下才能启动 2 抽气速率（S）是指在某一瞬间压力下，单位时间抽出气体的体积。也叫真空泵的抽气能力。3 极限真空，（P0），或极限压力，是指在真空泵规定工作条件时，抽气稳定时所能达到的最低压力，极限真空是直接反映真空泵和整个真空系统的质量和状态的一个主要性能指标。国产真空泵的名称，性能 往复泵 旋片泵 滑阀泵 机械增压泵 分子泵 油增压泵 扩散泵 水环泵 水蒸汽喷射泵 真空计放电能电离真空计振膜式真空计薄膜式真空计放电管真空指示仪真空泵油扩散泵涡轮分子泵超高真空常用的真空度侧量仪表电离真空计欢迎下载真

4、空泵的主要工作参数起始压力前置低压力或预置真空是真空学习必备 欢迎下载 真空，真空度，真空仪表 工业上的真空指的是压力低于一标准大气压的稀薄气体空间状态 真空分为自然真空和人工真空 地面高度升高自然形成的低压空间称为自然真空，用真空装置或方法产生的低压空间，称为人工真空。真空度是表示气体稀薄的程度，也是压力的高低 气体越稀薄，压力越低，真空度约高。气体压力越高，真空度约低。低压力与高真空式同义词，真空的单位 习惯用液柱高度-毫米汞柱作为真空度的计量单位。1Torr=1mmHg=133.3 Pa 1971 年，国际计量大会确定国际单位制中的压力单位为帕斯卡，真空度的单位为-帕（Pa）大气压强为 1.01X105Pa 真空计放电能电离真空计振膜式真空计薄膜式真空计放电管真空指示仪真空泵油扩散泵涡轮分子泵超高真空常用的真空度侧量仪表电离真空计欢迎下载真空泵的主要工作参数起始压力前置低压力或预置真空是真空