[精选]生产知识--工艺技术--前工序工艺流程29259.pptx
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1、前工序工艺流程前工序工艺流程 前工序工艺流程玻璃清洗IR UV Oven涂感光胶预固化曝光显影图案检查修复主固化酸刻脱膜后清洗图案检查OKNG修复中工序玻璃清洗 玻璃清洗清洗剂+毛刷清洗 DI水+US气刀喷干SiO2ITO玻璃灰尘水涂感光胶 涂感光胶/预固化 预固化感光胶感光胶涂胶轮匀胶轮支持轮感光胶滴入匀胶轮与涂胶轮的夹缝,涂胶轮上的凹槽将感光胶转移到ITO表面。热板将玻璃加热90,使溶剂挥发。曝光 曝光/显影 显影UVMask曝光区域 未曝区域显影过程中浓度极小KOH能将它溶解感光胶照射UV光以后发生化学反应图案检查、修复 图案检查、修复/主固化 主固化检查发现有固定位置的短路,用针去除感
2、光胶。主固化时使感光胶与ITO粘接更牢固。短路酸刻 酸刻这个过程是除去不须要的ITO层,制成ITO图案。使加热的FeCl3+HCl+H2O酸刻。ITOSiO2ResistGlassResist脱膜 脱膜/后清 后清洗 洗浓NaOH3%DI水+uS气刀喷干这个过程是用浓NaOH除去ITO上的感光胶,再用DI水清洗玻璃表面的任何杂质。为中工序TOP Coating准备。中工序 工艺流程中工序流程 中工序流程TOPCOAT预固化UV固化主固化TOP Coat清洗PI印刷PI预固化PI主固化摩擦US清洗印刷边框环氧胶 印刷导电胶预固化 喷粉组合热压固化TOP Coat TOP Coat 印刷 印刷TO
3、P CoatITOSiO2GLASSTOP Coat印刷是用柱皮(类似APR)在ITO图案的表面印刷一层绝缘材料。这层绝缘有两个基本功能:减少光的反射成盒后令人较难看到ITO的图案;防止成盒以后上下图案灰尘短路。另外特殊TOP Coat还有防ESD作用。TOP Coat TOP Coat 固化 固化预固化100UV固化6000mJ/cm2At 365nm主固化300预固化:挥发TOP Coat中的溶剂。UV固化:增加TOP Coat的硬度。主固化:烧结成形。TOP Coat TOP Coat 清洗 清洗清洗TOP Coat固化过程中表面的灰尘,为PI印刷准备。毛刷清洗DI水+US DI水+US
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